クリーンルームにおける給水システムの注意事項

1. 配管材料の選定：ステンレス鋼など、耐腐食性および耐高温性に優れた配管材料を優先的に選定すべきです。ステンレス鋼製の配管は、耐腐食性と耐高温性に優れているだけでなく、清掃やメンテナンスも容易です。

2. パイプラインのレイアウト設計：パイプラインの長さ、曲率、接続方法などの要素を考慮する必要があります。パイプラインの長さをできるだけ短くし、曲がりを減らし、溶接またはクランプ接続方法を選択して、パイプラインの密閉性と安定性を確保してください。

3. パイプライン設置プロセス：設置プロセス中は、パイプラインを清掃し、外部からの力によって損傷を受けないようにして、パイプラインの耐用年数に影響を与えないようにする必要があります。

4. 配管のメンテナンス：配管を定期的に清掃し、配管の接続部に緩みや漏れがないか確認し、必要に応じて速やかに修理・交換する。

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5. 結露防止：配管の外面に結露が発生する可能性がある場合は、事前に結露防止対策を講じる必要があります。

6．防火壁を貫通しない：配管を敷設する際は、防火壁を貫通しないようにしてください。どうしても貫通する必要がある場合は、壁管とケーシングが不燃性の管であることを確認してください。

7. シール要件：クリーンルームの天井、壁、床をパイプが貫通する場合、ケーシングが必要であり、パイプとケーシングの間にはシール対策が必要です。

8. 気密性の維持：クリーンルームは、良好な気密性、温度、湿度を維持する必要があります。クリーンルームの隅や天井などは、平らで滑らかで、埃が簡単に除去できる状態に保ってください。作業場の床は、平らで清掃しやすく、耐摩耗性があり、帯電せず、快適である必要があります。クリーンルームには、良好な気密性を維持するために二重ガラスの窓が設置されています。クリーンルームのドア、窓、壁、天井、床面の構造および施工上の隙間には、確実なシーリング対策を講じる必要があります。

9. 水質を純粋に保つ：さまざまな純水品質要件に応じて、給水システムを合理的に管理し、運用コストを削減します。循環給水方式を採用することで、給水管の流量を確保し、非循環区間の滞留水面積を減らし、純水が管内に滞留する時間を短縮するとともに、管材からの微量溶出物質が超純水の品質に与える影響を軽減し、細菌性微生物の拡散を防ぐことができます。

10．室内空気の清浄度を保つ：作業場内には十分な新鮮な空気を確保し、クリーンルーム内では1人あたり1時間あたり40立方メートル以上の新鮮な空気が供給されるようにする必要があります。クリーンルーム内では様々な内装作業が行われるため、作業内容に応じて適切な空気清浄度レベルを選択する必要があります。