HEPAフィルターの効率、表面速度、フィルター速度をご存知ですか?

HEPAフィルターの濾過効率、表面速度、濾過速度についてご説明します。クリーンルームの末端にはHEPAフィルターとULPAフィルターが使用され、その構造はミニプリーツHEPAフィルターとディーププリーツHEPAフィルターに分けられます。

中でも、HEPAフィルターの性能パラメータは高効率濾過性能を左右するため、HEPAフィルターの性能パラメータの研究は極めて重要な意義を持ちます。以下では、HEPAフィルターの濾過効率、表面速度、濾過速度について簡単に説明します。

表面速度とフィルター速度

HEPAフィルターの表面速度と濾過速度は、HEPAフィルターの空気流量を反映することができます。表面速度とは、HEPAフィルターの断面における気流速度を指し、一般的にはm/s、V=Q/F*3600で表されます。表面速度は、HEPAフィルターの構造特性を反映する重要なパラメータです。濾過速度とは、フィルター材の面積上の気流速度を指し、一般的にはL/cm2・分またはcm/sで表されます。フィルター速度は、フィルター材の通過能力と濾過性能を反映しています。一般的に、濾過速度が低いほど、より高い効率が得られます。通過できる濾過速度が低く、フィルター材の抵抗が大きいです。

フィルター効率

HEPAフィルターの「濾過効率」とは、捕集された粉塵量と元の空気中の粉塵含有量の比です。つまり、濾過効率＝HEPAフィルターが捕集した粉塵量／上流空気中の粉塵含有量＝1-下流空気中の粉塵含有量／上流空気中の粉塵含有量です。空気中の粉塵効率の意味は一見単純ですが、その意味と値は試験方法によって大きく異なります。濾過効率を決定する要因の中でも、粉塵の「量」は様々な意味を持ち、HEPAフィルターの計算値や測定値も様々です。

実際には、粉塵の総重量と粉塵粒子の数があり、時には特定の典型的な粒子サイズの粉塵の量であり、時にはすべての粉塵の量であり、特定の方法を使用して間接的に濃度を反映する光の量、蛍光量もあり、ある状態の瞬間量があり、粉塵生成の全プロセスの効率値の加重平均量もあります。

同じHEPAフィルターを異なる方法で試験すると、測定された効率値が異なります。各国やメーカーの試験方法は統一されておらず、HEPAフィルターの効率の解釈や表現方法も大きく異なります。試験方法がなければ、フィルター効率について語ることはできません。