クリーンルーム自動制御システムの重要性

クリーンルームには比較的完全な自動制御システム/装置を設置する必要があります。これはクリーンルームの正常な生産を確保し、運用管理レベルを向上させるのに非常に有益ですが、建設投資を増やす必要があります。 

クリーンルームの種類は様々で、空気清浄度、温湿度、気圧差、高純度ガスと純水、ガス純度と純水品質などの監視など、要求事項や技術パラメータが異なります。また、各業界のクリーンルームの規模や面積も大きく異なります。そのため、自動制御システム／装置の機能は、クリーンルームプロジェクトの具体的な条件に応じて決定し、様々な監視制御システムに組み込まれる必要があります。クリーンルームは、分散型コンピュータ制御監視システムとして設計されています。

マイクロエレクトロニクスクリーンルームに代表される現代のハイテククリーンルームの自動制御・監視システムは、電気技術、自動計装、コンピュータ技術、ネットワーク通信技術を統合した総合的なシステムです。様々な技術を正しく合理的に活用することによってのみ、システムは必要な制御・監視要件を満たすことができます。

電子クリーンルームの生産環境の制御に対する厳しい要求を満たすために、公共電力システム、浄化空調システムなどの制御システムは、まず高い信頼性を備えている必要があります。

第二に、異なる制御機器や計測器については、工場全体のネットワーク制御を実現するための要件を満たすためにオープンである必要があります。電子製品の生産技術は急速に発展しており、電子クリーンルームの自動制御システムの設計は、制御要件の変化に対応するために柔軟で拡張可能である必要があります。分散型ネットワーク構造は、優れたヒューマンコンピュータインタラクションインターフェースを備えており、生産環境や各種電力公共設備の検出、監視、制御をより適切に実現でき、コンピュータ技術を用いたクリーンルーム制御にも適用できます。クリーンルームのパラメータ指標要件がそれほど厳しくない場合は、従来の計測器を使用して制御することもできます。ただし、どの方法を使用する場合でも、制御精度は生産要件を満たし、安定した信頼性の高い操作を実現し、省エネと排出削減を実現できます。