クリーンルームの防火と給水

防火施設は、クリーンルームの重要な部分です。その重要性は、そのプロセス機器と建設プロジェクトが高価であるためだけでなく、クリーンルームが比較的閉鎖された建物であり、一部は窓のないワークショップでさえあるためです。クリーンルームの通路は狭くて曲がりくねっているため、人員を避難させ、火を教えることが困難です。人々の生活と財産の安全性を確保するために、「予防と防火を組み合わせて、防火の防火政策が設計に実装されるべきです。さらに、クリーンルームの設計において効果的な火災予防措置を講じることに加えて、必要な消防施設も設置されています。クリーンルームの生産特性は次のとおりです。

（1）多くの精密機器と機器があり、さまざまな可燃性、爆発性、腐食性、毒性ガスと液体が使用されています。一部の生産部品の火災の危険は、カテゴリーC（酸化拡散、フォトリソグラフィ、イオン移植、印刷、包装など）に属し、一部はカテゴリA（単結晶引っ張り、エピタキシー、化学蒸気堆積などなどのカテゴリAに属します。 。）。

（2）クリーンルームは非常に気密です。火災が発生すると、人員を避難させて火を消すことは困難です。

（3）クリーンルームの建設コストは高く、機器と楽器は高価です。火災が発生すると、経済的損失は膨大になります。

上記の特性に基づいて、クリーンルームには防火のための非常に高い要件があります。防火および給水システムに加えて、固定消火装置も設置する必要があります。特に、クリーンルームの貴重な機器と慎重に決定する必要があります。