hepaフィルター自体に小さな穴が開いていたり、取り付けが緩んでいて小さな亀裂が入っていたりするなど、hepaフィルターやその取り付けに不備があると、本来の浄化効果が得られません。したがって、hepaフィルターを取り付けまたは交換した後は、フィルターと取り付け接続部の漏れテストを行う必要があります。
1. 漏れ検出の目的と範囲:
検出目的: hepa フィルターの漏れをテストすることにより、hepa フィルターとその取り付けの欠陥を見つけ、是正措置を講じます。
検知範囲：クリーンエリア、層流作業台、設備のhepaフィルターなど。
2. 漏れ検出方法:
最も一般的に使用される方法は、漏れ検出のための DOP 法です (つまり、DOP 溶剤を粉塵源として使用し、エアロゾル光度計を使用して漏れを検出します)。粉塵粒子計数器スキャン方法は、漏れの検出にも使用できます (つまり、大気中の粉塵を粉塵源として使用し、粒子計数器と連携して漏れを検出します。漏れ)。
ただし、パーティクルカウンターの読み取り値は累積的な読み取り値であるため、スキャンには不向きで、検査速度が遅くなります。さらに、テスト対象の hepa フィルターの風上側では、大気中の粉塵濃度が低いことが多く、漏れを簡単に検出するには追加の煙が必要です。漏れの検出にはパーティクルカウンター方式が使用されます。DOP 法はこれらの欠陥を補うことができるため、現在、DOP 法は漏れ検出に広く使用されています。
3. DOP 法の漏れ検出の動作原理:
DOP エアロゾルは、テスト対象の高効率フィルターの風上側で粉塵源として放出されます (DOP はフタル酸ジオクチル、分子量は 390.57、噴霧後の粒子は球形です)。
風下側のサンプリングにはエアロゾル光度計が使用されます。収集された空気サンプルは光度計の拡散チャンバーを通過します。粉塵を含むガスが光度計を通過することによって発生する散乱光は、光電効果と線形増幅によって電気に変換され、微小電流計によって迅速に表示されるため、エアロゾルの相対濃度を測定できます。DOP テストで実際に測定されるのは、hepa フィルターの透過率です。
DOP発生器は煙を発生させる装置です。DOP溶剤を発生容器に注入後、一定の圧力または加熱条件下でエアロゾル煙を発生させ、高効率フィルターの風上側に送り込みます（DOP液が加熱されてDOP蒸気となり、その蒸気が特定の条件下で特定の凝縮液中で加熱して小さな液滴にし、大きすぎる液滴と小さすぎる液滴を除去して約0.3umの粒子だけを残し、霧状のDOPがエアダクトに入ります。
エアロゾル光度計（エアロゾル濃度を測定および表示する機器は、校正の有効期間を示す必要があり、校正に合格し、有効期間内である場合にのみ使用できます）。
4. 漏れ検出テストの作業手順:
(1)。漏れ検知の準備
漏洩検査に必要な設備と浄化空調設備の給気ダクトの配置図を検査対象エリアに準備し、漏洩当日現場に立ち会う浄化空調設備会社に連絡する。検出して、接着剤の塗布や hepa フィルターの交換などの操作を実行します。
(2)。漏れ検知動作
①エアロゾル発生器内のDOP溶剤の液面が低レベルより高いかどうかを確認し、不足している場合は追加する必要があります。
②窒素ボトルをエアロゾル発生器に接続し、エアロゾル発生器の温度スイッチをオンにし、赤色のライトが緑色に変わり、温度（約390～420℃）に達するまで待ちます。
③試験ホースの一端をエアロゾル光度計の上流濃度試験口に接続し、もう一端を試験するhepaフィルターの空気入口側（上流側）に置きます。光度計のスイッチをオンにして、テスト値を「100」に調整します。
④窒素スイッチをオンにし、圧力を0.05〜0.15Mpaに制御し、エアロゾル発生器のオイルバルブをゆっくりと開き、光度計の試験値を10〜20に制御し、試験値が安定した後、上流の測定濃度を入力します。後続のスキャンと検査操作を実行します。
⑤テストホースの一端をエアロゾル光度計の下流濃度テストポートに接続し、もう一端のサンプリングヘッドを使用してフィルターの空気出口側とブラケットをスキャンします。サンプリングヘッドとフィルター間の距離は約 3 ～ 5 cm で、フィルターの内枠に沿って前後にスキャンされ、検査速度は 5 cm/s 以下です。
試験範囲には、フィルタ材、フィルタ材とそのフレームの接続、フィルタフレームのガスケットとフィルタグループの支持フレームとの接続、支持フレームと壁または天井との接続が含まれます。フィルター媒体のフィルター、フレームシール、ガスケットシールの小さなピンホールやその他の損傷、フィルターフレームの漏れ。
クラス 10000 を超える清浄エリアにおける hepa フィルターの定期的な漏れ検出は、通常、年に 1 回 (無菌エリアでは半年に 1 回) です。クリーンエリアの日常監視において、粉塵粒子、沈降バクテリアの数、風速に重大な異常がある場合には、漏れ検出も実行する必要があります。
投稿時間: 2023 年 9 月 7 日