ISO 6クリーンルームの設計オプション4選

ISO 6クリーンルームの作り方とは？今回は、ISO 6クリーンルームの設計オプションを4つご紹介します。

オプション1：AHU（空調機）＋HEPAフィルターボックス。

オプション2：MAU（外気導入ユニット）＋RCU（循環ユニット）＋HEPAフィルターボックス。

オプション3：AHU（空調機）＋FFU（ファンフィルターユニット）＋テクニカルインターミディエイト。顕熱負荷のある小規模クリーンルーム作業場に適しています。

オプション4：MAU（外気導入ユニット）＋DC（ドライコイル）＋FFU（ファンフィルターユニット）＋技術中間層。電子機器クリーンルームなど、顕熱負荷が大きいクリーンルーム作業場に適しています。

以下に、4つの解決策の設計方法を示します。

オプション1：AHU + HEPAボックス

空調機の機能部は、新空気・還気混合フィルター部、表面冷却部、加熱部、加湿部、ファン部、および中間フィルター付き空気出口部から構成されます。外気と還気は空調機によって混合・処理され、室内温度・湿度要件を満たした後、最後にHEPAフィルターを通してクリーンルームに送られます。空気の流れは、上部給気・側面還気方式です。

オプション2：MAU+RAU+HEPAボックス

外気導入ユニットの機能部は、外気ろ過部、媒体ろ過部、予熱部、表面冷却部、再加熱部、加湿部、ファン排気部から構成されます。循環ユニットの機能部は、新還気混合部、表面冷却部、ファン部、媒体ろ過空気排気部から構成されます。外気は外気導入ユニットで処理され、室内湿度要件を満たし、設定された供給空気温度に調整されます。還気と混合された後、循環ユニットで処理され、室内温度に達します。室内温度に達すると、終端のHEPAボックスを通してクリーンルームに送られます。空気の流れは、上部供給、側面還気です。

オプション3：AHU + FFU + 技術用中間層（顕熱負荷のある小規模クリーンルーム作業場に適しています）

AHUの機能セクションは、新還気混合フィルターセクション、表面冷却セクション、加熱セクション、加湿セクション、ファンセクション、中間フィルターセクション、およびサブHEPAボックスセクションで構成されています。外気と還気の一部はAHUで混合・処理され、室内温度と湿度の要件を満たした後、技術メザニンに送られます。そこで大量のFFU循環空気と混合され、ファンフィルターユニットFFUによって加圧された後、クリーンルームに送られます。空気の流れは、上部給気、側面還気です。

オプション4：MAU + DC + FFU + 技術用中間層（電子機器クリーンルームなど、顕熱負荷が大きいクリーンルーム作業場に適しています）

本機の機能部は、新還気ろ過部、表面冷却部、加熱部、加湿部、ファン部、および媒体ろ過部から構成される。外気と還気は、室内温度と湿度の要件を満たすようにAHUで混合・処理された後、給気ダクトの技術中間層において、ドライコイルで処理された大量の循環空気と混合され、ファンフィルターユニットFFUで加圧された後、クリーンルームに送られる。空気の流れは、上部給気、側面還気となる。

ISO 6の空気清浄度を達成するための設計オプションは数多くあり、具体的な設計は実際の状況に基づいて行う必要がある。