クリーンルーム試験の範囲とは？

クリーンルームのテストには、一般的に、粉塵粒子、付着細菌、浮遊細菌、圧力差、換気回数、風速、換気量、照度、騒音、温度、相対湿度などが含まれます。

1. 給気量と排気量：乱流クリーンルームの場合は、給気量と排気量を測定する必要があります。一方向層流クリーンルームの場合は、空気速度を測定する必要があります。

2. エリア間の空気の流れの制御: エリア間の空気の流れの方向が正しいこと、つまり、高レベルのクリーンエリアから低レベルのクリーンエリアへの流れであることを証明するために、次のことを検出する必要があります。各エリア間の圧力差が正しいこと。壁、床などの入口または開口部での空気の流れの方向が正しいこと、つまり、高レベルのクリーンエリアから低レベルのクリーンエリアへの流れであること。

3. 隔離漏洩検知：このテストは、浮遊汚染物質が建材を透過してクリーンルーム内に侵入しないことを証明するためのものです。

4. 室内気流制御：気流制御試験の種類は、クリーンルームの気流モード（乱流か一方向流か）によって決定する必要があります。クリーンルームの気流が乱流の場合は、室内に気流が不足している箇所がないことを確認する必要があります。一方向流のクリーンルームの場合は、室内全体の空気速度と方向が設計要件を満たしていることを確認する必要があります。

5. 浮遊粒子濃度および微生物濃度：上記の試験が要件を満たしている場合は、粒子濃度および微生物濃度（必要に応じて）を測定し、クリーンルーム設計の技術条件を満たしていることを確認します。

6. その他の試験: 上記の汚染防止試験に加えて、温度、相対湿度、室内暖房および冷房能力、騒音値、照度、振動値などの試験を1つ以上実施する必要がある場合もあります。