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クリーンルーム内で電気配管を敷設する方法は?

クリーンルーム
クリーンワークショップ

空気の流れの構成や各種配管の配置、浄化空調システムの給排気口、照明器具、警報検出器などの配置要件に応じて、クリーンルームは通常、上部技術中二階、下部技術中二階、技術中二階、または技術シャフトに設置されます。

技術用中二階

クリーンルーム内の電気配管は、技術中二階またはトンネル内に配置する必要があります。低煙、ハロゲンフリーのケーブルを使用する必要があります。配線管は不燃性材料で作る必要があります。クリーン生産エリア内の電気配管は隠蔽して敷設し、電気配管の開口部と壁に設置された各種電気機器との接合部には確実なシーリング対策を講じる必要があります。クリーンルーム内の上位電力分配方法:低電圧電力伝送および配電線は、一般的に2つの方法を採用しています。すなわち、ケーブルブリッジを配電ボックスに敷設し、配電ボックスから電気機器に接続する方法、または、閉じたバスダクト10個のプラグインボックス(使用しないときはジャックをブロック)からプラグインボックスを生産設備または生産ラインの電気制御ボックスに接続する方法です。後者の電力分配方法は、清浄度要件が低い電子機器、通信機器、電気機器、および完成機械工場でのみ使用されます。生産製品の変更、生産ラインの更新と変更、生産設備のシフト、追加、削除に対応できます。非常に便利です。作業場内の配電設備や配線を改造する必要はありません。バスバーのプラグインボックスを移動するか、予備のプラグインボックスを使用して電源ケーブルを引き出すだけで済みます。

中二階の配線

クリーンルームにおける技術用メザニン配線:クリーンルームの上に技術用メザニンがある場合、またはクリーンルームの上に吊り天井がある場合に使用します。吊り天井は、鉄筋コンクリートサンドイッチ構造や金属壁パネルなどの構造形式に分類できます。金属壁パネルと吊り天井は、クリーンルームで一般的に使用されています。

シーリング処理

クリーンルーム内の技術中二階の配線方法は、上述の配電方法と大きくは変わりませんが、天井を電線やケーブル管が通過する際には、天井内の塵や細菌がクリーンルーム内に侵入するのを防ぎ、クリーンルームの正圧(負圧)を維持するために、それらを密閉する必要があることを強調しておきます。技術中二階のみを有する非一方向流クリーンルームの上部中​​二階には、通常、空調換気ダクト、ガス動力ダクト、給水ダクト、電気通信用強弱電流配管、ブリッジ、バスバーなどが配置され、ダクトはしばしば交差しており、非常に複雑です。設計段階では総合的な計画が必要であり、「交通規則」が策定され、配管の総合的な断面図が必要となり、さまざまな配管を秩序正しく配置して、建設と保守を容易にする必要があります。通常、強電流ケーブルトレイは空調ダクトを避け、その他の配管は閉鎖型バスバーを避ける必要があります。クリーンルームの天井にある中二階が高い場合(例えば2メートル以上)、照明器具やメンテナンス用のコンセントを天井に設置する必要があり、また、火災報知器も規定に従って設置する必要があります。

上下の技術用中二階

クリーンルームの下部技術中二階の配線: 近年、大規模集積回路チップ製造およびLCDパネル製造用のクリーンルームでは、通常、多層レイアウトの多層クリーンルームが使用され、上部技術中二階はクリーン生産層の上部と下部に設置され、下部技術中二階の床の高さは4.0m以上です。

還気プレナム

下層技術メザニンは通常、浄化空調システムの還気プレナムとして使用されます。エンジニアリング設計の要件に応じて、電気配管、ケーブルトレイ、および密閉型バスバーを還気プレナム内に配置できます。低電圧配電方式は、還気プレナムがクリーンルームシステムの不可欠な部分である点を除けば、以前の方式と大きく変わりません。静的プレナム内に配置される配管、ケーブル、およびバスバーは、日常の清掃を容易にするために、設置および配置前に事前に清掃する必要があります。ローテクメザニン電気配線方式は、クリーンルーム内の電気機器に電力を供給します。伝送距離が短く、クリーンルーム内に露出した配管がほとんどまたはまったくないため、清浄度の向上に役立ちます。

トンネル型クリーンルーム

トンネル型クリーンルームを採用したクリーンワークショップ、または技術通路と技術シャフトを備えたクリーンワークショップでは、クリーンルームの下層中二階と、多層クリーンルームの上層階および下層階の電気配線が配置されます。トンネル型クリーンルームは、クリーン生産エリアと補助機器エリアが設けられており、真空ポンプ、制御ボックス(キャビネット)、公共電力配管、電気配管、ケーブルトレイ、密閉型バスバー、配電ボックス(キャビネット)などの補助機器のほとんどが補助機器エリアに配置されています。そのため、補助機器はクリーン生産エリアの電気機器に電力線や制御線をより容易に接続できます。

技術シャフト

クリーンルームに技術通路や技術シャフトが設置されている場合、電気配線は製造工程のレイアウトに従って対応する技術通路や技術シャフト内に配置できますが、設置およびメンテナンスに必要なスペースを確保するよう注意する必要があります。同じ技術トンネルまたはシャフト内に設置される他の配管およびその付属品のレイアウト、設置、メンテナンススペースも十分に考慮する必要があります。全体的な計画と包括的な調整が不可欠です。


投稿日時:2023年11月1日