クリーンルームの清浄度分類の概要

クリーンルームとは、空気中の浮遊粒子濃度が制御された部屋です。その建設と使用においては、室内への粒子の侵入、発生、および滞留を低減する必要があります。室内の温度、湿度、圧力などのその他の関連パラメータは、必要に応じて制御する必要があります。クリーンルームは、単位体積あたりの一定粒子サイズの粒子数によって区分されます。これは、空気中の浮遊粒子濃度に応じて分類されます。一般的に、値が小さいほど、浄化レベルが高くなります。つまり、クラス10>クラス100>クラス10000>クラス100000となります。

クラス 100 クリーンルームの規格には、主に手術室、製薬業界の無菌製造などが含まれます。

清浄度粒子サイズが 0.1 ミクロン以上の粒子の最大数は 100 を超えることはできません。

圧力差と温湿度：温度22℃±2℃、湿度55%±5%。基本的には、FFUで完全に覆い、高床式にする必要があります。MAU+FFU+DCシステムを構築します。また、正圧を維持し、隣接する部屋との圧力勾配が約10Paであることを保証します。

照明 無塵クリーンルーム内の作業内容の多くは、高度な要求が求められ、かつ密閉空間であるため、照明に対する要求は常に高いものとなっています。局所照明：特定の場所の照度を高めるために設置される照明を指します。ただし、室内照明において局所照明は単独で使用されることは一般的ではありません。混合照明：作業面において、単独の照明と局所照明が合成された照明を指します。このうち、全体照明の照度は全体照明の10％～15％を占める必要があります。

クラス1000クリーンルームの基準は、粒子径0.5ミクロン/立方メートル未満のダスト粒子数を3,500個未満に制御することであり、これは国際的なダストフリー基準Aレベルに達します。現在、チップレベルの製造・加工で使用されているダストフリー基準は、クラスAよりも高いダスト要件を要求しています。このような高い基準は、主に一部の高レベルチップの製造に使用されています。ダスト粒子数は1,000個/立方メートル以内に厳密に制御されており、クリーンルーム業界では一般的にクラス1000と呼ばれています。

ほとんどのクリーンで無塵の作業場では、外部からの汚染物質の侵入を防ぐために、内部の圧力（静圧）を外部の圧力（静圧）より高く保つ必要があります。圧力差の維持は、一般的に以下の原則に従う必要があります。クリーン空間の圧力は非クリーン空間の圧力より高くする必要があります。清浄度の高い空間の圧力は、隣接する清浄度の低い空間の圧力より高くする必要があります。連結されたクリーンルーム間のドアは、清浄度の高い部屋に開けておく必要があります。圧力差の維持は、この圧力差による隙間から漏れる空気の量を補うことができる新鮮な空気の量に依存します。したがって、圧力差の物理的な意味は、クリーンルーム内のさまざまな隙間を通過するときに漏れる（または侵入する）空気量の抵抗です。

クラス10000クリーンルームとは、0.5μm以上のダスト粒子数が35,000個/m3（35個/個）以上35,000個/m3（350個/個）以下、かつ5μm以上のダスト粒子数が300個/m3（0.3個/個）以上3,000個/m3（3個/個）以下であることを意味します。圧力差と温湿度制御。

温度・湿度制御によるドライコイルシステム。エアコンボックスは、検知信号に基づいて三方弁の開度を制御することで、エアコンボックスコイルへの吸水量を調整します。

クラス100000クリーンルームとは、作業場内の粒子数が1立方メートルあたり10万個以下に制御されていることを意味します。クリーンルームの生産工場は、主に電子産業と製薬産業で使用されています。食品産業にとって、クラス100000の生産工場を持つことは非常に重要です。クラス10000クリーンルームでは、1時間あたり15～19回の換気が必要です。完全換気後の空気清浄時間は40分を超えてはなりません。

同じ清浄度レベルのクリーンルーム間の圧力差は一定に保たれなければならない。異なる清浄度レベルの隣接するクリーンルーム間の圧力差は5Pa以下とし、クリーンルームと非クリーンルーム間の圧力差は10Pa以上とする。

温度と湿度 クラス10万クリーンルームの温度と湿度に特別な要求がない場合は、不快感を感じることなく清潔な作業服を着用することをお勧めします。温度は、冬は一般的に20〜22℃、夏は24〜26℃に制御され、変動は±2℃です。冬のクリーンルームの湿度は30〜50％に制御され、夏のクリーンルームの湿度は50〜70％に制御されます。クリーンルーム（エリア）内の主要な生産室の照度は、一般的に300Lx以上である必要があります。補助スタジオ、人員浄化室、材料浄化室、エアチャンバー、廊下などの照度は200〜300Lである必要があります。