今日、様々な産業の発展は急速に進んでおり、製品は絶えず更新され、製品の品質と環境に対する要求は高まっています。これは、様々な産業においてクリーンルームの設計に対する要求も高まることを示しています。
クリーンルーム設計基準
中国におけるクリーンルームの設計規格はGB50073-2013規格です。クリーンルームおよびクリーンエリアの空気清浄度の整数レベルは、以下の表に従って決定する必要があります。
| クラス | 最大粒子数/m3 | FED STD 209E相当 | |||||
| >=0.1 µm | >=0.2 µm | >=0.3 µm | >=0.5 µm | >=1 µm | >=5 µm | ||
| ISO 1 | 10 | 2 | |||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | クラス1 | |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | 10年生 | |
| ISO 5 | 10万 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | クラス100 |
| ISO 6 | 1,000,000 | 23万7000 | 10万2000 | 35,200 | 8,320 | 293 | クラス1,000 |
| ISO 7 | 35万2000 | 83,200 | 2,930 | クラス10,000 | |||
| ISO 8 | 3,520,000 | 83万2000 | 29,300 | クラス100,000 | |||
| ISO 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 29万3000 | 室内空気 | |||
クリーンルームの空気の流れと給気量
1. 気流パターンの設計は、以下の規制に準拠する必要があります。
（1）クリーンルーム（区域）の気流パターンおよび給気量は、要求事項を満たす必要があります。空気清浄度要求がISO 4より厳しい場合は、一方向流とします。空気清浄度がISO 4とISO 5の間の場合は、一方向流とします。空気清浄度がISO 6～9の場合は、非一方向流とします。
（２）クリーンルームの作業エリア内の気流分布は均一でなければならない。
（３）クリーンルーム作業エリア内の気流速度は、製造プロセスの要件を満たす必要がある。
2.クリーンルームの給気量は、次の3つの項目の最大値をとるものとする。
（１）空気清浄度の要求を満たす供給空気量。
（２）熱負荷および湿度負荷の計算に基づいて決定される空気供給量。
（3）室内の排気量を補い、室内の正圧を維持するために必要な新鮮空気の量の合計。クリーンルーム内の各人への新鮮空気の供給量が毎時40m³以上であることを保証する。
3. クリーンルーム内の各種設備の配置は、気流パターンと空気清浄度への影響を考慮し、以下の規定に従う必要があります。
（１）一方向流クリーンルームにはクリーン作業台を設置してはならないし、非一方向流クリーンルームの還気出口はクリーン作業台から離して設置しなければならない。
（２）換気を必要とするプロセス機器はクリーンルームの風下側に配置すること。
（３）暖房設備がある場合には、温風が気流分布に与える影響を軽減するための措置を講じること。
（４）残圧弁は清浄な空気の流れの風下側に配置する必要がある。
空気浄化処理
1. エアフィルタの選択、配置、および設置は、以下の規制に準拠する必要があります。
（１）空気浄化処理は、空気の清浄度に応じて空気フィルターを合理的に選択する必要がある。
（２）エアフィルタの処理空気量は定格空気量以下とすること。
（３）中型またはHEPAエアフィルターは、空調ボックスの正圧部に集中させる必要があります。
（4）サブHEPAフィルター及びHEPAフィルターを末端フィルターとして使用する場合は、浄化空調システムの末端に設置してください。ウルトラHEPAフィルターは、浄化空調システムの末端に設置してください。
（５）同一のクリーンルーム内に設置されたHEPA（サブHEPA、ウルトラHEPA）エアフィルターの抵抗効率は同様でなければならない。
（６）HEPA（サブHEPA、ウルトラHEPA）エアフィルターの設置方法は、密閉性が高く、簡単、信頼性が高く、漏れを検出して交換しやすいものでなければなりません。
2. 大規模なクリーン工場の浄化空調システムの新鮮な空気は、空気浄化のために集中処理される必要があります。
