HEPAフィルター交換基準

1. クリーンルームでは、エアハンドリングユニットの端に設置された大風量HEPAフィルターでも、HEPAボックスに設置されたHEPAフィルターでも、正確な動作時間の記録、清浄度、および風量を交換の基準とする必要があります。通常の使用では、HEPAフィルターの耐用年数は1年以上になる可能性があり、前端の保護が良好であれば、HEPAフィルターの耐用年数は2年以上になる可能性もあります。

2. 例えば、クリーンルーム機器やエアシャワーに設置されているHEPAフィルターの場合、前端の一次フィルターが適切に保護されていれば、クリーンベンチのHEPAフィルターと同様に、HEPAフィルターの耐用年数は2年以上に及ぶことがあります。クリーンベンチのHEPAフィルターは、差圧計の指示に従ってHEPAフィルターの交換時期を判断できます。クリーンブースのHEPAフィルターは、HEPAフィルターの風速を検知することで、最適な交換時期を判断できます。ファンフィルターユニットのHEPAフィルターの交換時期は、PLC制御システムの指示または差圧計の指示に基づいて決定されます。

3. エアハンドリングユニットでは、差圧計でエアフィルターの抵抗が初期抵抗の 2 ～ 3 倍に達したことが示された場合は、メンテナンスを中止するか、エアフィルターを交換する必要があります。