人体自体が導体です。作業員が衣服、靴、帽子などを着用して歩くと、摩擦によって静電気が発生し、時には数百ボルト、場合によっては数千ボルトにも達することがあります。エネルギー量は小さいものの、人体は帯電を起こし、非常に危険な静電気源となってしまうのです。
作業員のクリーンルーム用つなぎ服、クリーンルーム用ジャンプスーツなど（作業服、靴、帽子などを含む）への静電気の蓄積を防ぐため、作業服、靴、帽子、靴下、マスク、リストストラップ、手袋、指カバー、靴カバーなど、帯電防止生地で作られた各種人体帯電防止素材を使用する必要があります。帯電防止作業区域のレベルや作業場の要件に応じて、異なる人体帯電防止素材を使用する必要があります。
① 作業員用のESDクリーンルーム用衣類は、無塵洗浄処理を施し、クリーンルーム内で使用されるものです。帯電防止性と洗浄性能を備えている必要があります。ESD衣類は帯電防止生地で作られ、衣類への静電気の蓄積を防ぐために必要なスタイルと構造に従って縫製されています。ESD衣類は、分割型と一体型に分けられます。クリーンルーム用ユニフォームは帯電防止性能を備え、埃が付きにくい長繊維生地で作られている必要があります。帯電防止クリーンルーム用ユニフォームの生地は、一定の通気性と吸湿性を備えている必要があります。
②クリーンルームや帯電防止作業エリアの作業者は、安全作業要件に従って、リストストラップ、フットストラップ、靴などの帯電防止個人用保護具を着用する必要があります。リストストラップは、接地ストラップ、ワイヤー、接点（バックル）で構成されています。ストラップを外し、手首に直接皮膚に接触するように装着します。リストストラップは手首に快適に接触する必要があります。その機能は、作業者によって発生した静電気を迅速かつ安全に分散して接地し、作業面と同じ静電ポテンシャルを維持することです。リストストラップには、安全保護のために便利なリリースポイントがあり、着用者が作業場を離れるときに簡単に外せるようにする必要があります。接地ポイント（バックル）は、作業台または作業面に接続します。リストストラップは定期的にテストする必要があります。フットストラップ（レッグストラップ）は、人体に運ばれた静電気を静電気散逸性接地に放出する接地装置です。フットストラップが皮膚に接触する方法はリストストラップと同様ですが、フットストラップは手足の下部または足首に使用されます。フットストラップの接地点は、着用者のフットプロテクターの底部にあります。常に接地を確保するため、両足にフットストラップを装着する必要があります。制御区域に入る際は、通常、フットストラップを確認する必要があります。靴ひも（かかとまたはつま先）は、着用者に接続する部分が靴に挿入されるストラップまたはその他のアイテムである点を除いて、フットレースに似ています。靴ひもの接地点は、靴ひもと同様に、靴のかかとまたはつま先部分の底部にあります。
③静電気散逸性帯電防止手袋および指先は、乾式および湿式プロセスの両方において、製品およびプロセスを静電気や作業者による汚染から保護するために使用されます。手袋や指先を着用した作業者は、時折接地されない場合があるため、帯電防止手袋の電気蓄積特性および再接地時の放電率を確認する必要があります。例えば、接地経路がESDに敏感なデバイスを通過する可能性があるため、敏感なデバイスに接触する際には、導電性材料ではなく、静電気をゆっくりと放出する静電気散逸性材料を使用する必要があります。
投稿日時：2023年5月30日