HEPAフィルター交換基準

1. クリーンルームでは、空調機の末端に設置された大容量HEPAフィルターでも、HEPAボックスに設置されたHEPAフィルターでも、正確な運転時間記録、清浄度、風量に基づいて交換する必要があります。通常使用であれば、HEPAフィルターの寿命は1年以上になり、前面保護が良好であれば、HEPAフィルターの寿命は2年以上になります。

2. 例えば、クリーンルーム機器やエアシャワーに設置されたHEPAフィルターの場合、フロントエンドの一次フィルターが適切に保護されていれば、クリーンベンチ上のHEPAフィルターのように、HEPAフィルターの寿命は2年以上になることもあります。クリーンベンチ上のHEPAフィルターは、圧力差計の指示に従って交換できます。クリーンブース上のHEPAフィルターは、HEPAフィルターの風速を検出することで、最適な交換時期を判断できます。ファンフィルターユニット上のHEPAフィルターの交換は、PLC制御システムの指示または圧力差計の指示に基づいて行います。

3. 空調ユニットにおいて、圧力差計がエアフィルターの抵抗が初期抵抗の2～3倍に達したことを示した場合、メンテナンスを中止するか、エアフィルターを交換する必要があります。