電子機器クリーンルームの設計要件

チップ製造工場、集積回路無塵工場、ディスク製造工場などに代表される電子クリーンルームでは、粒子状物質の厳格な管理に加え、温度・湿度管理、照明、微弱衝撃に対するより厳格な要件が課せられています。静電気による製品への影響を徹底的に排除することで、クリーンな環境下での電子製品の製造工程要件を満たす環境を実現しています。

電子機器クリーンルームの温度と湿度は、製造工程の要件に応じて決定する必要があります。製造工程に特別な要件がない場合は、温度は 20〜26 °C、相対湿度は 30%〜70% にすることができます。人員クリーンルームと居住室の温度は 16〜28 °C にすることができます。国際 ISO 規格に準拠した中国国家規格 GB-50073 によると、このタイプのクリーンルームの清浄度レベルは 1〜9 です。その中で、クラス 1〜5 では、気流パターンは一方向流または混合流です。クラス 6 では、気流パターンは非一方向流で、換気回数は 50〜60 回/時です。クラス 7 では、気流タイプは非一方向流で、換気回数は 15〜25 回/時です。クラス 8〜9 では、気流タイプは非一方向流で、換気回数は 10〜15 回/時です。

現在の仕様によれば、クラス10,000の電子クリーンルーム内の騒音レベルは65dB(A)を超えてはならない。

1. 電子機器クリーンルームにおける垂直流クリーンルームの全体比率は60%以上、水平一方向流クリーンルームの全体比率は40%以上でなければならず、そうでなければ部分一方向流となる。

2. 電子機器クリーンルームと屋外との間の静圧差は10Pa以上でなければならず、空気清浄度の異なるクリーンエリアと非クリーンエリアとの間の静圧差は5Pa以上でなければならない。

3. クラス10000の電子機器クリーンルーム内の新鮮な空気の量は、次の2つの項目の値を取る必要があります。

4. 室内の正圧値を維持するために必要な室内排気量と外気量の合計を補償する。

5. クリーンルームに供給される新鮮な空気の量が、1人あたり1時間あたり40平方メートル以上であることを確認してください。