クリーンルームに関する関連用語

1. 清潔さ

単位空間体積あたりの空気中に含まれる粒子の大きさと量を表すために使用され、空間の清浄度を区別するための基準となります。

2. 粉塵濃度

空気の単位体積あたりの浮遊粒子の数。

3. 空の状態

クリーンルーム施設は建設され、すべての電源が接続されて稼働していますが、生産設備、資材、人員がありません。

4. 静的ステータス

全て完成し、設備も整い、浄化空調システムも正常に稼働しており、現場に人員はいない。生産設備は設置されているが稼働していないクリーンルームの状態、生産設備の稼働を停止し、規定時間セルフクリーニングを行った後のクリーンルームの状態、または施工者と施工者双方が合意した方法でクリーンルームが稼働している状態。

5. 動的ステータス

施設は指定されたとおりに稼働し、指定された人員が存在し、合意された条件下で作業を実行します。

6. セルフクリーニング時間

これは、クリーンルームが設計された換気頻度に従って空気を供給し始め、クリーンルーム内の粉塵濃度が設計された清浄度レベルに達するまでの時間を指します。以下では、様々なレベルのクリーンルームにおけるセルフクリーニング時間について見ていきます。

① クラス100000：40分以内

② クラス10000：30分以内

③. クラス1000：20分以内。

④. クラス100：3分以内。

7. エアロック室

クリーンルームの出入り口にはエアロック室が設置されており、外部や隣接室への汚染された空気の流れを遮断し、圧力差を制御します。

8. エアシャワー

クリーンエリアに入る前に、一定の手順に従って人員を浄化する部屋。ファン、フィルター、制御システムを設置し、クリーンルームに入る人の全身を浄化することで、外部汚染を低減する効果的な方法の一つです。

9. 貨物室エアシャワー

クリーンエリアに入る前に、材料を一定の手順で浄化する部屋。材料を浄化するためのファン、フィルター、制御システムを設置することで、外部汚染を低減する効果的な方法の一つとなります。

10. クリーンルーム用衣服

作業者によって発生する粒子を最小限に抑えるために使用される、発塵量の少ない清潔な衣服。

11. HEPAフィルター

定格風量において、粒径0.3μm以上の粒子に対して99.9%以上の捕集効率を有し、かつ通気抵抗が250Pa以下のエアフィルターです。

12. ウルトラHEPAフィルター

粒径0.1～0.2μmの粒子に対して99.999%以上の捕集効率を有し、定格風量時の通気抵抗が280Pa以下のエアフィルタです。