HEPAフィルターの効率、表面速度、フィルター速度をご存知ですか？

HEPAフィルターのろ過効率、表面速度、ろ過速度について説明しましょう。HEPAフィルターとULPAフィルターはクリーンルームの終端で使用されます。その構造は、ミニプリーツHEPAフィルターとディーププリーツHEPAフィルターに分けられます。

中でも、HEPAフィルターの性能パラメータは、その高効率ろ過性能を決定づけるため、HEPAフィルターの性能パラメータの研究は大きな意義を持つ。以下に、HEPAフィルターのろ過効率、表面速度、およびフィルター速度について簡単に紹介する。

表面速度とフィルター速度

HEPAフィルターの表面速度とフィルター速度は、HEPAフィルターの空気流量容量を反映します。表面速度は、HEPAフィルターの断面における空気流速を指し、一般的にm/sで表され、V=Q/F*3600です。表面速度は、HEPAフィルターの構造特性を反映する重要なパラメータです。フィルター速度は、フィルター材の面積を通過する空気流速を指し、一般的にL/cm2.minまたはcm/sで表されます。フィルター速度は、フィルター材の通過容量とフィルター材のろ過性能を反映します。ろ過速度が低いほど、一般的に効率が高くなります。通過を許容するろ過速度が低く、フィルター材の抵抗が大きくなります。

フィルター効率

HEPAフィルターの「ろ過効率」とは、捕集された粉塵の量と元の空気中の粉塵量の比率です。ろ過効率＝HEPAフィルターで捕集された粉塵量／上流空気中の粉塵量＝1－下流空気中の粉塵量／上流。空気中の粉塵効率の意味は単純に思えますが、その意味と値は試験方法によって大きく異なります。ろ過効率を決定する要因の中でも、「粉塵量」には様々な意味があり、計算値と測定値のHEPAフィルターの効率値も様々です。

実際には、粉塵の総重量と粉塵粒子の数があり、特定の典型的な粒径の粉塵の量であったり、すべての粉塵の量であったりします。また、特定の方法を用いて濃度を間接的に反映する光の量、蛍光量もあります。ある状態の瞬間的な量があり、粉塵発生の全過程の効率値の加重平均量もあります。

同じHEPAフィルターでも、異なる方法で試験すれば、測定される効率値は異なります。各国やメーカーによって試験方法は統一されておらず、HEPAフィルターの効率の解釈や表現も大きく異なります。試験方法がなければ、フィルターの効率について議論することは不可能です。