電子クリーンルームの設計要件

チップ製造工場、集積回路無塵工場、ディスク製造工場に代表される電子クリーンルームでは、厳格な粒子制御に加え、温湿度管理、照明、微小衝撃に対する要求もより厳しくなっています。静電気による生産製品への影響を厳格に排除することで、クリーンな環境下での電子製品生産プロセス要件を満たすことができます。

電子クリーンルームの温度と湿度は、生産プロセスの要件に応じて決定する必要があります。生産プロセスに特別な要件がない場合は、温度は20〜26℃、相対湿度は30％〜70％です。人員クリーンルームとリビングルームの温度は16〜28℃です。国際ISO規格に準拠した中国国家規格GB-50073によると、このタイプのクリーンルームの清浄度レベルは1〜9です。そのうち、クラス1〜5の気流パターンは一方向流または混合流です。クラス6の気流パターンは非一方向流で、換気回数は50〜60回/時です。クラス7の気流タイプは非一方向流で、換気回数は15〜25回/時です。クラス8〜9の気流タイプは非一方向流で、換気回数は10〜15回/時です。

現在の仕様によれば、クラス 10,000 電子クリーンルーム内の騒音レベルは 65dB(A) を超えてはなりません。

1.電子クリーンルームにおける垂直フロークリーンルームの全比率は60％以上であるべきであり、水平一方向フロークリーンルームは40％以上であるべきであり、そうでない場合、部分的な一方向フローになります。

2.電子クリーンルームと屋外の静圧差は10Pa以上、空気清浄度の異なるクリーンエリアと非クリーンエリアの静圧差は5Pa以上である必要があります。

3. クラス10000電子クリーンルーム内の新鮮な空気の量は、次の2つの項目の値を取る必要があります。

4.室内の正圧値を維持するために必要な室内排気量と外気量の合計を補正します。

5. クリーンルームに供給される新鮮な空気の量が 1 人当たり 1 時間あたり 40 平方メートル以上であることを確認します。