クリーンルームには、電子製品、医薬品、ヘルスケア製品、食品、医療機器、精密機械、ファインケミカル、航空、宇宙、原子力産業製品の製造用クリーンルームなど、多くの種類があります。これらの異なる種類のクリーンルームには、規模、製品製造プロセスなどが含まれます。さらに、さまざまな種類のクリーンルームの最大の違いは、クリーン環境における汚染物質の制御目標の違いです。汚染粒子を主に制御することを目的とした代表的な例は、微生物と粒子を主に制御する電子製品製造用クリーンルームです。対象を絞った代表的な例は、医薬品製造用クリーンルームです。科学技術の発展に伴い、集積回路チップ製造用の超大型クリーンルームなどのハイテク電子産業のクリーンワークショップでは、ナノスケール粒子を厳密に制御するだけでなく、空気中の化学汚染物質/分子汚染物質も厳密に制御する必要があります。
各種クリーンルームの空気清浄度は、製品の種類と製造プロセスに関係しています。電子産業のクリーンルームに現在要求されている清浄度はISO3〜8です。電子製品の製造用クリーンルームの中には、製品製造プロセス設備も備えているものがあります。マイクロ環境装置の清浄度はISOクラス1またはISOクラス2までです。医薬品製造用のクリーンワークショップは、中国の「医薬品製造管理基準」(GMP)の複数バージョンに基づいており、無菌医薬品、非無菌医薬品、漢方薬製剤などについては、クリーンルームの清浄度レベルに関する明確な規定があります。中国の現在の「医薬品製造管理基準」では、空気清浄度レベルをA、B、C、Dの4つのレベルに分けています。各種クリーンルームは、製造プロセスや製品製造プロセス、規模、清浄度レベルがそれぞれ異なるため、エンジニアリング建設に関わる専門技術、設備、システム、配管、電気設備などは非常に複雑です。各種クリーンルームの工学的構造内容はそれぞれ異なる。
例えば、電子産業におけるクリーンワークショップの建設内容は、電子機器の製造と電子部品の製造では大きく異なります。集積回路製造の前処理およびパッケージング工程におけるクリーンワークショップの建設内容も大きく異なります。マイクロエレクトロニクス製品の場合、主に集積回路ウェハ製造およびLCDパネル製造のためのクリーンルームのエンジニアリング建設内容は、主に以下を含みます。(工場の主要構造等を除く)クリーンルームの建物装飾、浄化空調システムの設置、排気/排気システムおよびその処理設備の設置、給排水設備の設置(冷却水、消火用水、純水/高純度水システム、製造廃水等を含む)、ガス供給設備の設置(バルクガスシステム、特殊ガスシステム、圧縮空気システム等を含む)、薬品供給システムの設置、電気設備の設置(電線、電気機器等を含む)。ガス供給設備のガス源、純水などの水源設備の多様性、および関連機器の多様性と複雑さのため、それらのほとんどはクリーンファクトリーには設置されませんが、配管は共通です。
クリーンルームにおける騒音制御設備、微振動防止装置、帯電防止装置などの建設および設置について説明します。医薬品製造用クリーンワークショップの建設内容は、主にクリーンルームの建物の内装、浄化空調システムの建設および設置、排気システムの設置、給排水設備(冷却水、消火用水、製造廃水などを含む)の設置、ガス供給システム(圧縮空気システムなど)の設置、純水および水注入システムの設置、電気設備の設置などです。
上記2種類のクリーンワークショップの建設内容から、様々なクリーンワークショップの建設および設置内容は概ね類似していることがわかる。名称は基本的に同じですが、構造内容の意味合いは大きく異なる場合があります。例えば、クリーンルームの構造と装飾内容について、マイクロエレクトロニクス製品の製造用クリーンワークショップでは、一般的にISOクラス5の混合流クリーンルームを使用し、クリーンルームの床は還気孔付きの二重床を採用しています。製造フロアの二重床の下には下部技術中二階があり、吊り天井の上には上部技術中二階があります。通常、上部技術中二階は空気供給プレナムとして使用され、下部技術中二階は還気プレナムとして使用されます。空気と供給空気は汚染物質で汚染されません。上部/下部技術中二階には清浄度レベルの要件はありませんが、上部/下部技術中二階の床面と壁面は必要に応じて塗装し、通常、上部/下部技術中二階の技術中間層には、必要に応じて対応する水道管、ガス管、各種空気管、各種水道管を設置できます。各職種における配管および配線(ケーブル)のレイアウトニーズ。
したがって、各種クリーンルームは用途や建設目的、製品の種類が異なり、製品の種類が同じであっても規模や製造工程・設備が異なるため、クリーンルームの建設内容も異なります。そのため、特定のクリーンルームプロジェクトの実際の建設および設置は、設計図面、文書、および建設業者と所有者間の契約要件に従って実施する必要があります。同時に、関連する規格および仕様の規定と要件を誠実に遵守する必要があります。設計文書を正確に理解した上で、特定のクリーンエンジニアリングプロジェクトに適した建設手順、計画、および建設品質基準を策定し、請け負ったクリーンルームプロジェクトを予定通りに高品質な建設で完了させる必要があります。
投稿日時:2023年8月30日
