クリーンルームシステムの5つの部分

クリーンルームは、宇宙の空気中の粒子を制御するために建設された特別な閉鎖建物です。一般的に言えば、クリーンルームは、温度や湿度、気流の動きのパターン、振動と騒音などの環境要因も制御します。では、クリーンルームは何で構成されていますか？ 5つの部分を整理するのに役立ちます。

1。コンパートメント

クリーンルームのコンパートメントは、3つの部屋、チェンジルーム、クラス1000のクリーンエリア、クラス100のクリーンエリアに分かれています。チェンジルームとクラス1000のクリーンエリアには、エアシャワーが装備されています。クリーンルームと屋外エリアにはエアシャワーが装備されています。パスボックスは、クリーンルームの入りと出口に入るアイテムに使用されます。人々がクリーンルームに入るとき、彼らはまずエアシャワーを通り抜けて、人体によって運ばれたほこりを吹き飛ばし、人が掃除室に持ち込んだほこりを減らしなければなりません。パスボックスはアイテムからほこりを吹き飛ばし、ほこりの除去の効果を実現します。

2。エアシステムフローチャート

システムは、新しいエアコン + FFUシステムを使用します。

（1）。新鮮な空調ボックス構造

（2）.ffuファンフィルターユニット

クラス1000クリーンルームのフィルターは、ろ過効率が99.997％のHEPAを使用し、クラス100クリーンルームのフィルターはULPAを使用し、ろ過効率は99.9995％です。

3。水システムの流れチャート

水システムは、一次側と二次側に分割されます。

一次側の水温は7〜12℃で、エアコンボックスとファンコイルユニットに供給され、二次側の水温は12〜17℃で、乾燥コイルシステムに供給されます。一次側と二次側の水は、プレート熱交換器で接続された2つの異なる回路です。

プレート熱交換器の原理

ドライコイル：非凝縮コイル。浄化ワークショップの温度は22°であり、その露点温度は約12℃であるため、7℃はクリーンルームに直接入ることができません。したがって、乾燥コイルに入る水温は12〜14℃です。

4。制御システム（DDC）温度：ドライコイルシステム制御

湿度：エアコンジャー担当者は、感知された信号を介して3方向バルブの開口を制御することにより、エアコンのコイルの水インレットボリュームを調節します。

陽圧：エアコンの調整は、静的圧力センシングの信号に従って、エアコンモーターインバーターの頻度を自動的に調整し、それによってクリーンルームに入る新鮮な空気の量を調整します。

5。その他のシステム

エアコンシステムだけでなく、クリーンルームシステムには、真空、空気圧、窒素、純水、廃水、二酸化炭素システム、プロセス排気システム、およびテスト基準も含まれています。

（1）。空気流速度と均一性テスト。このテストは、クリーンルームの他のテスト効果の前提条件です。このテストの目的は、クリーンルームの単方向フロー作業エリアの平均空気流と均一性を明確にすることです。

（2）。システムまたは部屋の空気量の検出。

（3）。屋内の清潔さの検出。清潔さの検出は、クリーンルームで達成できる空気清浄度のレベルを決定することであり、パーティクルカウンターを使用してそれを検出できます。

（4）。セルフクリーニング時間の検出。セルフクリーニング時間を決定することにより、クリーンルーム内で汚染が発生したときにクリーンルームの元の清潔さを回復する能力を確認できます。

（5）。エアフローパターンの検出。

（6）。ノイズ検出。

（7）照明の検出。照明テストの目的は、クリーンルームの照明レベルと照明の均一性を決定することです。

（8）.Vibration検出。振動検出の目的は、クリーンルームの各ディスプレイの振動振幅を決定することです。

（9）。温度と湿度の検出。温度と湿度の検出の目的は、特定の制限内で温度と湿度を調整する能力です。その内容には、クリーンルームの供給気温の検出、代表的な測定点での気温の検出、クリーンルームの中心点での気温の検出、敏感な成分の気温の検出、屋内空気の相対温度の検出、検出が含まれます。戻り空気温度。

（10）。総空気量と新鮮な空気量の検出。