高清浄度チップクリーンルームの全体的な特徴

1. 設計特性

チップ製品の機能性、小型化、集積化、高精度化といった要求水準のため、チップ製造・生産におけるクリーンルームの設計要件は、一般的な工場とは大きく異なる。

（１）清浄度要件：チップ製造環境では、空気中の粒子数に関して高い管理要件があります。

（２）気密性の要件：構造上の隙間を減らし、隙間構造の気密性を強化して、空気漏れや汚染の影響を最小限に抑える。

（３）工場システムの要件：特殊ガス、化学薬品、純粋な廃水などのプロセス機械のニーズを満たす特殊な電力および電気機械システム。

（４）微小振動対策要件：チップ加工には高精度が求められ、振動が装置に与える影響を低減する必要がある。

（５）スペース要件：工場のフロアプランはシンプルで、明確な機能区分、隠された配管、合理的なスペース配分により、生産プロセスや設備の更新時に柔軟性があります。

2. 建設に焦点を当てる

（１）建設期間の短縮。ムーアの法則によれば、チップの集積密度は平均して18～24ヶ月ごとに倍増します。電子製品のアップデートと反復に伴い、生産工場の需要も更新されます。電子製品の急速なアップデートにより、電子クリーン工場の実際の耐用年数はわずか10～15年です。

（２）資源組織化の要求水準が高い。電子クリーンルームは一般的に、建設規模が大きく、工期が短く、工程が密集しており、資源の循環が難しく、主要資材の消費が集中している。このような資源組織化の厳格さは、全体計画管理へのプレッシャーが高く、資源組織化の要求水準が高いことにつながる。基礎工事および主要工事段階では、主に労働力、鉄筋、コンクリート、フレーム材料、昇降機械などに反映される。電気機械、装飾、設備設置段階では、主に現場要件、各種配管、建設機械用補助材料、特殊設備などに反映される。

（３）高い施工品質要件は、主に平坦性、気密性、低粉塵施工の３つの側面に反映されます。精密機器を環境損傷、外部振動、環境共振から保護することに加えて、機器自体の安定性も同様に重要です。したがって、床の平坦性要件は２mm/２mです。気密性を確保することは、異なるクリーンエリア間の圧力差を維持し、汚染源を制御する上で重要な役割を果たします。空気ろ過および空調機器を設置する前にクリーンルームの清掃を厳密に管理し、設置後の施工準備中および施工中に粉塵が発生しやすい箇所を管理します。

（４）下請け管理と調整に対する高い要求。電子クリーンルームの建設プロセスは複雑で高度に専門化されており、多くの専門下請け業者が関与し、異なる分野間の連携が広範囲に及ぶ。そのため、各分野のプロセスと作業面を調整し、連携を減らし、分野間のインターフェース引き継ぎの実際のニーズを把握し、総合請負業者の調整と管理を適切に行う必要がある。