電子クリーンルームの設計要件

チップ製造作業場、集積回路無塵作業場、ディスク製造作業場に代表される電子クリーンルームでは、パーティクルの厳格な管理に加えて、温度と湿度の管理、照明、微小衝撃に対する厳しい要件も求められます。生産製品への静電気の影響を徹底的に除去し、クリーンな環境でエレクトロニクス製品の生産プロセス要件を満たす環境を実現します。

電子クリーンルームの温度と湿度は、生産プロセスの要件に従って決定する必要があります。製造プロセスに特別な要件がない場合、温度は 20 ～ 26°C、相対湿度は 30% ～ 70% になります。従業員のクリーンルームとリビングルームの温度は16〜28℃になります。国際 ISO 規格に準拠した中国の国家規格 GB-50073 によると、このタイプのクリーン ルームの清浄度レベルは 1 ～ 9 です。このうち、クラス 1 ～ 5 は、気流パターンが一方向流または混合流です。クラス 6 の空気の流れパターンは非一方向の流れであり、空気の交換は 50 ～ 60 回/h です。クラス 7 の気流タイプは非一方向流で、空気交換は 15 ～ 25 回/h です。クラス 8 ～ 9 の気流タイプは非一方向流で、空気交換は 10 ～ 15 回/h です。

現在の仕様によれば、クラス 10,000 電子クリーン ルーム内の騒音レベルは 65dB(A) を超えてはなりません。

1. 電子クリーンルームの垂直流クリーンルームの全比率は60％未満であってはならず、水平一方向流クリーンルームは40％未満であってはなりません。そうでない場合は、部分的な一方向流になります。

2. 電子クリーンルームと屋外の静圧差は 10Pa 以上、空気清浄度の異なるクリーンエリアと非クリーンエリア間の静圧差は 5Pa 以上である必要があります。

3. クラス10000の電子クリーンルーム内の新鮮空気量は、次の2項目の値をとる必要があります。

4. 室内の正圧値を維持するために必要な室内排気量と外気量の和を補償します。

5. クリーンルームに供給される新鮮な空気の量は、1人当たり1時間あたり40平方メートル以上であることを確認してください。