クリーンルームに関する関連用語

1. 清潔さ

これは、空間の単位体積あたりに含まれる粒子の大きさや量を特徴づけるために使用され、空間の清浄度を区別するための基準となる。

2. 粉塵濃度

空気の単位体積あたりの浮遊粒子数。

3. 空の状態

クリーンルーム施設は建設され、すべての電源が接続され稼働しているが、生産設備、資材、人員は一切ない。

4. 静的ステータス

すべて完了し、設備も完全に整っており、浄化空調システムは正常に稼働しており、現場に人員はいない。生産設備が設置されているが稼働していないクリーンルームの状態、または生産設備の稼働が停止し、所定の時間自己洗浄を行った後のクリーンルームの状態、または両当事者（建設業者と施工業者）が合意した方法でクリーンルームが稼働している状態。

5. 動的な状態

当該施設は規定どおりに稼働し、規定の人員が配置され、合意された条件下で作業を実施する。

6. セルフクリーニング時間

これは、クリーンルームが設計された換気頻度に従って室内に空気を供給し始め、クリーンルーム内の粉塵濃度が設計された清浄度レベルに達した時点を指します。以下では、異なるレベルのクリーンルームにおける自己洗浄時間について見ていきます。

①. クラス100000：40分以内

②. クラス10000：30分以内

③. クラス1000：20分以内。

④. クラス100：3分以内。

7. エアロック室

クリーンルームの入口と出口にはエアロック室が設置されており、汚染された空気が外部や隣接する部屋に流れ込むのを遮断し、圧力差を制御する役割を果たしている。

8. エアシャワー

クリーンルームとは、入室前に一定の手順に従って人員を浄化する部屋です。ファン、フィルター、制御システムなどを設置し、入室者の全身を浄化することで、外部からの汚染を低減する効果的な方法の一つとなっています。

9. 貨物用エアシャワー

クリーンエリアに入る前に、一定の手順に従って材料を浄化する部屋。ファン、フィルター、制御システムを設置して材料を浄化することで、外部からの汚染を低減する効果的な方法の一つとなっている。

10. クリーンルーム用衣類

作業員が発生させる粉塵を最小限に抑えるため、粉塵排出量の少ない清潔な衣服を使用する。

11. HEPAフィルター

定格風量において、このエアフィルターは、粒径0.3μm以上の粒子に対して99.9%以上の捕集効率を有し、かつ空気抵抗は250Pa未満である。

12. ウルトラHEPAフィルター

定格風量において、粒径0.1～0.2μmの粒子に対する捕集効率が99.999%以上、かつ空気抵抗が280Pa未満のエアフィルター。