クリーンルームとは、空気中の浮遊粒子濃度を制御した部屋です。その構造と使用方法によって、室内への粒子の侵入、発生、滞留を低減する必要があります。また、室内の温度、湿度、圧力などの関連パラメータも必要に応じて制御する必要があります。クリーンルームは、空気の単位体積あたりの特定の粒子サイズの粒子数によって区分されます。これは、空気中の浮遊粒子濃度に応じて区分されるものです。一般的に、値が小さいほど浄化レベルが高くなります。つまり、クラス10 > クラス100 > クラス10000 > クラス100000となります。
クラス100クリーンルームの基準は、主に手術室や製薬業界の無菌製造工程などを対象としています。
清浄度粒子径が0.1ミクロン以上の粒子の最大数は100個を超えてはならない。
圧力差、温度、湿度：温度22℃±2、湿度55%±5。基本的には、FFUで完全に覆い、床を高くする必要があります。MAU+FFU+DCシステムを構築します。また、正圧を維持し、隣接する部屋の圧力勾配が約10Paになるようにします。
照明 ダストフリークリーンルームでの作業内容のほとんどは細かい要件があり、またすべて密閉された空間であるため、照明に対する要求は常に高い。 ローカル照明: これは、指定された場所の照明を増やすために設置された照明を指します。ただし、ローカル照明は一般的に屋内照明では単独では使用されません。 混合照明: これは、1 つの照明とローカル照明を合成した作業面の照明を指し、その中で一般照明の照明は全体の照明の 10% ～ 15% を占める必要があります。
クラス1000クリーンルームの基準は、1立方メートルあたり0.5ミクロン以下の粒子径の粉塵粒子数を3,500個以下に制御することであり、これは国際的な無塵基準Aレベルに相当します。現在、チップレベルの製造および加工で使用されている無塵基準は、クラスAよりも高い粉塵要件を備えています。このような高い基準は、主に一部のハイレベルチップの製造に使用されています。粉塵粒子数は1立方メートルあたり1,000個以下に厳密に制御されており、これはクリーンルーム業界では一般的にクラス1000として知られています。
ほとんどのクリーンな無塵作業場では、外部からの汚染物質の侵入を防ぐために、内部圧力（静圧）を外部圧力（静圧）よりも高く維持する必要があります。圧力差の維持は、一般的に以下の原則に従う必要があります。クリーン空間の圧力は非クリーン空間の圧力よりも高く、清浄度の高い空間の圧力は隣接する清浄度の低い空間の圧力よりも高く、接続されたクリーンルーム間のドアは清浄度の高い部屋に開けておく必要があります。圧力差の維持は、この圧力差の下で隙間から漏れる空気量を補うことができる新鮮な空気の量に依存します。したがって、圧力差の物理的な意味は、クリーンルーム内のさまざまな隙間を通過する際の漏れ（または侵入）空気量の抵抗です。
クラス10000クリーンルームとは、0.5μm以上の粉塵粒子数が35,000個/m3（35個/m³）超35,000個/m3（350個/m³）以下、かつ5μm以上の粉塵粒子数が300個/m3（0.3個/m³）超3,000個/m3（3個/m³）以下であるクリーンルームを指します。圧力差、温度、湿度制御が行われます。
温度と湿度によるドライコイルシステムの制御。エアコンボックスは、感知した信号に基づいて三方弁の開度を制御することで、エアコンボックスコイルへの給水量を調整します。
クラス100000クリーンルームとは、作業場内の1立方メートルあたりの粒子数が100,000以下に制御されていることを意味します。クリーンルームの製造工場は主に電子産業や製薬産業で使用されています。食品産業にとっても、クラス100000の製造工場を持つことは非常に有益です。クラス100000クリーンルームでは、1時間あたり15～19回の換気が必要であり、完全換気後、空気浄化時間は40分を超えてはなりません。
清浄度レベルが同じクリーンルーム間の圧力差は一定に保つこと。隣接する清浄度レベルの異なるクリーンルーム間の圧力差は5Pa以下とし、クリーンルームと非クリーンルーム間の圧力差は10Pa以上とすること。
温度と湿度 クラス100,000のクリーンルームでは、温度と湿度に特別な要件がない場合は、不快感を感じない清潔な作業服を着用することをお勧めします。温度は一般的に冬期は20～22℃、夏期は24～26℃に制御され、±2℃の変動があります。クリーンルームの湿度は、冬期は30～50%、夏期は50～70%に制御されます。クリーンルーム（エリア）の主要生産室の照度は一般的に300Lx以上、補助スタジオ、人員浄化室、材料浄化室、空気室、廊下などの照度は200～300Lxである必要があります。
投稿日時：2025年4月14日