HEPAフィルターリークテストの原理と方法

HEPAフィルター自体の濾過効率は通常、製造元によってテストされており、工場出荷時にフィルター濾過効率レポートシートと適合証明書が添付されています。企業にとって、HEPAフィルターのリークテストとは、HEPAフィルターとそのシステムを設置した後、現場で実施するリークテストを指します。主に、フレームシール、ガスケットシール、構造上のフィルターリークなど、フィルター材料の小さなピンホールやその他の損傷を検査します。

リークテストの目的は、HEPAフィルターの密閉性と設置フレームとの接続をチェックすることで、HEPAフィルター自体とその設置の欠陥を迅速に発見し、クリーンルームの清浄度を確保するために適切な是正措置を講じることです。

HEPAフィルターリークテストの目的

1. HEPAフィルターの材質が損傷していないこと。

2. 適切な取り付け。

HEPAフィルターのリークテストの実施方法

HEPAフィルターのリークテストは、基本的にHEPAフィルターの上流にチャレンジ粒子を配置し、パーティクルカウンターを用いてHEPAフィルターの表面とフレームにリークがないか調べるというものです。リークテストにはいくつかの方法があり、状況に応じて適切な方法を選択できます。

試験方法

1. エアロゾル光度計による試験方法

2. 粒子カウンター試験方法

3. 完全効率試験法

4. 外気試験法

試験機器

使用される機器は、エアロゾル光度計と粒子発生器です。エアロゾル光度計にはアナログ表示とデジタル表示の2種類の表示方式があり、それぞれ年に1回の校正が必要です。粒子発生器には2種類あり、1つは高圧空気のみを必要とする通常の粒子発生器、もう1つは高圧空気と電力を必要とする加熱式粒子発生器です。粒子発生器は校正不要です。

予防

1. 導通検査で0.01%を超える数値は漏れとみなされます。各HEPAフィルターは、試験および交換後も漏れがなく、フレームも漏れがないことが必要です。

2. 各HEPAフィルタの修理面積は、HEPAフィルタの面積の3%を超えてはならない。

3. 修理の長さは38mmを超えないこと。