クリーンルームとは、室内の空気中の微粒子を制御するために建設された特殊な密閉構造の建物です。一般的に、クリーンルームは温度や湿度、気流パターン、振動や騒音といった環境要因も制御します。では、クリーンルームは具体的にどのような要素で構成されているのでしょうか？ここでは、その5つの構成要素を整理してご紹介します。
1. 区画
クリーンルーム区画は、更衣室、クラス1000クリーンエリア、クラス100クリーンエリアの3つの部分に分かれています。更衣室とクラス1000クリーンエリアにはエアシャワーが設置されています。クリーンルームと屋外エリアにもエアシャワーが設置されています。パスボックスは、物品がクリーンルームに出入りする際に使用されます。人がクリーンルームに入るときは、まずエアシャワーを通過して人体に付着した塵埃を吹き飛ばし、人がクリーンルームに持ち込む塵埃を減らします。パスボックスは物品から塵埃を吹き飛ばし、除塵効果を実現します。
2. 空気システムのフローチャート
このシステムは、新しいエアコン＋FFUシステムを採用しています。
（１）外気導入ボックスの構造
（２）FFUファンフィルターユニット
クラス1000のクリーンルームのフィルターはHEPAフィルターを使用しており、ろ過効率は99.997%です。クラス100のクリーンルームのフィルターはULPAフィルターを使用しており、ろ過効率は99.9995%です。
3. 給水システムのフローチャート
給水システムは一次側と二次側に分けられる。
一次側の水温は7～12℃で、エアコンボックスとファンコイルユニットに供給されます。二次側の水温は12～17℃で、ドライコイルシステムに供給されます。一次側と二次側の水は、プレート式熱交換器で接続された2つの異なる回路です。
プレート式熱交換器の原理
ドライコイル：非凝縮コイル。浄化作業場の温度は22℃、露点温度は約12℃であるため、7℃の水はクリーンルームに直接流入できません。したがって、ドライコイルに入る水の温度は12～14℃です。
4. 制御システム（DDC）温度：ドライコイルシステム制御
湿度：エアコンは、感知した信号に基づいて三方弁の開度を制御することにより、エアコンのコイルへの給水量を調整します。
正圧：エアコンの調整は、静圧検知信号に基づいて、エアコンモーターインバーターの周波数を自動的に調整し、それによってクリーンルームに入る新鮮な空気の量を調整します。
5. その他のシステム
クリーンルームシステムには、空調システムだけでなく、真空、空気圧、窒素、純水、廃水、二酸化炭素システム、プロセス排気システム、および試験基準も含まれます。
（１）気流速度と均一性の試験。この試験は、クリーンルームの他の試験効果の前提条件です。この試験の目的は、クリーンルーム内の単方向流作業エリアの平均気流と均一性を明らかにすることです。
（２）システムまたは室内の空気量検出
（３）室内清浄度の検出。清浄度の検出とは、クリーンルームで達成可能な空気清浄度レベルを決定することであり、粒子カウンターを使用して検出することができる。
（４）自己洗浄時間の検出。自己洗浄時間を測定することにより、クリーンルーム内で汚染が発生した場合にクリーンルームの元の清浄度を回復する能力を確認することができる。
（５）気流パターン検出
（６）ノイズ検出
（７）照明の検出。照明試験の目的は、クリーンルームの照明レベルと照明均一性を測定することです。
（８）振動検出。振動検出の目的は、クリーンルーム内の各ディスプレイの振動振幅を測定することです。
（９）温度と湿度の検出。温度と湿度の検出の目的は、温度と湿度を一定の範囲内に調整する能力を得ることである。その内容は、クリーンルームの供給空気温度の検出、代表的な測定点における空気温度の検出、クリーンルームの中心点における空気温度の検出、敏感な部品における空気温度の検出、室内空気の相対温度の検出、および還気温度の検出を含む。
（１０）総空気量と新鮮空気量の検出
投稿日時：2024年1月24日