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クリーンルームのエネルギー消費特性

クリーンルーム
クリーンルーム

cleanクリーンルームは大規模なエネルギー消費者です。そのエネルギー消費には、クリーンルームの生産装置が使用する電気、熱、冷却、浄化エアコンシステムの電力消費量、熱消費量、冷却荷重、冷蔵ユニットの消費量、排気処理が含まれます。デバイスの消費量と熱消費、さまざまな高純度物質の準備と輸送の消費電力、熱消費、冷却負荷、さまざまな電力公共施設の消費電力、熱消費、冷却、照明電力消費。同じエリアの下のクリーンルームのエネルギー消費は、オフィスビルの10倍、またはさらに大きいです。エレクトロニクス業界の一部のクリーンルームには、大きなスペース、広いエリア、大量の大量が必要です。科学と技術の開発により、電子製品生産の大規模で高解放性のパフォーマンス要件を満たすために、継続的な生産のために複数のプロセスと統合された大規模な精密生産機器がよく使用されます。この目的のために、大規模な建物エリア、清潔な生産エリア、上部および低技術に配置する必要があります。 「メザニン」は、大きなスペースであり、大規模なクリーンルームの建物を組み合わせています。

compantion対応する輸送パイプラインと必要な排気処理施設は、電子産業の清掃室によく設置されています。これらの排気処理施設は、エネルギーを消費するだけでなく、クリーンルームの空気供給量を増やします。電子製品用のクリーンルームは、多くのエネルギーを消費します。浄化エアコンシステムや冷却および暖房システムなど、清潔な生産環境を満たすために必要な空気浄化施設は、多くのエネルギーを消費します。空気供給量と新鮮な空気量が多いため、空気清浄度の要件が厳しい場合、エネルギー消費量は大きく、年間を通してほぼ毎日昼夜を問わず動作します。

さまざまなエネルギーを消費する施設の使用の連続性。さまざまなクリーンルームでの空気の清潔レベルの一貫性、さまざまな屋内機能パラメーターの安定性、および製品生産プロセスのニーズを確保するために、多くのクリーンルームがオンラインで動作し、通常は1年と1日24時間です。クリーンルームの継続的な操作により、電源、冷却、暖房などは、クリーンルームでの製品生産プロセスの要件または生産計画の取り決めに従ってスケジュールする必要があり、さまざまなエネルギー源をタイムリーに供給できます。さまざまな種類のクリーンルームのエネルギー消費において、製品生産機器と冷却水のエネルギー供給、高純度の物質、化学物質、製品の種類に密接に関連する特別なガスに加えて、クリーンルームのエネルギー供給は変化します製品の多様性と生産プロセス。総エネルギー消費の大部分は、冷蔵マシンと精製エアコンシステムの電気と冷却(熱)エネルギー消費です。

condical製品生産プロセスの要件と環境制御要件によれば、冬、移行シーズン、夏であろうと、温度が60ペル未満のいわゆる「低レベルの熱エネルギー」が需要があります。たとえば、浄化エアコンシステムでは、冬や移行の季節に屋外の新鮮な空気を加熱するために、さまざまな温度の温水の供給が必要ですが、季節ごとに熱供給は異なります。大量の純水は、電子製品の生産のためにクリーンルームで主に使用されています。統合回路チップ製造およびTFT-LCDパネルの製造プロセスにおける純水の1時間ごとの消費は、数百トンに達します。必要な品質の純水を得るために、通常、RO逆浸透技術が使用されます。 RO機器では、水温を約25°Cに維持する必要があり、多くの場合、特定の温度のお湯を供給する必要があります。一部の企業に関する調査によると、近年、冷凍チラーの凝縮熱などのクリーンルームの低レベルの熱エネルギーが、40°C付近の低温温水を提供するために徐々に使用されており、低い低温の使用に代わる低いものの使用に置き換えられていることが示されています。 - 暖房/予熱のための蒸気または高温の温水を圧縮し、明らかな省エネと経済的利益を達成しました。したがって、クリーンルームには、低レベルの熱源の「リソース」と低レベルの熱エネルギーの需要の両方があります。これは、低レベルの熱エネルギーを統合して利用してエネルギー消費を削減するクリーンルームの重要な機能の1つです。


投稿時間:Nov-14-2023