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クリーンルームの設計と建設におけるいくつかの重要な課題

クリーンルームの建設
クリーンルーム

クリーンルームの内装において最も一般的なのは、クラス10000クリーンルームとクラス100000クリーンルームです。大規模なクリーンルームプロジェクトにおいては、クラス10000およびクラス100000の空気清浄作業場の設計、内装を支えるインフラ整備、設備調達などは、市場および建設工学の基準に準拠する必要があります。

1. 電話設備および火災報知設備

クリーンルームに電話やインターホンを設置することで、クリーンエリア内を歩き回る人の数を減らし、粉塵の発生量を抑えることができます。また、火災発生時には外部に迅速に連絡を取ることができ、通常の業務連絡体制も整えることができます。さらに、火災報知システムを設置することで、火災が外部に容易に発見され、大きな経済的損失が発生するのを防ぐことができます。

2. 空気ダクトには経済性と効率性の両方が求められる

集中型または空気清浄型空調システムにおいて、エアダクトに求められるのは、経済性と効率的な空気供給能力の両立です。前者の要件は、低価格、施工の容易さ、運転コストの低さ、そして抵抗の少ない滑らかな内面といった点に表れます。後者の要件は、高い気密性、空気漏れのなさ、粉塵の発生・蓄積のなさ、汚染のなさ、そして耐火性、耐腐食性、耐湿性といった特性を指します。

3. 空調浄化プロジェクトでは省エネルギーに注意を払う必要がある

空調浄化プロジェクトはエネルギー消費量が大きいため、設計・施工段階で省エネ対策に十分注意を払う必要があります。設計段階では、システムとエリアの分割、給気量の計算、温度と相対温度の決定、清浄度と換気回数の決定、外気導入率、ダクトの断熱、ダクト製造時の接合形状が空気漏れ率に与える影響、主配管分岐接続角度が空気流抵抗に与える影響、フランジ接続部の漏れの有無、空調機、ファン、チラーなどの機器の選定など、すべてエネルギー消費量に関係するため、これらの詳細を考慮に入れる必要があります。

4.気候条件に基づいてエアコンを選ぶ

エアコンの選定にあたっては、設置場所の気候環境を考慮する必要があります。例えば、冬の気温が低く空気中に塵が多い北部地域では、一般的なエアコンに外気予熱部を追加し、水噴霧式空気処理方式を用いて空気を浄化し、熱と温度の交換を行うことで、必要な温度と湿度を実現する必要があります。一方、気候が湿潤で空気中の塵の濃度が低い南部地域では、冬季に外気を予熱する必要はありません。一次フィルターは空気のろ過と温度・湿度の調整に使用されます。冷面を用いて温度・湿度を調整することも可能です。温度除湿プロセスは、中間フィルターと末端HEPAフィルターまたはサブHEPAフィルターによって行われます。エアコンのファンには可変周波数ファンを使用するのが最適です。これにより、エネルギーを節約できるだけでなく、風量と圧力を柔軟に調整できます。

5. 空調機械室はクリーンルームの横に設置する必要がある。

空調機械室はクリーンルーム側に設置するのが望ましい。これにより、エネルギーを節約できるだけでなく、空調ダクトのレイアウトが容易になり、空気の流れをより合理的に設計できる。同時に、工事費の削減にもつながる。

6. 複数台のチラーはより柔軟である

チラーに大きな冷却能力が必要な場合は、単一の機械ではなく複数の機械を使用することをお勧めします。モーターは、始動電力を低減するために可変周波数速度制御を使用する必要があります。複数の機械を使用することで、「大きな馬車」のようにエネルギーを無駄にすることなく、柔軟に運用できます。

7. 自動制御装置により完全な調整が保証されます

現在、一部のメーカーは手動方式で風量と気圧を制御しています。しかし、風量と気圧を制御するための調整弁はすべて技術室にあり、天井もサンドイッチパネル製の軟質天井であるため、設置およびデバッグ時に調整は行われましたが、それ以降はほとんど調整されておらず、実際には調整が不可能です。クリーンルームの正常な生産と作業を確保するためには、クリーンルームの空気清浄度、温度と湿度、圧力差の監視、エアバルブの調整、高純度ガス、純水、循環冷却、水温、圧力、流量の検出、ガス純度と純水品質の監視などの機能を実現する、比較的完全な自動制御装置一式を設置する必要があります。


投稿日時:2024年4月9日