現在、さまざまな産業の発展は非常に急速であり、製品は常に更新され、製品の品質と生態環境に対する要求が高まっています。これは、さまざまな業界でもクリーン ルーム設計に対する要求が高まることを示しています。
クリーンルーム設計基準
中国のクリーンルームの設計コードはGB50073-2013規格です。クリーンルームおよびクリーンエリアの空気清浄度の整数レベルは、次の表に従って決定する必要があります。
| クラス | 最大粒子数/m3 | FED STD 209EE相当 | |||||
| >=0.1μm | >=0.2μm | >=0.3μm | >=0.5μm | >=1μm | >=5μm | ||
| ISO1 | 10 | 2 | |||||
| ISO2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | クラス1 | |
| ISO4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | クラス10 | |
| ISO5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | クラス100 |
| ISO6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | クラス1,000 |
| ISO7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | クラス10,000 | |||
| ISO8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | クラス100,000 | |||
| ISO9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | 室内空気 | |||
クリーンルーム内の空気の流れパターンと供給風量
1. エアフローパターンの設計は、次の規制に準拠する必要があります。
(1) クリーンルーム（エリア）の気流パターンと供給風量が要件を満たしていること。空気清浄度レベルの要件が ISO 4 よりも厳しい場合は、一方向の流れを使用する必要があります。空気清浄度が ISO 4 と ISO 5 の間の場合は、一方向の流れを使用する必要があります。空気清浄度が ISO 6 ～ 9 の場合は、非一方向流を使用する必要があります。
(2) クリーンルームの作業エリア内の気流分布は均一である必要があります。
(3) クリーンルームの作業エリア内の気流速度は、生産プロセスの要件を満たしている必要があります。
2. クリーンルームの給気量は、次の3項目の最大値とする。
(1) 空気清浄度の要求を満たす供給空気量。
(2) 熱と湿気の負荷を計算して決定される給気量。
(3) 室内の排気量を補い、室内の陽圧を維持するために必要な外気の量の合計。クリーンルーム内の各人への新鮮な空気の供給速度が 1 時間あたり 40m 以上であることを確認してください。
3. クリーンルーム内の各種設備の配置は、気流パターンや空気清浄度への影響を考慮し、次の規定に従う必要があります。
(1) 一方向流クリーンルーム内にはクリーン作業台を配置せず、非一方向流クリーンルームの還気出口をクリーン作業台から離してください。
(2) 換気が必要なプロセス装置はクリーンルームの風下側に配置してください。
(3) 暖房設備がある場合には、熱風による気流分布への影響を軽減する措置を講じること。
(4) 残圧弁は清浄な空気の流れの風下側に設置してください。
空気浄化処理
1. エアフィルターの選択、配置、取り付けは、次の規制に準拠する必要があります。
(1) 空気浄化処理は、空気清浄度のレベルに基づいて合理的にエアフィルターを選択する必要があります。
(2) エアフィルタの処理風量は定格風量以下としてください。
(3) 中型または hepa エアフィルターは、空調ボックスの陽圧セクションに集中する必要があります。
(4) サブ hepa フィルター、hepa フィルターをエンドフィルターとして使用する場合は、浄化空調システムの末端に設置してください。ウルトラヘパフィルターは浄化空調システムの最後に設置してください。
(5) 同じクリーンルームに設置された hepa (サブ hepa、ウルトラ hepa) エアフィルターの抵抗効率は同等である必要があります。
(6) hepa (サブ hepa、ウルトラ hepa) エアフィルターの取り付け方法は、しっかりしていて、簡単で、信頼性が高く、漏れの検出と交換が簡単である必要があります。
2. 大規模なクリーン工場の浄化空調システムの新鮮な空気は、空気浄化のために集中処理される必要があります。
