クリーンルームにおける差圧空気量を制御する方法は？

差圧による空気量制御は、クリーンルームの清浄度を確保し、汚染の拡散を防ぐために不可欠です。以下に、差圧による空気量制御の明確な手順と方法を示します。

1. 圧力差による空気量制御の基本的な目的

圧力差による空気量制御の主な目的は、クリーンルームと周囲空間との間に一定の静圧差を維持し、クリーンルームの清浄度を確保し、汚染物質の拡散を防ぐことである。

2. 圧力差による空気量制御戦略

（１）圧力差の必要条件を決定する

クリーンルームの設計仕様および製造工程要件に基づき、クリーンルームと周囲空間との圧力差が正か負かを決定する。異なるグレードのクリーンルーム間、およびクリーンエリアと非クリーンエリア間の圧力差は5Pa以上、クリーンエリアと屋外間の圧力差は10Pa以上でなければならない。

（２）差圧空気量を計算する

漏洩空気量は、室内の換気回数を推定する方法、または隙間法によって算出できます。隙間法はより合理的で正確であり、密閉構造の気密性と隙間面積を考慮に入れています。

計算式：LC = µP × AP × ΔP × ρ または LC = α × q × l、ここで、LC はクリーンルームの圧力差値を維持するために必要な圧力差空気量、µP は流量係数、AP はギャップ面積、ΔP は静圧差、ρ は空気密度、α は安全率、q はギャップの単位長さあたりの漏洩空気量、l はギャップの長さです。

採用された制御方法：

① 定風量制御方式（CAV）：まず、空調システムの基準運転周波数を決定し、供給風量が設計風量と一致するようにします。次に、外気比率を決定し、設計値に調整します。最後に、クリーン廊下の還気ダンパー角度を調整し、廊下の圧力差が適切な範囲内になるようにします。この圧力差は、他の部屋の圧力差調整の基準値として使用されます。

② 可変風量制御方式（VAV）：電動エアダンパーを介して給気量または排気量を連続的に調整し、所望の圧力を維持します。純粋差圧制御方式（OP）は、差圧センサを使用して室内と基準エリア間の圧力差を測定し、設定値と比較して、PID調整アルゴリズムによって給気量または排気量を制御し、制御します。

システムの試運転と保守：

システムの設置後、差圧風量が設計要件を満たしていることを確認するため、空気バランス調整を実施します。システムの安定した性能を確保するため、フィルター、ファン、エアダンパーなどを含むシステムを定期的に点検・保守します。

3. まとめ

差圧式空気量制御は、クリーンルームの設計と管理において重要な要素です。圧力差要求量の決定、圧力差式空気量の計算、適切な制御方法の採用、システムの試運転と保守を行うことで、クリーンルームの清浄度と安全性を確保し、汚染物質の拡散を防止することができます。