HEPAフィルターやその取り付けに欠陥がある場合、例えばフィルター自体に小さな穴が開いていたり、取り付けが緩んで小さな亀裂が生じていたりすると、本来の浄化効果は得られません。したがって、HEPAフィルターの取り付けまたは交換後は、必ずフィルターと取り付け接続部の漏れ検査を実施してください。
1. 漏水検知の目的と範囲：
検出目的：HEPAフィルターの漏れを検査することにより、HEPAフィルターおよびその設置上の欠陥を発見し、是正措置を講じる。
検出範囲：クリーンエリア、層流作業台、機器上のHEPAフィルターなど。
2. 漏水検知方法：
最も一般的に使用されている漏洩検出方法は、DOP法（DOP溶剤を粉塵源として使用し、エアロゾル光度計で漏洩を検出する方法）です。粉塵粒子カウンター走査法も漏洩検出に使用できます（大気中の粉塵を粉塵源として使用し、粒子カウンターで漏洩を検出する方法）。
しかし、粒子カウンターの測定値は累積値であるため、スキャンには適しておらず、検査速度が遅い。さらに、試験対象のHEPAフィルターの風上側では、大気中の粉塵濃度が低いことが多く、漏れを容易に検出するためには補助的な発煙が必要となる。粒子カウンター法は漏れ検出に用いられるが、DOP法はこれらの欠点を補うことができるため、現在ではDOP法が漏れ検出に広く用いられている。
3. DOP法による漏水検知の動作原理：
DOPエアロゾルは、試験対象の高効率フィルターの風上側で粉塵源として放出される（DOPはジオクチルフタレートであり、分子量は390.57、噴霧後の粒子は球形である）。
エアロゾル光度計は、風下側でのサンプリングに使用されます。採取された空気サンプルは、光度計の拡散室を通過します。光度計を通過する粉塵を含むガスによって発生した散乱光は、光電効果と線形増幅によって電気に変換され、マイクロアンメーターによって迅速に表示されるため、エアロゾルの相対濃度を測定できます。DOPテストが実際に測定するのは、HEPAフィルターの透過率です。
DOP発生器は煙を発生させる装置です。DOP溶剤を発生器容器に注ぎ込むと、一定の圧力または加熱条件下でエアロゾル煙が発生し、高効率フィルターの風上側に送られます（DOP液体が加熱されてDOP蒸気が生成され、蒸気が特定の条件下で特定の凝縮液に加熱されて微細な液滴になり、大きすぎる液滴と小さすぎる液滴が除去され、約0.3μmの粒子のみが残り、霧状のDOPがエアダクトに入ります）。
エアロゾル光度計（エアロゾル濃度を測定および表示する機器は、校正の有効期間を示す必要があり、校正に合格し、有効期間内である場合にのみ使用できます）。
4．漏洩検知試験の実施手順：
（１）漏洩検知準備
漏洩検知に必要な機器と、検査対象区域の空気浄化・空調システムの給気ダクトの平面図を準備し、漏洩検知当日に現場に来て接着剤の塗布やHEPAフィルターの交換などの作業を行うよう、空気浄化・空調設備会社に通知する。
（２）漏洩検知作業
①エアロゾル発生器内のDOP溶剤の液面が最低レベルより高いかどうかを確認し、不足している場合は補充してください。
②窒素ボンベをエアロゾル発生器に接続し、エアロゾル発生器の温度スイッチをオンにして、赤色のランプが緑色に変わるまで待ちます。これは、温度が設定値（約390～420℃）に達したことを意味します。
③テストホースの一端をエアロゾル光度計の上流側濃度テストポートに接続し、もう一端をテスト対象のHEPAフィルターの吸気側（上流側）に置きます。光度計のスイッチをオンにし、テスト値を「100」に調整します。
④窒素スイッチをオンにし、圧力を0.05～0.15MPaに制御し、エアロゾル発生器のオイルバルブをゆっくりと開き、光度計の測定値を10～20に制御し、測定値が安定したら上流側の測定濃度を入力します。その後、スキャンおよび検査操作を実行します。
⑤テストホースの一端をエアロゾル光度計の下流側濃度測定ポートに接続し、もう一方の端にあるサンプリングヘッドを使用して、フィルターとブラケットの空気出口側をスキャンします。サンプリングヘッドとフィルター間の距離は約3～5cmで、フィルターの内枠に沿って前後にスキャンし、検査速度は5cm/秒以下とします。
試験範囲には、フィルター材、フィルター材とそのフレームの接続部、フィルターフレームのガスケットとフィルター群の支持フレームの接続部、支持フレームと壁または天井の接続部が含まれ、フィルター内のフィルター媒体の小さなピンホールやその他の損傷、フレームシール、ガスケットシール、およびフィルターフレームの漏れをチェックします。
クラス10000以上のクリーンエリアにおけるHEPAフィルターの定期的な漏洩検知は、一般的に年に1回（無菌エリアでは半年に1回）実施されます。クリーンエリアの日常的なモニタリングにおいて、粉塵粒子数、沈降細菌数、風速に著しい異常が認められた場合は、漏洩検知も実施する必要があります。
投稿日時：2023年9月7日