クリーンルーム内の防火設備

1. クリーンルームは、我が国のさまざまな地域で、エレクトロニクス、バイオ医薬品、航空宇宙、精密機械、ファインケミカル、食品加工、ヘルスケア製品および化粧品の製造、科学研究などのさまざまな産業でますます広く使用されています。クリーンな生産環境、クリーンな実験環境、そしてクリーンな使用環境を作り出すことの重要性は、ますます人々に認識されています。ほとんどのクリーン ルームには、さまざまな程度の、さまざまなプロセス媒体を使用する生産設備および科学研究実験設備が備えられています。それらの多くは貴重な機器や器具であり、建設コストが高価であるだけでなく、一部の可燃性、爆発性、危険なプロセス媒体が使用されることもよくあります。同時に、クリーンルームの人的および物質的な清浄度の要件に従って、クリーンルームの通路（エリア）は通常前後に移動するため、人員の避難がより困難になります。また、その気密性により、ひとたび火災が発生すると、 、外からは発見されにくく、消防士も近づいて侵入するのは困難です。したがって、クリーンルーム内の防火設備の設置は非常に重要であると一般に考えられており、クリーンルームの安全性を確保することができると言えます。最優先事項は、クリーンルーム内での重大な経済的損失や、火災の発生による人命への重大な損害を防止または回避するための安全対策を講じることです。クリーンルーム内には火災警報器や各種機器を設置することが常識となっており、必要不可欠な安全対策となっています。このため、現在、クリーンルームの新築・改修・増築には「自動火災警報器」が設置されています。「工場建屋設計仕様書」の義務規定：『火災警報器はクリーンルームの生産フロア、技術中二階、機械室、駅舎等に設置しなければなりません。

2. 手動式火災警報ボタンは、生産エリアおよび清潔な作業場の廊下に設置する必要があります。「クリーンルームには、消防当番室または制御室を備えるべきであり、クリーンエリア内に配置すべきではありません。消防当番室には、防火のための特別な電話交換機を備えるべきです。消防制御設備と回線接続は、クリーンルームは、制御装置の制御および表示機能が信頼できるものである必要があり、クリーンルーム（エリア）内の火災警報器は、現在の国家規格「自動火災警報器の設計仕様」の関連規定に準拠する必要があります。を検証し、次の火災連動制御を実行する必要があります。屋内消火ポンプを起動し、そのフィードバック信号を受信する必要があります。自動制御に加えて、手動の直接制御装置も消防制御室に設置する必要があります。該当部分の電動耐火扉を閉め、対応する空調循環ファン、排気ファン、外気ファンを停止し、それらのフィードバック信号を受信する必要があります。関連する部分は閉じておく必要があります。電気防火扉と防火シャッタードアは特定の場所に設置する必要があります。予備非常灯、避難標識灯は点灯制御すること。消防制御室又は低圧配電室では、当該部分の非火力電源を手動で遮断すること。火災緊急拡声器を始動し、手動または自動で放送する必要があります。エレベーターは 1 階まで降下するように制御され、そのフィードバック信号が受信される必要があります。

3. 製品の製造プロセスおよびクリーンルーム内のクリーンエリアの要件を考慮して、必要な清浄度レベルを維持する必要があります。したがって、クリーンルームでは、火災感知器の警報後、手動による検証と制御を実行する必要があることが強調されています。事実があったことが確認された場合。火災発生後は、法規に基づいて設置された連動制御装置が作動し、信号をフィードバックすることで大きな損失を回避します。クリーンルームでの生産要件は通常の工場とは異なります。清浄度要求が厳しいクリーンルーム（エリア）では、浄化空調システムを停止し、再度稼働させると清浄度が影響を受け、プロセスの生産要件を満たせなくなり、損失が発生します。

4. 清潔な作業場の特性に応じて、火災感知器を清潔な生産エリア、技術用中二階、機械室およびその他の部屋に設置する必要があります。国家規格「自動火災警報器の設計基準」の要求事項によれば、火災感知器を選定する際には、一般に次のような基準を設けなければなりません。少量の熱が発生し、火炎放射がほとんどまたはまったくない場合は、煙を感知する火災感知器を選択する必要があります。火災が急速に進行し、大量の熱、煙、火炎放射が発生する可能性がある場所では、温度感知式火災感知器、煙感知式火災感知器、炎感知器、またはそれらの組み合わせを選択できます。火災が急速に進行し、強い火炎放射があり、少量の煙と熱が発生する場所では、火炎検知器を使用する必要があります。現代の企業の生産プロセスや建材の多様化により、火災の発生傾向や室内の煙、熱、火炎放射などを正確に判断することが困難になっています。このとき、火災が発生する可能性のある保護場所の位置と燃焼物質を決定し、物質を分析し、模擬燃焼試験を実施し、試験結果に基づいて適切な火災灰検知器を選択する必要があります。通常、温度感知式火災感知器は煙感知式火災感知器よりも火災感知の感度が低くなります。熱に敏感な火災感知器はくすぶっている火災には反応せず、炎が一定のレベルに達した後でのみ反応します。したがって、温度感知式火災検知器は、小さな火災が許容できない損失を引き起こす可能性がある場所の保護には適していませんが、温度感知式火災検知器は、物体の温度が直接変化する場所での早期警報にはより適しています。火炎探知機は、炎からの放射がある限り反応します。火災が裸火を伴う場所では、煙や温度を感知する火災感知器よりも炎感知器の迅速な応答の方が優れています。そのため、裸火が燃えやすい場所、例えば可燃性ガスを使用する場所では火炎検知器が主に使用されます。

5. LCD デバイスのパネル製造やオプトエレクトロニクス製品の製造用のクリーン ルームでは、さまざまな可燃性、爆発性、有毒なプロセス媒体の使用が必要になることがよくあります。このため、「電子産業におけるクリーンルームの設計基準」には、火災警報器などの防火設備が盛り込まれています。電子産業のクリーンルームのほとんどはカテゴリー C の生産工場に属しており、「二次保護レベル」に分類される必要があります。しかし、チップ製造や液晶表示装置のパネル製造などの電子産業のクリーンルームでは、電子製品の複雑な製造工程により、製造工程によっては各種の可燃性化学溶剤や可燃性有毒ガス、特殊ガスの使用が必要となる場合があります。 。クリーンルームは密閉空間です。ひとたび洪水が発生すると、熱はどこにも漏れず、火災は急速に広がります。空気ダクトまたは空気ダクトを介して、花火は空気ダクトに沿って急速に広がり、火災は急速に広がります。生産設備は非常に高価であるため、クリーンルームの火災警報設備の設置を強化することが非常に重要です。そのため、防火地域の面積が規制を超える場合には、保護等級を1級に引き上げる必要があると定められています。