クリーンルーム内の差圧空気量を制御するにはどうすればいいですか?

クリーンルームの清浄度を確保し、汚染の拡散を防ぐためには、差圧による空気量制御が不可欠です。以下は、差圧に応じて空気量を制御するための明確な手順と方法です。

1. 圧力差風量制御の基本的な目的

差圧風量制御の主な目的は、クリーンルームと周囲の空間との間に一定の静圧差を維持し、クリーンルームの清浄度を確保し、汚染物質の拡散を防ぐことです。

2. 圧力差空気量制御戦略

（1）圧力差の要件を決定する

クリーンルームの設計仕様および製造工程の要件に基づき、クリーンルームと周囲空間との圧力差を正圧と負圧のどちらにするかを決定します。異なるグレードのクリーンルーム間およびクリーンエリアと非クリーンエリア間の圧力差は5Pa以上、クリーンエリアと屋外間の圧力差は10Pa以上である必要があります。

（2）差圧空気量を計算する

漏洩空気量は、室内の換気回数を推定する方法と、隙間法によって算出できます。隙間法は、筐体構造の気密性と隙間面積を考慮できるため、より合理的かつ正確です。

計算式：LC = µP × AP × ΔP × ρ または LC = α × q × l、ここで、LC はクリーンルームの圧力差値を維持するために必要な圧力差空気量、µP は流量係数、AP はギャップ面積、ΔP は静圧差、ρ は空気の密度、α は安全係数、q はギャップの単位長さあたりの漏れ空気量、l はギャップ長さです。

採用された制御方法:

① 定風量制御方式（CAV）：まず空調システムの基準運転周波数を決定し、給気風量が設計風量と一致するようにします。次に、外気導入比を決定し、設計値に調整します。清浄廊下の還気ダンパー角度を調整し、廊下の圧力差が適切な範囲内にあることを確認します。この圧力差は、他の部屋の圧力差調整の基準となります。

② 可変風量制御方式（VAV）：電動エアダンパーを介して給気量または排気量を連続的に調整し、所定の圧力を維持します。純差圧制御方式（OP）は、差圧センサーを用いて室内と基準エリアの圧力差を測定し、設定値と比較し、PID調整アルゴリズムを介して給気量または排気量を制御します。

システムの試運転と保守:

システム設置後、差圧空気量が設計要件を満たしていることを確認するために、エアバランス試運転を実施します。フィルター、ファン、エアダンパーなどを含むシステムの定期的な点検とメンテナンスを実施し、安定したシステム性能を確保します。

3. まとめ

差圧風量制御は、クリーンルームの設計と管理における重要なポイントです。差圧需要を決定し、差圧風量を計算し、適切な制御方法を採用し、システムの試運転とメンテナンスを実施することで、クリーンルームの清浄度と安全性を確保し、汚染物質の拡散を防ぐことができます。