クリーンルームにおける配電と配線

クリーンエリアと非クリーンエリアの電線は別々に敷設する必要があります。主要生産エリアと補助生産エリアの電線は別々に敷設する必要があります。汚染エリアとクリーンエリアの電線は別々に敷設する必要があります。プロセス要件が異なる電線は別々に敷設する必要があります。

建物の外壁を貫通する電線管は、収縮しない不燃性材料で被覆し、密閉する必要があります。クリーンルームに入る配線開口部は、非腐食性、無塵性、不燃性材料で塞ぐ必要があります。可燃性ガスや爆発性ガスが存在する環境では、鉱物絶縁ケーブルを使用し、独立して敷設する必要があります。配電線や機器を固定するためのブラケットボルトは、建物の鉄骨構造に溶接してはなりません。建設配電線の接地（PE）またはゼロ接続（PEN）分岐線は、対応する幹線に個別に接続する必要があり、直列に接続してはなりません。

金属製の電線管や配線ダクトは、ジャンパー接地線と溶接してはならず、専用の接地ポイントとジャンパー接続する必要があります。接地線が建物の外壁や床を貫通する箇所には鋼製のケーシングを追加し、ケーシングを接地する必要があります。接地線が建物の伸縮継手を横切る場合は、補償措置を講じる必要があります。

クリーンルーム内で使用される100A未満の配電設備と機器との設置距離は0.6m以上、100Aを超える場合は1m以上とする必要があります。クリーンルームの配電盤、制御表示パネル、およびスイッチボックスは埋め込み式で設置する必要があります。これらの設備と壁との間の隙間はガス構造とし、建物の内装と調和させる必要があります。配電盤および制御盤のアクセスドアはクリーンルーム内では開けてはいけません。クリーンルーム内に設置する必要がある場合は、パネルおよびキャビネットに気密ドアを設置する必要があります。制御盤の内外面は滑らかで、埃がなく、清掃しやすい状態にする必要があります。ドアがある場合は、ドアをしっかりと閉める必要があります。

クリーンルーム用照明器具は天井に取り付ける必要があります。天井に取り付ける際は、天井を貫通するすべての穴をシーラントで密閉し、穴の構造はシーラントの収縮の影響を克服できるものでなければなりません。埋め込み式で取り付ける場合は、照明器具を密閉し、非クリーン環境から隔離する必要があります。一方向流静圧プレナムの底部を貫通するボルトやネジがあってはなりません。

クリーンルームに設置される火災検知器、空調の温度・湿度感知部品、その他の電気機器は、浄化空調システムの稼働開始前に、清潔で埃のない状態にしておく必要があります。これらの部品は、頻繁な水洗浄や消毒が必要な環境で使用されるため、防水・防食対策を施す必要があります。