クリーンルーム関連用語

1. 清潔さ

空間の単位体積あたりの空気中に含まれる粒子のサイズと量を特徴付けるために使用され、空間の清浄度を区別するための基準です。

2. 粉塵濃度

空気の単位体積あたりの浮遊粒子の数。

3. 空の状態

クリーンルーム施設は建設され、すべての電力が接続されて稼働していますが、生産設備、材料、人員はありません。

4. 静的状態

すべてが完成し、完全に装備されており、浄化空調システムは正常に動作しており、現場には人員がいません。生産設備が設置されているが稼働していないクリーンルームの状態。または、生産設備の運転を停止し、一定時間自動洗浄を行った後のクリーンルームの状態。またはクリーンルームの状態が両当事者（建設者と建設当事者）によって合意された方法で動作していること。

5. 動的ステータス

施設は指定どおりに動作し、指定された担当者が立ち会い、合意された条件の下で作業を実行します。

6. セルフクリーニング時間

クリーンルームが設計された空気交換頻度に従って室内に空気を供給し始め、クリーンルーム内の粉塵濃度が設計上の清浄度レベルに達するまでの時間を指します。以下で確認するのは、さまざまなレベルのクリーン ルームの自動洗浄時間です。

①。クラス 100000: 40 分以内。

②。クラス 10000: 30 分以内。

③。クラス 1000: 20 分以内。

④。クラス 100: 3 分以内。

7. エアロックルーム

クリーンルームの出入口にエアロック室を設置し、外部や隣接する部屋の汚染空気の流れを遮断し、圧力差を制御します。

8.エアシャワー

クリーンエリアに入る前に、職員が一定の手順に従って浄化される部屋。クリーンルームに入る人々の全身を浄化するファン、フィルター、制御システムを設置することは、外部汚染を軽減する効果的な方法の 1 つです。

9. カーゴエアシャワー

クリーンエリアに入る前に、材料を一定の手順に従って精製する部屋。ファン、フィルター、制御システムを設置して物質をパージすることは、外部汚染を軽減する効果的な方法の 1 つです。

10. クリーンルーム用衣類

作業者が発生する粒子を最小限に抑えるために、発塵の少ない清潔な衣服を使用します。

11.HEPAフィルター

エアフィルターは定格風量において、粒径0.3μm以上、通気抵抗250Pa以下の粒子に対して99.9%以上の捕集効率を発揮します。

12.ウルトラHEPAフィルター

粒径0.1～0.2μmの粒子の捕集効率99.999％以上、定格風量時の通気抵抗280Pa以下のエアフィルターです。