HEPAフィルター漏れ試験の原理と方法

HEPAフィルター自体のろ過効率は通常、製造元によってテストされ、工場出荷時にはフィルターろ過効率レポートシートと適合証明書が添付されます。企業にとって、HEPAフィルターのリークテストとは、HEPAフィルターとそのシステムを設置した後の現場でのリークテストを指します。これは主に、フレームシール、ガスケットシール、構造上のフィルターの漏れなど、フィルター材料の小さなピンホールやその他の損傷をチェックします。

リークテストの目的は、HEPAフィルターの密閉性や設置フレームとの接続状態を確認することで、HEPAフィルター自体およびその設置における欠陥を迅速に発見し、適切な是正措置を講じてクリーンルームの清浄度を確保することです。

HEPAフィルターの漏れ検査の目的

1. HEPAフィルターの素材に損傷がないこと。

2. 適切な設置。

HEPAフィルターの漏れ検査の方法

HEPAフィルターのリークテストは、基本的にHEPAフィルターの上流側にチャレンジ粒子を配置し、HEPAフィルターの表面とフレームに粒子カウンターを設置してリーク箇所を検出するという手順で行われます。リークテストには、状況に応じて様々な方法があります。

試験方法

1. エアロゾル光度計による試験方法

2. 粒子カウンター試験方法

3. 完全な効率性試験方法

4. 外部空気試験方法

試験機器

使用する計測機器は、エアロゾル光度計と粒子発生器です。エアロゾル光度計にはアナログ表示とデジタル表示の2種類があり、いずれも年に一度校正が必要です。粒子発生器には2種類あり、1つは高圧空気のみを必要とする一般的な粒子発生器、もう1つは高圧空気と電力を必要とする加熱式粒子発生器です。加熱式粒子発生器は校正不要です。

予防

1. 導通抵抗値が0.01%を超える場合は、漏れがあるとみなされます。各HEPAフィルターは、テストおよび交換後に漏れがあってはならず、フレームも漏れがあってはなりません。

2. 各HEPAフィルターの修理面積は、HEPAフィルターの面積の3%を超えてはならない。

3. 修理の長さは38mmを超えてはならない。