1. クリーンルーム内では、製品の製造工程要件および化学物質の物理的・化学的特性に基づいて、異なる種類の化学物質保管室および分配室を設置する必要があります。必要な化学物質は、生産設備に配管を通して供給する必要があります。クリーンルーム内の化学物質保管室および分配室は、通常、補助生産エリア、通常は平屋建てまたは複数階建ての建物の1階、外壁付近に設置されます。化学物質は、その物理的・化学的特性に応じて別々に保管する必要があります。相性の悪い化学物質は、固体隔壁で仕切られた別々の化学物質保管室および分配室に保管する必要があります。危険化学物質は、隣接する部屋間の耐火性能が少なくとも2.0時間である別々の保管室または分配室に保管する必要があります。これらの部屋は、生産建物の1階、外壁付近に設置する必要があります。
2. 電子機器業界のクリーンルームには、酸やアルカリ、可燃性溶剤の保管室と配送室が設けられることがよくあります。酸の保管室と配送室には、通常、硫酸、リン酸、フッ化水素酸、塩酸の保管システムと配送システムが設置されます。アルカリの保管室と配送室には、通常、水酸化ナトリウム、水酸化ナトリウムケーキ、水酸化アンモニウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドの保管システムと配送システムが設置されます。可燃性溶剤の保管室と配送室には、通常、イソプロピルアルコール（IPA）などの有機溶剤の保管システムと配送システムが設置されます。集積回路ウェハ製造工場のクリーンルームには、研磨スラリーの保管室と配送室もあります。化学薬品の保管室と配送室は、通常、クリーン生産エリアの近くまたは隣接する補助生産エリアまたはサポートエリアに設置され、通常は屋外に直接アクセスできる1階にあります。
3. 化学薬品の保管および配送室には、製品製造に必要な化学薬品の種類、量、および使用特性に基づいて、容量の異なる保管用ドラム缶またはタンクが設置されます。規格および規制に従い、化学薬品は個別に保管し、分類する必要があります。使用するドラム缶またはタンクの容量は、化学薬品の7日間の消費量に十分である必要があります。また、製品製造に必要な化学薬品の24時間分の消費量をカバーするのに十分な容量の、日用ドラム缶またはタンクも用意する必要があります。可燃性溶剤および酸化性化学薬品の保管および配送室は、独立した部屋とし、耐火等級3.0時間の耐火壁で隣接する部屋から分離する必要があります。複数階建ての建物の1階にある場合は、少なくとも耐火等級1.5時間の不燃床で他のエリアから分離する必要があります。クリーンルーム内の化学薬品の安全および監視システムの中央制御室は、別の部屋に設置する必要があります。
4. クリーンルーム内の薬品保管・配膳室の高さは、設備および配管配置の要件に基づいて決定し、原則として4.5メートル以上とする。クリーンルームの補助生産エリア内に設置する場合は、薬品保管・配膳室の高さは建物の高さと一致させる必要がある。
投稿日時：2025年8月1日