クリーンルームにおける主な汚染源とその対策

1. 外部汚染源

外部汚染物質は、クリーンルーム環境に対する主要な脅威の一つである。

空気中の微粒子と微生物

大気中には、塵、花粉、細菌、ウイルスなどの浮遊粒子が含まれています。これらの汚染物質は、換気システム、ドアの隙間、または資材の移送プロセスを通じてクリーンルーム内に侵入する可能性があります。

地理的および環境的要因

屋外の汚染レベルは場所によって異なります。一般的に、工業都市は農村部や非工業地域に比べて粒子濃度が高く、それがクリーンルームの空気質に直接影響を与えます。

✓解決策：外部からの汚染を防ぐためには、高効率ろ過システム（HEPA/ULPA）と適切に設計された空調システムが不可欠です。

 

2. 内部汚染源

クリーンルームの汚染において、内部発生源はしばしば最も大きな要因となる。

人員汚染

クリーンルーム内における最大の汚染源は人間である。作業員は、皮膚の剥がれ落ちた皮片、繊維、ほこり、化粧品の残留物などの微粒子を発生させる。また、二酸化炭素やアンモニアなどのガスも排出する。

研究によると、移動中の粒子発生量は静止時の3～7倍高いことが示されています。適切なクリーンルーム用衣類を着用することで、この汚染を大幅に軽減できます。

✓解決策：認定されたクリーンルーム用衣類を使用し、厳格な着衣手順を実施し、不要な動きを最小限に抑えてください。

装置およびプロセスから発生する粒子

機械装置、特にモーターやギアなどの可動部品は、摩擦によって粒子を発生させる可能性がある。製造工程においても、粉塵、繊維、化学物質の残留物などが放出されることがある。

✓解決策：密閉型システムを使用し、局所排気換気を行い、低排出ガス機器を選定してください。

建築材料と表面材

壁、天井、床、露出した配管などは、適切に設計されていない場合、粒子、細菌、カビ、さらにはホルムアルデヒドなどの有害ガスを放出する可能性がある。

✓解決策：クリーンルームの設計においては、毛羽立ちがなく清掃しやすい素材を使用し、気密性の高い構造を確保すること。

 

3．交差汚染およびシステム関連の発生源

隣接地域の汚染

汚染物質は、清浄度の低い近隣エリアから侵入する可能性があります。適切な移送手順が守られていない場合、作業員や資材が粒子をクリーンルーム内に持ち込むことがよくあります。

✓解決策：エアロックやパスボックスを設置し、ゾーン間の圧力差を維持する。

HVACおよび空気ろ過システムの問題

HEPAフィルターやULPAフィルターは非常に効果的ですが、目詰まりや損傷により、時間の経過とともに性能が低下する可能性があります。

✓解決策：フィルターの定期的な点検、メンテナンス、および適時の交換は、クリーンルームの性能を維持するために不可欠です。

 

結論

クリーンルームの汚染源は、外部の空気、作業員、設備、建材、周辺環境など多岐にわたります。効果的な汚染管理には、適切な設計、高度なろ過システム、厳格な運用手順、定期的なメンテナンスを組み合わせた包括的なアプローチが必要です。

At SCTクリーンルーム当社は、あらゆる主要な汚染リスクに対応する高性能クリーンルームシステムの設計と提供を専門としており、お客様が一貫した清浄度、規制遵守、および運用効率を実現できるよう支援します。