クリーンルームにおけるエネルギー消費特性

① クリーンルームはエネルギーを大量に消費します。エネルギー消費量には、クリーンルーム内の生産設備で使用する電力、熱、冷却、浄化空調システムの消費電力、熱消費、冷却負荷、冷凍機や排気処理の消費電力が含まれます。装置の消費電力・消費熱、各種高純度物質の調製・輸送に伴う消費電力・消費熱・冷却負荷、各種電力公共施設の消費電力・消費熱・冷却・照明消費電力。同じ面積のクリーンルームのエネルギー消費量はオフィスビルの10倍以上です。エレクトロニクス業界の一部のクリーン ルームでは、広いスペース、広い面積、および大容量が必要です。科学技術の発展に伴い、エレクトロニクス製品の生産における大規模かつ高信頼性の性能要求を満たすために、複数の工程を統合して連続生産する大型精密生産設備が多用されています。そのためには、広い建築面積、クリーンな生産エリア、上下の技術を配置する必要があります。「メザニン」は大空間と大規模なクリーンルームを組み合わせた建物です。

②エレクトロニクス産業では、対応する輸送パイプラインと必要な排気処理設備がクリーンルームに設置されることが多い。これらの排気処理設備はエネルギーを消費するだけでなく、クリーンルームへの給気量も増加します。電子製品のクリーンルームは多くのエネルギーを消費します。クリーンな生産環境を実現するために必要な浄化空調設備や冷暖房設備などの空気浄化設備は、多くのエネルギーを消費します。空気清浄度の要求が厳しい場合は、清浄な空気の供給量と新鮮な空気の量が多いため、エネルギー消費量が多く、年間を通じてほぼ毎日昼夜を問わず連続運転します。

③各種エネルギー消費設備の継続利用。さまざまなクリーン ルームの空気清浄度レベルの一貫性、さまざまな室内機能パラメータの安定性、および製品生産プロセスのニーズを確保するために、多くのクリーン ルームは通常、昼夜を問わずオンラインで稼働しています。クリーンルームは継続的に稼動するため、製品の生産工程要件やクリーンルーム内での生産計画の手配に応じて電力供給、冷却、加熱などをスケジュールする必要があり、さまざまなエネルギー源をタイムリーに供給することができます。各種クリーンルームのエネルギー消費量は、製品生産設備や冷却水のエネルギー供給に加え、製品品種と密接に関係する高純度物質、薬品、特殊ガスなどにより、クリーンルーム内のエネルギー供給が変化します。製品の種類と製造プロセス。総エネルギー消費量のうち大きな割合を占めるのは、冷凍機や浄化空調システムなどの電力と冷却（熱）エネルギーの消費です。

④ 製品の製造工程要件やクリーンルームの環境管理要件により、冬季、端境期、夏季を問わず、60℃以下のいわゆる「低レベル熱エネルギー」が求められます。たとえば、浄化空調システムでは、冬や季節の変わり目に屋外の新鮮な空気を加熱するためにさまざまな温度の温水を供給する必要がありますが、熱供給は季節によって異なります。大量の純水は主に電子製品の製造のためのクリーンルームで使用されます。集積回路チップの製造および TFT-LCD パネルの製造プロセスにおける純水の時間消費量は数百トンに達します。必要な純水品質を得るために、通常、RO 逆浸透技術が使用されます。RO装置では水温を25℃程度に保つ必要があり、ある程度の温度の温水を供給する必要がある場合が多いです。一部の企業の調査によると、近年、クリーンルーム内の低次熱エネルギー（冷凍機の凝縮熱など）を本来の低温温水の利用に代わり、徐々に40℃前後の低温温水の供給に利用するようになってきている。 -加圧蒸気または高温熱水を加熱/予熱に使用し、明らかな省エネと経済的メリットを実現しました。したがって、クリーンルームには、低レベル熱源の「リソース」と低レベル熱エネルギーの需要の両方があります。これは、低レベルの熱エネルギーを統合して利用してエネルギー消費を削減するクリーンルームの重要な機能の 1 つです。