3. 浄化空調システムの設計では、戻り空気を合理的に利用する必要があります。
4. 浄化空調システムのファンには周波数変換措置を講じる必要があります。
- 厳寒地・寒冷地の専用外気システムは凍結防止対策を講じてください。
暖房、換気、煙の制御
1. ISO 8 よりも高い空気清浄度を備えたクリーンルームでは、暖房にラジエーターを使用することはできません。
2. クリーンルーム内に粉塵や有害ガスを発生するプロセス装置には局所排気装置を設置してください。
3. 次の場合には、局所排気装置を別途設置する必要があります。
(1) 混合排気媒体は、腐食性、毒性、燃焼および爆発の危険性、および相互汚染を引き起こしたり悪化させたりする可能性があります。
(2) 排気媒体には有毒ガスが含まれています。
(3) 排気媒体には可燃性、爆発性ガスが含まれています。
4. クリーンルームの排気システムの設計は、次の規制に準拠する必要があります。
(1) 室外空気の逆流を防止すること。
(2) 可燃性および爆発性物質を含む局所排気装置は、その物理的および化学的特性に基づいて、対応する火災および爆発の防止措置を講じなければなりません。
(3) 排気媒体中の有害物質の濃度及び排出率が国又は地域の有害物質排出濃度及び排出率に関する規制を超える場合には、無害化処理を行う必要がある。
(4) 水蒸気や凝縮性物質を含む排気系の場合は、スロープや排出口を設けてください。
5. 補助生産室（靴の履き替え、衣類の保管、洗濯、トイレ、シャワー等）には換気対策を講じ、室内の静圧値はクリーンエリアの静圧値より低くなければなりません。
6. 生産プロセスの要件に従って、事故排気システムを設置する必要があります。事故排気装置には自動制御スイッチと手動制御スイッチを装備し、手動制御スイッチは操作しやすいようにクリーンルーム内と屋外に分けて設置する必要があります。
7. クリーン作業場における排煙設備の設置は、次の規定に従う必要があります。
(1) クリーン作業場の避難通路には機械式排煙設備を設けること。
(2) クリーン作業場に設置される排煙設備は、現行の国家基準の関連規定に適合する必要がある。
クリーンルーム設計におけるその他の対策
1. クリーンワークショップには、必要に応じて居住室やその他の部屋のほか、人員の浄化と物質の浄化のための部屋と設備が備えられていなければなりません。
2. 職員用浄化室および居室の設置は、次の規定に従う必要があります。
(1) 雨具の保管、靴やコートの履き替え、清潔な作業着の着替えなどの人員の浄化のための部屋を設置すること。
(2) トイレ、浴室、シャワー室、休憩室等の居室、エアシャワー室、エアロック、作業服洗浄室、乾燥室など必要に応じて設置可能です。
3. 人員用の浄化室および居室の設計は、次の規制に準拠する必要があります。
(1) 人員用浄化室の入口には、靴を洗浄するための措置を設けること。
(2) コートを保管する部屋と清潔な作業服を着替える部屋を別に設けること。
(3) 外側衣類保管庫は 1 人 1 台とし、清潔な作業服はエアブローとシャワーを備えたクリーンキャビネットに吊るす。
(4) 浴室には手洗い、乾燥のための設備を設けること。
(5) エアーシャワー室は、クリーンエリアの職員の出入り口に設け、クリーン作業着更衣室に隣接して設けること。最大勤務人数30名ごとに1人用エアシャワールームを設置しております。クリーンエリア内に5名以上のスタッフがいる場合は、エアシャワー室の片側にバイパスドアを設置してください。
(6) ISO 5 よりも厳しい垂直一方向流クリーンルームにはエア ロックが必要です。
(7) 清潔なエリアではトイレを使用できません。職員用浄化室内のトイレには前室を設けるべきである。
4. 歩行者動線は、次の規定を遵守する必要があります。
(1) 歩行者動線は往復交差点を避けたものとする。
(2) 職員の浄化室および居室の配置は、職員の浄化手順に従っていること。
5. 空気清浄度のレベルとスタッフの数に応じて、クリーンワークショップの人員浄化室とリビングルームの建築面積を合理的に決定し、クリーンエリアの平均人数に基づいて計算する必要があります。 1 人あたり 2 平方メートルから 4 平方メートルの範囲で設計されています。
6. クリーンな作業服更衣室および洗浄室の空気浄化要件は、製品のプロセス要件と隣接するクリーンルーム（エリア）の空気清浄度レベルに基づいて決定する必要があります。
７ クリーンルームの設備及び材料の出入口には、設備及び材料の性質、形状等に応じた材料精製室及び設備を設けること。材料精製室のレイアウトは、輸送中の精製材料の汚染を防止する必要があります。
投稿日時: 2023 年 7 月 17 日