クリーンルームの防火・給水

防火設備はクリーンルームの重要な部分です。その重要性は、そのプロセス機器や建設プロジェクトが高価であるためだけでなく、クリーン ルームが比較的密閉された建物であり、一部には窓のない作業場さえあるためでもあります。クリーンルームの通路は狭く曲がりくねっているため、人員を避難させたり、火災を指導したりすることが困難です。人々の生命と財産の安全を確保するためには、「予防第一、予防と火災の組み合わせ」という防火方針を設計に導入する必要があります。クリーンルームの設計において有効な防火対策を講じているほか、必要な消火設備も設置されています。クリーンルームの生産特性は次のとおりです。

(1) 精密機器や機器が多く、可燃性、爆発性、腐食性、有毒なガスや液体が多種多様に使用されています。一部の製造部品の火災の危険性はカテゴリー C (酸化拡散、フォトリソグラフィー、イオン注入、印刷およびパッケージングなど) に属し、一部の生産部品はカテゴリー A (単結晶引き上げ、エピタキシー、化学蒸着など) に属します。 。）。

(2) クリーンルームは高気密です。ひとたび火災が発生すると、人員を避難させて消火することが困難になります。

(3) クリーンルームの建設費が高く、設備機器も高価である。ひとたび火災が発生すると、経済的損失は甚大になります。

上記の特性に基づいて、クリーンルームには非常に高い防火要件が求められます。防火設備や給水設備に加えて、固定消火装置も設置する必要があり、特にクリーンルーム内の貴重な設備や器具については慎重に判断する必要があります。