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クリーンルームで注意すべき詳細事項

クリーンルーム
クリーンルームシステム

1. クリーンルームシステムでは、省エネルギーに注意を払う必要があります。クリーンルームはエネルギー消費量が非常に大きいため、設計および建設段階で省エネルギー対策を講じる必要があります。設計においては、システムとエリアの分割、給気量の計算、温度と相対温度の決定、清浄度レベルと換気回数の決定、外気比率、エアダクトの断熱、エアダクト製造時の接合形状が空気漏れ率に与える影響、主配管分岐接続角度が空気流抵抗に与える影響、フランジ接続部の漏れの有無、空調機、ファン、チラーなどの機器の選定など、すべてがエネルギー消費量に関係します。したがって、クリーンルームのこれらの詳細事項を考慮に入れる必要があります。

2. 自動制御装置により、完全な調整が保証されます。現在、一部のメーカーは手動方式で風量と気圧を制御しています。しかし、風量と気圧を制御するための調整ダンパーは技術室にあり、天井はすべてサンドイッチパネル製の軟質天井であるため、基本的に設置と試運転中に調整されます。その後、ほとんどは再調整されず、実際には調整できません。クリーンルームの正常な生産と作業を保証するために、クリーンルームの空気清浄度、温度と湿度、圧力差の監視、エアダンパーの調整、高純度ガス、温度、圧力、純水と循環冷却水の流量の検出、ガス純度、純水品質などの監視といった機能を実現する、比較的完全な自動制御装置一式を設置する必要があります。

3. エアダクトには経済性と効率性の両方が求められます。集中型システムやクリーンルームシステムでは、エアダクトは空気供給において経済的かつ効果的であることが求められます。前者の要件は、低価格、施工の容易さ、運用コストの低さ、抵抗の少ない滑らかな内面といった点に反映されます。後者の要件は、高い気密性、空気漏れのなさ、粉塵の発生や蓄積のなさ、汚染のなさ、そして耐火性、耐腐食性、耐湿性といった特性を指します。

4. クリーンルームには電話と火災報知設備を設置しなければなりません。電話とインターホンは、クリーンエリア内を歩き回る人の数を減らし、粉塵の量を減らすことができます。また、火災発生時には外部に迅速に連絡を取り、通常の業務連絡体制を維持することができます。さらに、クリーンルームには火災報知システムも設置し、火災が外部に容易に発見されて大きな経済的損失が発生するのを防ぐ必要があります。


投稿日時:2024年3月20日