クリーンルーム自動制御システムの重要性

比較的完全な自動制御システム/装置をクリーンルームに設置する必要があり、これはクリーンルームの正常な生産を確保し、運用管理レベルを向上させるのに非常に有益ですが、建設投資を増やす必要があります。 

クリーンルームには、空気の清浄度、温度と湿度、圧力差の監視、高純度ガスと純水、ガス純度や純水の品質などの監視など、さまざまな要件や技術的パラメータが異なり、クリーンルームの規模や面積も異なります。さまざまな業界の部屋も大きく異なるため、自動制御システム/装置の機能はクリーンルームプロジェクトの特定の条件に従って決定され、さまざまなタイプの監視および制御システムに設計される必要があります。クリーン ルームは、分散型コンピュータ制御および監視システムとして設計されています。

マイクロエレクトロニクスクリーンルームに代表される現代のハイテククリーンルームの自動制御・監視システムは、電気技術、自動計装、コンピュータ技術、ネットワーク通信技術を統合した総合システムです。さまざまなテクノロジーを正しく合理的に使用することによってのみ、システムは必要な制御および監視要件を満たすことができます。

電子クリーンルームの生産環境の制御に関する厳しい要求を確実に実現するには、まず公共電力システム、浄化空調システムなどの制御システムが高い信頼性を備えている必要があります。

第二に、さまざまな制御機器や計器については、プラント全体のネットワーク制御を実現するための要件を満たすためにオープンである必要があります。電子製品の生産技術は急速に発展しており、電子クリーンルームの自動制御システムの設計は、制御要件の変化に合わせて柔軟かつ拡張可能である必要があります。分散ネットワーク構造は優れた人間とコンピュータの対話インターフェイスを備えており、生産環境やさまざまな電力公共設備の検出、監視、制御をより適切に実現でき、コンピュータ技術を使用したクリーンルーム制御に適用できます。クリーンルームのパラメータ指標要件がそれほど厳しくない場合は、従来の機器を制御に使用することもできます。ただし、いずれの方法を使用する場合でも、制御精度が生産要件を満たし、安定かつ信頼性の高い動作を実現し、省エネと排出ガスの削減を実現できる必要があります。