クリーンルームにおける防火および給水

防火設備はクリーンルームの重要な要素です。その重要性は、プロセス機器や建設プロジェクトが高額であることだけでなく、クリーンルームが比較的閉鎖的な建物であり、中には窓のない作業場もあるためです。クリーンルームの通路は狭く曲がりくねっているため、人員の避難や火災時の対応が困難です。人命と財産の安全を確保するため、「予防第一、予防と防火の連携」という防火方針を設計段階で実施する必要があります。クリーンルームの設計において効果的な防火対策を講じることに加えて、必要な消火設備も設置する必要があります。クリーンルームの生産特性は以下のとおりです。

（１）精密機器や計測機器が多く、可燃性、爆発性、腐食性、有毒なガスや液体が多種多様に使用されています。一部の製造工程は火災の危険性がカテゴリーC（酸化拡散、フォトリソグラフィー、イオン注入、印刷、包装など）に属し、一部はカテゴリーA（単結晶引き上げ、エピタキシー、化学気相成長など）に属します。

（２）クリーンルームは非常に気密性が高い。火災が発生した場合、人員の避難や消火が困難になる。

（３）クリーンルームの建設費用は高く、設備や機器も高価です。火災が発生した場合、経済的損失は甚大になります。

上記の特性に基づき、クリーンルームは防火対策に関して非常に高い要求水準が求められます。防火・給水システムに加え、固定式の消火設備も設置する必要があり、特にクリーンルーム内の高価な機器や計器類については慎重に選定しなければなりません。