電子クリーンルームの設計要件

粒子の厳格な制御に加えて、チップ生産ワークショップに代表される電子クリーンルーム、統合されたサーキットダストのないワークショップ、ディスク製造ワークショップには、温度と湿度制御、照明、マイクロショックに関するより厳しい要件もあります。環境が清潔な環境で電子製品の生産プロセス要件を満たすことができるように、生産製品に対する静電気の影響を厳密に除去します。

電子クリーンルームの温度と湿度は、生産プロセスの要件に従って決定する必要があります。生産プロセスに特定の要件がない場合、温度は20〜26°Cで、相対湿度は30％〜70％です。人員のクリーンルームとリビングルームの温度は16〜28℃になります。国際的なISO基準に沿った中国国家標準のGB-50073によると、このタイプのクリーンルームの清潔さレベルは1-9です。その中で、クラス1-5の中で、空気の流れパターンは一方向の流れまたは混合流です。クラス6の空気の流れパターンは非方向性の流れであり、空気の変化は50〜60回/hです。クラス7の空気の流れの種類は非方向性の流れであり、空気の変化は15〜25回/hです。クラス8-9空気の流れの種類は非逆方向の流れで、空気の変化は10〜15回/hです。

現在の仕様によると、クラス10,000の電子クリーンルーム内のノイズレベルは65dB（a）を超えてはなりません。

1.電子クリーンルームの垂直フロークリーンルームの完全な比率は60％を超えてはならず、水平方向の一方向のフロークリーンルームは40％を超えてはなりません。

2.電子クリーンルームと屋外の静圧差は10pa未満であってはなりません。クリーンエリアと異なる空気の清潔さのない非きれいな領域の静圧差は、5paを超えてはなりません。

3.クラス10000の電子クリーンルームの新鮮な空気の量は、次の2つの項目の価値を取る必要があります。

4.屋内の排気空気量の合計と、屋内の陽圧値を維持するために必要な新鮮な空気量を補償します。

5. 1人あたり1人あたりクリーンルームに供給される新鮮な空気の量が40平方メートル以上であることを確認してください。