HEPAフィルター自体に小さな穴が開いている、あるいは緩い取り付けによる小さな亀裂など、HEPAフィルターやその取り付けに欠陥がある場合、意図した浄化効果が得られません。そのため、HEPAフィルターの取り付け後または交換後は、フィルターと取り付け接続部のリークテストを必ず実施してください。
1. 漏水検知の目的と範囲：
検出目的: HEPA フィルターの漏れをテストすることにより、HEPA フィルターとその取り付けの欠陥を見つけ出し、改善措置を講じます。
検出範囲: クリーンエリア、層流作業台、機器のHEPAフィルターなど。
2. 漏れ検出方法：
漏れ検出に最も一般的に使用される方法は、DOP法（DOP溶剤をダスト源として用い、エアロゾル光度計を用いて漏れを検出する方法）です。ダストパーティクルカウンタースキャン法も漏れ検出に使用できます（大気中のダストをダスト源として用い、パーティクルカウンターを用いて漏れを検出する方法）。
しかし、パーティクルカウンタの測定値は累積値であるため、スキャンに適しておらず、検査速度も遅い。さらに、検査対象のHEPAフィルタの風上側では、大気中の粉塵濃度が低い場合が多く、漏れを容易に検出するには補助的な煙が必要となる。漏れ検出にはパーティクルカウンタ法が用いられる。DOP法はこれらの欠点を補うことができるため、現在ではDOP法が漏れ検出に広く利用されている。
3. DOP法によるリーク検出の動作原理：
DOPエアロゾルは、試験対象の高効率フィルターの風上側から粉塵発生源として放出されます（DOPはジオクチルフタレート、分子量は390.57、噴霧後の粒子は球形です）。
風下側では、エアロゾル光度計を用いてサンプリングを行います。採取された空気サンプルは、光度計の拡散室を通過します。光度計を通過する粉塵含有ガスから発生する散乱光は、光電効果と線形増幅によって電気に変換され、マイクロアンペア計によって瞬時に表示されます。これにより、エアロゾルの相対濃度を測定できます。DOP試験で実際に測定されるのは、HEPAフィルターの透過率です。
DOP生成器は煙を発生させる装置です。DOP溶剤を生成器容器に注入後、一定の圧力または加熱条件下でエアロゾル煙を発生させ、高効率フィルターの風上側に送ります（DOP液は加熱されてDOP蒸気となり、この蒸気は一定の条件下で特定の凝縮液中で加熱され、微小な液滴となります。大きすぎる液滴と小さすぎる液滴が除去され、0.3μm程度の粒子のみが残り、霧状のDOPがエアダクトに入ります）。
エアロゾル光度計（エアロゾル濃度を測定し表示する機器には校正の有効期間が表示されており、校正に合格し有効期間内である場合にのみ使用できます。）
4. 漏れ検出テストの作業手順：
（1）漏水検知の準備
漏洩検査に必要な機材と検査対象エリアの浄化空調設備の給気ダクトの平面図を準備し、浄化空調設備業者に漏洩検査当日に現場に立ち会って接着剤の塗布やHEPAフィルターの交換などの作業を行うように連絡します。
（2）漏洩検知作業
①エアロゾル発生器内のDOP溶剤の液面が下限値より高いか確認し、不足している場合は補充してください。
②窒素ボトルをエアロゾル発生器に接続し、エアロゾル発生器の温度スイッチをオンにして、赤いライトが緑に変わるまで待ちます。これは温度に達したことを示します（約390〜420℃）。
③テストホースの一端をエアロゾル光度計の上流濃度テストポートに接続し、もう一端をテスト対象のHEPAフィルターの空気入口側（上流側）に置きます。光度計のスイッチを入れ、テスト値を「100」に調整します。
④窒素スイッチをオンにし、圧力を0.05～0.15MPaに制御し、エアロゾル発生器のオイルバルブをゆっくり開き、光度計の試験値を10～20に制御し、試験値が安定したら上流の測定濃度を入力します。その後のスキャンと検査操作を行います。
⑤テストホースの一端をエアロゾル光度計の下流濃度測定ポートに接続し、もう一端のサンプリングヘッドを用いて、フィルターの出口側とブラケットをスキャンします。サンプリングヘッドとフィルター間の距離は約3～5cmで、フィルターの内枠に沿って前後にスキャンし、検査速度は5cm/s以下です。
試験の範囲には、フィルター材料、フィルター材料とそのフレームとの接続、フィルターフレームのガスケットとフィルターグループのサポートフレームとの接続、サポートフレームと壁または天井との接続、フィルター内のフィルター媒体の小さなピンホールやその他の損傷、フレームシール、ガスケットシール、およびフィルターフレームの漏れのチェックが含まれます。
クラス 10000 以上のクリーン エリアにおける HEPA フィルターの定期的なリーク検出は、通常、年に 1 回 (無菌エリアでは半年に 1 回) 行われます。クリーン エリアの日常的な監視で、粉塵粒子の数、沈殿細菌、および気流速度に重大な異常がある場合は、リーク検出も実行する必要があります。
投稿日時: 2023年9月7日