HEPAフィルターのリークテストの原理と方法

hepaフィルター自体の濾過効率は通常メーカーによって検査されており、工場出荷時にフィルター濾過効率報告書と適合証明書が添付されます。企業にとって、hepa フィルターのリークテストとは、hepa フィルターとそのシステムの設置後のオンサイトのリークテストを指します。主に、フレームシール、ガスケットシール、フィルター構造の漏れなど、フィルター素材の小さなピンホールやその他の損傷をチェックします。

リークテストの目的は、hepa フィルターの密閉性と取り付けフレームとの接続を確認することで、hepa フィルター自体とその取り付けの欠陥を迅速に発見し、対応する是正措置を講じてクリーン ルームの清浄度を確保することです。

hepaフィルターのリークテストの目的

1. hepa フィルターの素材は損傷していません。

2. 適切な取り付け。

hepaフィルターのリークテストを行う方法

HEPA フィルターのリークテストでは、基本的に、hepa フィルターの上流にチャレンジ粒子を配置し、hepa フィルターの表面とフレームにパーティクルカウンターを使用してリークを検索します。リークテストには、さまざまな状況に適したいくつかの異なる方法があります。

試験方法

1. エアロゾル光度計の試験方法

2. パーティクルカウンターの試験方法

3. 全効率試験方法

4. 外気試験方法

試験装置

使用される機器はエアロゾル光度計と粒子発生器です。エアロゾル光度計にはアナログとデジタルの 2 つの表示バージョンがあり、年に 1 回校正する必要があります。粒子発生器には、高圧エアのみを必要とする通常の粒子発生器と、高圧エアと電力を必要とする加熱粒子発生器の2種類があります。粒子発生器はキャリブレーションを必要としません。

予防

1. 0.01% を超える導通測定値は漏れとみなされます。各 hepa フィルターはテストと交換後に漏れてはならず、フレームからも漏れがあってはなりません。

2. 各 hepa フィルターの修復面積は、hepa フィルターの面積の 3% を超えてはなりません。

3. 修理の長さは 38mm を超えてはなりません。