クリーンルーム自動制御システムの重要性

クリーンルームには、比較的完成度の高い自動制御システム／装置を設置することが推奨される。これは、クリーンルームの正常な生産を確保し、運用管理レベルを向上させる上で非常に有益であるが、建設投資額を増やす必要がある。 

クリーンルームには、空気清浄度、温度と湿度、圧力差、高純度ガスと純水、ガス純度と純水品質などの監視を含むさまざまなタイプがあり、その他の要件や技術パラメータも異なります。また、さまざまな産業におけるクリーンルームの規模と面積も大きく異なるため、自動制御システム/装置の機能は、クリーンルームプロジェクトの具体的な条件に応じて決定し、さまざまなタイプの監視および制御システムに設計する必要があります。クリーンルームは、分散型コンピュータ制御および監視システムとして設計されます。

マイクロエレクトロニクスクリーンルームに代表される現代のハイテククリーンルームの自動制御・監視システムは、電気技術、自動計測技術、コンピュータ技術、ネットワーク通信技術を統合した総合システムです。様々な技術を適切かつ合理的に活用することによってのみ、システムは要求される制御・監視要件を満たすことができます。

電子機器クリーンルームの生産環境制御に関する厳格な要件を確保するためには、公共電力システム、浄化空調システムなどの制御システムがまず高い信頼性を備えている必要がある。

第二に、さまざまな制御機器や計測器については、工場全体のネットワーク制御を実現するという要件を満たすために、オープンである必要があります。電子製品の製造技術は急速に発展しており、電子クリーンルームの自動制御システムの設計は、制御要件の変化に対応できるよう、柔軟かつ拡張性のあるものでなければなりません。分散ネットワーク構造は優れたヒューマンコンピュータインタラクションインターフェースを備えており、生産環境や各種電力公共機器の検出、監視、制御をより良く実現でき、コンピュータ技術を用いたクリーンルーム制御にも適用できます。クリーンルームのパラメータ指標要件がそれほど厳しくない場合は、従来の計測器を使用して制御することもできます。しかし、どの方法を使用する場合でも、制御精度は生産要件を満たし、安定かつ信頼性の高い動作を実現し、省エネルギーと排出削減を実現できる必要があります。