近年、様々な産業の発展は非常に速く、製品の改良や製品品質および環境への要求水準の上昇が絶えず見られます。これは、様々な産業においてクリーンルーム設計に対する要求水準も高まることを示しています。
クリーンルーム設計基準
中国におけるクリーンルームの設計基準はGB50073-2013規格です。クリーンルームおよびクリーンエリアの空気清浄度（整数値）は、以下の表に従って決定する必要があります。
| クラス | 最大粒子数/m3 | FED STD 209E相当 | |||||
| 0.1 µm以上 | 0.2 µm以上 | 0.3 µm以上 | 0.5 µm以上 | 1 µm以上 | 5 µm以上 | ||
| ISO 1 | 10 | 2 | |||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | クラス1 | |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | 10年生 | |
| ISO 5 | 10万 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | クラス100 |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | 1000クラス |
| ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | 10,000クラス | |||
| ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | 10万クラス | |||
| ISO 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | 室内空気 | |||
クリーンルーム内の空気の流れパターンと供給空気量
1. 気流パターンの設計は、以下の規定を遵守しなければならない。
（１）クリーンルーム（エリア）の気流パターンと供給空気量は要求事項を満たさなければならない。空気清浄度レベルの要求事項がISO 4より厳しい場合は、一方向の流れを使用する。空気清浄度がISO 4とISO 5の間にある場合は、一方向の流れを使用する。空気清浄度がISO 6～9の場合は、非一方向の流れを使用する。
（２）クリーンルーム作業エリア内の気流分布は均一でなければならない。
（３）クリーンルーム作業エリアの気流速度は、生産工程の要件を満たす必要があります。
2. クリーンルームの給気量は、以下の3項目のうち最大値を取るべきである。
（１）空気清浄度レベルの要件を満たす供給空気量。
（２）熱負荷と湿度負荷の計算に基づいて決定される空気供給量。
（３）室内排気量を補い、室内正圧を維持するために必要な外気量の合計。クリーンルーム内の各人への外気供給量が毎時４０m³以上であることを確保する。
3. クリーンルーム内の各種設備の配置は、気流パターンと空気清浄度への影響を考慮し、以下の規定を遵守しなければならない。
（１）クリーンワークベンチは一方向流クリーンルーム内に配置してはならず、非一方向流クリーンルームの還気口はクリーンワークベンチから離れた場所に設置しなければならない。
（２）換気を必要とするプロセス機器は、クリーンルームの風下側に配置する必要があります。
（３）暖房設備がある場合は、温風の流れが気流分布に与える影響を軽減するための対策を講じる必要がある。
（４）残留圧力弁は清浄空気の流れの風下側に配置する必要があります。
空気浄化処理
1. エアフィルターの選定、配置、設置は、以下の規定を遵守しなければならない。
（１）空気浄化処理においては、空気清浄度に応じてエアフィルターを適切に選択する必要がある。
（２）エアフィルターの処理空気量は、定格空気量以下でなければならない。
（３）中型またはHEPAエアフィルターは、エアコンボックスの正圧部に集中させるべきである。
（４）サブHEPAフィルターおよびHEPAフィルターをエンドフィルターとして使用する場合は、浄化空調システムの末端に設置する必要があります。ウルトラHEPAフィルターは浄化空調システムの末端に設置する必要があります。
（５）同じクリーンルームに設置されたHEPA（サブHEPA、ウルトラHEPA）エアフィルターの抵抗効率は同程度であるべきである。
（６）HEPA（サブHEPA、ウルトラHEPA）エアフィルターの取り付け方法は、密閉性、簡素性、信頼性が高く、漏れの検出と交換が容易であるべきである。
2. 大規模なクリーン工場における浄化空調システムの新鮮な空気は、中央で空気浄化処理を行うべきである。
3. 空気浄化空調システムの設計においては、還気を有効活用する必要がある。
