クリーンルームに関する関連用語

1。清潔さ

スペースの単位体積あたりの空気に含まれる粒子のサイズと量を特徴付けるために使用され、空間の清潔さを区別するための標準です。

2。ダスト濃度

空気の単位体積あたりの懸濁粒子の数。

3。空の状態

クリーンルームの施設が建設されており、すべての電力が接続されていますが、生産機器、材料、人員はありません。

4。静的ステータス

すべてが完成し、完全に装備されているため、浄化エアコンシステムは正常に動作しており、現場には人員がいません。生産機器が設置されているが、動作していないクリーンルームの状態。または、生産機器が動作を停止し、指定された時間の間自動洗浄を行った後のクリーンルームの状態。または、クリーンルームの状態は、両当事者（建築業者と建設者）によって合意された方法で運営されています。

5。動的ステータス

施設は指定されたとおりに運営され、特定の人員が出席し、合意された条件下で作業を行います。

6。セルフクリーニング時間

これは、設計された空気交換頻度に従ってクリーンルームが部屋に空気を供給し始め、クリーンルームのほこりの濃度が設計された清潔さのレベルに達する時を指します。以下に表示されるのは、さまざまなレベルのクリーンルームのセルフクリーニング時間です。

①。クラス100000：40分以内（分）。

②。クラス10000：30分以内（分）。

③。クラス1000：20分以内（分）。

④。クラス100：3分以内（分）。

7。エアロックルーム

エアロックルームが入り口とクリーンルームの出口に設置され、外側または隣接する部屋で汚染された空気の流れを遮断し、圧力差を制御します。

8。エアシャワー

清潔なエリアに入る前に、特定の手順に従って職員が浄化される部屋。ファン、フィルター、制御システムをインストールして、クリーンルームに入る人の全身をパージすることにより、外部汚染を減らす効果的な方法の1つです。

9。貨物エアシャワー

きれいなエリアに入る前に、特定の手順に従って材料が精製される部屋。ファン、フィルター、および制御システムをインストールして材料をパージすることにより、外部汚染を減らす効果的な方法の1つです。

10。クリーンルームの衣服

労働者によって生成された粒子を最小限に抑えるために使用される低塵の排出を伴うきれいな衣服。

11。HEPAフィルター

定格の空気容積の下では、エアフィルターの収集効率は、粒子サイズが0.3μm以上、空気流量抵抗が250pa未満の粒子の収集効率が99.9％を超えています。

12。ウルトラヘパフィルター

粒子サイズが0.1〜0.2μmの粒子の収集効率が99.999％を超えるエアフィルター、定格空気容積下で280pa未満の空気流抵抗。