クリーンルームシステムの5つの部分

クリーンルームは、空間内の空気中の粒子を制御するために構築された特殊な密閉された建物です。一般に、クリーン ルームでは、温度と湿度、気流の移動パターン、振動と騒音などの環境要因も制御されます。では、クリーンルームとは何で構成されているのでしょうか？次の 5 つの部分を整理するお手伝いをします。

1. コンパートメント

クリーンルーム区画は、更衣室、クラス1000クリーンエリア、クラス100クリーンエリアの3つに分かれています。更衣室、クラス1000のクリーンエリアにはエアシャワーを完備。クリーンルームと屋外にはエアシャワーを完備。パスボックスはクリーンルームへの出入りに使用します。人がクリーンルームに入ると、まずエアシャワーを通過して人体から運ばれた塵埃を吹き飛ばし、人がクリーンルーム内に持ち込む塵埃を減らす必要があります。パスボックスは商品の粉塵を吹き飛ばし、除塵効果を発揮します。

2. エアシステムフローチャート

システムは新型エアコン＋FFUシステムを採用。

(1)。フレッシュエアコンボックスの構造

(2).FFUファンフィルターユニット

クラス1000クリーンルームのフィルタはろ過効率99.997%のHEPAを使用し、クラス100クリーンルームのフィルタはろ過効率99.9995%のULPAを使用しています。

3. 水道システムのフローチャート

水系は一次側と二次側に分かれます。

一次側の水温は7～12℃で空調ボックスやファンコイルユニットに供給され、二次側の水温は12～17℃でドライコイルシステムに供給されます。一次側と二次側の水は 2 つの異なる回路であり、プレート熱交換器によって接続されています。

プレート熱交換器の原理

ドライコイル: 結露しないコイル。浄化作業場の温度は22℃、露点温度は約12℃なので、クリーンルーム内に7℃の水が直接入ることはありません。したがって、ドライコイルに入る水温は12～14℃となります。

4. 制御システム (DDC) 温度: ドライコイルシステム制御

湿度: エアコンは、感知した信号を通じて三方弁の開度を制御することにより、エアコンのコイルの取水量を調整します。

正圧：エアコン調整は、静圧感知の信号に従って、エアコンモーターのインバーターの周波数を自動的に調整し、それによってクリーンルームに入る新鮮な空気の量を調整します。

5. その他のシステム

クリーンルームシステムには空調システムだけでなく、真空、気圧、窒素、純水、廃水、二酸化炭素システム、プロセス排気システム、試験規格も含まれます。

(1)。気流速度と均一性のテスト。このテストは、クリーン ルームの他のテスト効果の前提条件です。この試験の目的は、クリーンルーム内の一方向流作業領域の平均空気流量と均一性を明らかにすることです。

(2)。システムまたは部屋の風量検出。

(3)。室内の清潔度を検知します。清浄度の検出は、クリーン ルーム内で達成できる空気清浄度のレベルを決定するもので、パーティクル カウンターを使用してそのレベルを検出できます。

(4)。セルフクリーニング時間の検出。セルフクリーニング時間を求めることで、クリーンルーム内に汚染が発生した場合に、クリーンルームを元の清浄度に戻す能力を確認できます。

(5)。エアフローパターン検出。

(6)。ノイズ検出。

(7).照明の検出。照明試験の目的は、クリーンルームの照明レベルと照明の均一性を判断することです。

(8).振動検知。振動検出の目的は、クリーン ルーム内の各ディスプレイの振動振幅を測定することです。

(9)。温度と湿度の検出。温度と湿度の検出の目的は、温度と湿度を一定の制限内に調整する機能です。内容としては、クリーンルームの供給空気温度の検出、代表測定点の空気温度の検出、クリーンルームの中心点の空気温度の検出、敏感な部品の空気温度の検出、室内空気の相対温度の検出、および戻り空気の温度。

(10)。総空気量と外気量の検出。