

クリーンルームのテストには、一般的に、塵粒子、沈着細菌、浮遊細菌、圧力差、空気の入れ替え、空気速度、新鮮な空気の量、照度、騒音、温度、相対湿度などが含まれます。
1. 給気量と排気量:乱流クリーンルームの場合は、給気量と排気量を測定する必要があります。一方向層流クリーンルームの場合は、風速を測定する必要があります。
2. エリア間の気流制御:エリア間の気流、つまり高レベルクリーンエリアから低レベルクリーンエリアへの気流の正しい方向を証明するには、以下のことを検出する必要があります。各エリア間の圧力差が正しいこと。入口または壁、床などの開口部における気流の方向が正しいこと、つまり高レベルクリーンエリアから低レベルクリーンエリアへの気流であること。
3. 隔離漏れ検出:このテストは、浮遊している汚染物質が建材を貫通してクリーンルームに侵入しないことを証明します。
4. 室内気流制御:気流制御試験の種類は、クリーンルームの気流モード(乱流か一方向流か)によって異なります。クリーンルーム内の気流が乱流の場合、室内に気流不足の箇所がないことを確認する必要があります。一方向流のクリーンルームの場合は、室内全体の気流速度と風向が設計要件を満たしていることを確認する必要があります。
5. 浮遊粒子濃度および微生物濃度: 上記のテストが要件を満たしている場合は、粒子濃度と微生物濃度(必要な場合)を測定し、クリーンルーム設計の技術的条件を満たしていることを確認します。
6. その他のテスト: 上記の汚染制御テストに加えて、温度、相対湿度、室内の暖房と冷房の能力、騒音値、照度、振動値などの 1 つ以上のテストを実施する必要がある場合もあります。


投稿日時: 2023年5月30日