3. 浄化空調システムの設計では、戻り空気を適切に利用する必要があります。
4. 浄化空調システムのファンは周波数変換対策を採用する必要があります。
- 厳寒地及び寒冷地における専用外気供給システムには凍結防止対策を施すこと。
暖房、換気、煙制御
1. 空気清浄度が ISO 8 を超えるクリーンルームでは、暖房にラジエーターを使用することはできません。
2. クリーンルーム内で粉塵や有害ガスを発生するプロセス機器には局所排気装置を設置する必要があります。
3. 以下の場合には、局所排気装置を別途設置する必要があります。
（１）混合排気媒体は腐食性、毒性、燃焼および爆発の危険性、ならびに交差汚染を発生させたり、悪化させる可能性がある。
（２）排気ガス中に有毒ガスが含まれる。
（３）排気媒体には可燃性及び爆発性のガスが含まれている。
4. クリーンルームの排気システムの設計は、以下の規制に準拠する必要があります。
（１）屋外への空気の逆流を防止する。
（２）可燃性・爆発性物質を収容する局所排気装置においては、その物理的・化学的性質に応じ、適切な火災・爆発防止措置を講じなければならない。
（３）排気媒体中の有害物質の濃度及び排出量が、国または地域の有害物質排出濃度及び排出量に関する規制を超える場合は、無害化処理を実施する必要がある。
（４）水蒸気及び凝縮性物質を排気する設備には、傾斜面及び排出口を設けること。
5. 履物の着替え、衣服の保管、洗濯、トイレ、シャワーなどの補助生産室には換気対策を施し、室内の静圧値はクリーンエリアより低くする必要があります。
6. 生産工程の要件に応じて、事故時用排気システムを設置する必要があります。事故時用排気システムには自動制御スイッチと手動制御スイッチが備え付けられ、手動制御スイッチは操作しやすいようにクリーンルーム内と屋外に別々に設置する必要があります。
7. クリーン作業場における排煙設備の設置は、以下の規制に従う必要があります。
（１）クリーン作業場の避難通路には機械式の排煙設備を設ける必要がある。
（２）クリーン作業場に設置される排煙設備は、現行の国家基準の関連規定に適合するものでなければならない。
クリーンルーム設計におけるその他の対策
1. 清潔作業場には、人員浄化および材料浄化のための部屋や設備が備え付けられている必要があり、必要に応じて居住室やその他の部屋も備え付けられている必要があります。
2. 人員浄化室および居住室の設置は、以下の規定に従う必要があります。
（１）雨具の保管、靴やコートの着替え、清潔な作業衣の着替えなどを行うための部屋を設ける。
（２）トイレ、浴室、シャワー室、休憩室等の居室のほか、エアシャワー室、エアロック、作業衣洗濯室、乾燥室等を必要に応じて設置することができる。
3. 人員浄化室および居住室の設計は、以下の規定に準拠する必要があります。
（１）人員浄化室の出入口に靴を洗浄するための措置を設けること。
（２）コートを保管する部屋と清潔な作業着に着替える部屋を別に設けること。
（３）外衣収納庫は１人１台とし、清潔な作業服は送風・シャワー付きの清潔庫に掛けておくこと。
（４）浴室には手を洗い、乾かすための設備を設けること。
（5）エアシャワー室は、クリーンエリア入室者入口に設置し、クリーン作業衣更衣室に隣接させる。最大シフト数30人ごとに1室のエアシャワー室を設ける。クリーンエリアに5人を超える人員がいる場合は、エアシャワー室の片側にバイパスドアを設置する。
（６）ISO 5よりも厳しい垂直一方向フロークリーンルームにはエアロックを設ける必要がある。
（7）清潔区域内にトイレを設置してはならない。職員用浄化室内のトイレには、前室を設けること。
4. 歩行者動線は以下の規定に従う必要があります。
（１）歩行者動線は、交差する場所を避けることとする。
（２）職員浄化室及び居室の配置は、職員浄化手順に従って行うものとする。
5. 空気清浄度のレベルと従業員数に応じて、クリーン作業場の人員浄化室と居住室の建築面積を合理的に決定し、クリーンエリア設計の平均人数に基づいて計算し、1人あたり2平方メートルから4平方メートルの範囲にする必要があります。
6. クリーン作業衣の更衣室および洗濯室の空気清浄要件は、製品プロセスの要件および隣接するクリーンルーム（エリア）の空気清浄レベルに基づいて決定する必要があります。
7. クリーンルームの設備及び材料の出入口には、設備及び材料の性質、形状、その他の特性を考慮し、材料精製室及び設備を設ける必要がある。材料精製室の配置は、輸送中に精製された材料が汚染されないよう配慮する必要がある。
投稿日時: 2023年7月17日