1. クリーンルーム内には、製品の製造プロセスの要件と化学物質の物理的・化学的特性に基づいて、異なるタイプの化学物質保管室と分配室を設置する必要があります。パイプラインを使用して、必要な化学物質を製造装置に供給する必要があります。クリーンルーム内の化学物質保管室と分配室は、通常、補助製造エリアにあり、通常は平屋または複数階建ての建物の1階、外壁近くにあります。化学物質は、その物理的・化学的特性に応じて別々に保管する必要があります。互換性のない化学物質は、固体の仕切りで区切られた別の化学物質保管室と分配室に配置する必要があります。危険な化学物質は、隣接する部屋間で少なくとも2.0時間の耐火等級を持つ別の保管室または分配室に保管する必要があります。これらの部屋は、製造棟の1階、外壁近くの部屋に配置する必要があります。
2. エレクトロニクス産業のクリーンルームには、酸やアルカリのほか、可燃性溶剤の保管・分配室が備え付けられていることがよくあります。酸の保管・分配室には通常、硫酸、リン酸、フッ化水素酸、塩酸の保管・分配システムが設置されています。アルカリの保管・分配室には通常、水酸化ナトリウム、水酸化ケーキ、水酸化アンモニウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドの保管・分配システムが設置されています。可燃性溶剤の保管・分配室には通常、イソプロピルアルコール (IPA) などの有機溶剤の保管・分配システムが設置されています。集積回路ウェハ製造工場のクリーンルームにも、研磨スラリーの保管・分配室があります。化学物質の保管・分配室は通常、クリーン製造エリアの近くまたは隣接する補助製造エリアまたはサポートエリアに設置されており、通常は屋外に直接アクセスできる 1 階にあります。
3. 化学物質貯蔵・分配室には、製品生産に必要な化学物質の種類、量、使用特性に基づき、容量の異なる貯蔵バレルまたはタンクが備え付けられています。規格および規制に従い、化学物質は個別に保管・分類する必要があります。使用するバレルまたはタンクの容量は、化学物質の7日間の消費量に十分である必要があります。また、製品生産に必要な化学物質の24時間消費量をカバーするのに十分な容量を持つ、日用バレルまたはタンクも用意する必要があります。可燃性溶剤および酸化性化学物質の貯蔵・分配室は、耐火性能3.0時間の堅固な耐火壁で隣接する部屋から分離する必要があります。複数階建ての建物の1階にある場合は、耐火性能1.5時間以上の不燃性床で他のエリアから分離する必要があります。クリーンルーム内の化学物質安全監視システムの集中制御室は、別の部屋に設置する必要があります。
4. クリーンルーム内の薬品保管・分配室の高さは、機器および配管レイアウトの要件に基づいて決定する必要があり、通常は4.5メートル以上とする必要があります。クリーンルームの補助生産エリア内に設置する場合は、薬品保管・分配室の高さは建物の高さと一致させる必要があります。
投稿日時: 2025年8月1日