4. 空気清浄空調システムのファンは、周波数変換対策を採用する必要がある。
- 極寒地域および寒冷地における専用外気処理システムには、凍結防止対策を講じる必要がある。
暖房、換気、煙制御
1. ISO 8以上の空気清浄度を有するクリーンルームでは、暖房用ラジエーターの使用は認められていません。
2. クリーンルーム内で粉塵や有害ガスを発生させるプロセス機器には、局所排気装置を設置する必要があります。
3. 次のような状況では、局所排気システムを別途設置する必要があります。
（１）混合排気媒体は腐食性、毒性、燃焼および爆発の危険性、および相互汚染を引き起こしたり悪化させたりする可能性があります。
（２）排気媒体には有毒ガスが含まれている。
（３）排気媒体には可燃性ガス及び爆発性ガスが含まれている。
4. クリーンルームの排気システムの設計は、以下の規定に準拠する必要があります。
（１）外気逆流を防止する必要がある。
（２）可燃性および爆発性物質を含む局所排気システムは、その物理的および化学的性質に基づいて、適切な火災および爆発防止措置を採用しなければならない。
（３）排気媒体中の有害物質の濃度及び排出率が、有害物質排出濃度及び排出率に関する国又は地域の規制を超える場合、無害化処理を実施しなければならない。
（４）水蒸気及び凝縮性物質を含む排気システムには、傾斜及び排出口を設けること。
5. 靴を履き替える部屋、衣類を保管する部屋、洗濯室、トイレ、シャワー室などの補助的な生産室では換気対策を講じ、室内の静圧値は清潔区域の静圧値よりも低くする必要があります。
6．製造工程の要件に従い、事故排気システムを設置する必要があります。事故排気システムには自動制御スイッチと手動制御スイッチを装備し、手動制御スイッチは操作しやすいようにクリーンルーム内と室外に別々に設置する必要があります。
7. クリーン作業場における排煙設備の設置は、以下の規則を遵守しなければならない。
（１）クリーン作業場の避難通路には機械式排煙設備を設置しなければならない。
（２）クリーンワークショップに設置される排煙設備は、現行の国家規格の関連規定に準拠しなければならない。
クリーンルーム設計のためのその他の対策
1. クリーンワークショップには、必要に応じて、従業員の浄化および材料の浄化のための部屋と設備、ならびに居住室その他の部屋を備えるべきである。
2. 人員浄化室および居住室の設置は、以下の規定に従うものとする。
（１）雨具を保管したり、靴やコートを着替えたり、清潔な作業服に着替えたりするなど、従業員の衛生管理のための部屋を設ける。
（２）トイレ、浴室、シャワー室、休憩室、その他の居間、エアシャワー室、エアロック、作業服洗濯室、乾燥室は必要に応じて設置できる。
3. 人員浄化室および居住室の設計は、以下の規定を遵守しなければならない。
（１）人員浄化室の入口には靴を洗浄するための設備を設置する。
（２）コートを保管したり、清潔な作業着に着替えたりするための部屋は別々に設けるべきである。
（３）外衣収納棚は一人につき１つ設計し、清潔な作業服は送風とシャワーを備えた清潔な棚に掛ける。
（４）浴室には手を洗ったり乾かしたりするための設備が備え付けられていなければならない。
（５）エアシャワー室は、クリーンエリアの従業員の入口に設置し、クリーン作業服更衣室に隣接させるものとする。最大シフト数で３０人につき１人用エアシャワー室を設置する。クリーンエリアに５人以上の従業員がいる場合は、エアシャワー室の片側にバイパスドアを設置する。
（６）ISO 5よりも厳しい垂直一方向流クリーンルームにはエアロックが必要である。
（７）清潔区域にはトイレを設置してはならない。人員浄化室内のトイレは前室を設けなければならない。
4. 歩行者通路は、以下の規則を遵守しなければならない。
（１）歩行者の流れの経路は、往復する交差点を避けるべきである。
（２）職員用浄化室及び居室の配置は、職員用浄化手順に従うものとする。
5. 空気清浄度レベルと従業員数に応じて、クリーンワークショップ内の従業員用浄化室と居住室の建築面積は合理的に決定する必要があり、クリーンエリア設計における平均人数に基づいて計算し、1人あたり2平方メートルから4平方メートルの範囲とするべきである。
6. 清潔な作業服更衣室および洗濯室の空気浄化要件は、製品のプロセス要件および隣接するクリーンルーム（エリア）の空気清浄度レベルに基づいて決定する必要があります。
7．クリーンルームの機器および資材の出入口には、機器および資材の特性、形状、その他の特徴に基づいて、資材浄化室および設備を設ける必要がある。資材浄化室のレイアウトは、浄化された資材が搬送中に汚染されないように設計する必要がある。
投稿日時：2023年7月17日