FFU(ファンフィルターユニット)完全ガイド

FFU bASICパラメータそして選択

一般的な仕様は次のとおりです。

サイズ: 天井のサイズと一致します。

資料: 環境要件、コストの考慮事項。

表面空気速度: 0.35 ～ 0.45 m/s、消費電力に大きな違いがあります。

静圧: 空気抵抗の要件を克服します。

フィルター: 清浄度レベルの要件に従って。

モーター: 出力特性、出力、ベアリング寿命;

騒音：クリーンルームの騒音要件を満たします。

1. 基本パラメータ

1) 表面空気速度

一般に 0 ～ 0.6m/s の間で、3 つの速度調整の場合、各ギアに対応する空気速度は約 0.36 ～ 0.45 ～ 0.54m/s ですが、無段階速度調整の場合は約 0 ～ 0.6m/s です。

2) 消費電力

AC システムは通常 100 ～ 300 ワットです。EC システムの出力は 50 ～ 220 ワットです。EC システムの消費電力は AC システムより 30 ～ 50% 低くなります。

3) 風速の均一性

FFU の表面気流速度の均一性を指します。これは高レベルのクリーン ルームでは特に厳しく、そうでないと乱流が発生しやすくなります。このパラメータの品質は、ファン、フィルター、ディフューザーの優れた設計とプロセス レベルによって決まります。このパラメータをテストする場合、FFU の空気出口表面のサイズに基づいて 6 ～ 12 個のポイントが均等に選択され、空気速度をテストします。最大値と最小値は、平均値と比較して ± 20% を超えてはなりません。

4) 機外静圧

残留圧力としても知られるこのパラメータは、FFU の耐用年数に関連しており、ファンと密接に関係しています。一般に、ファンの機外静圧は、表面風速0.45m/sのときに90Pa以上であることが要求されます。

5) 全静圧

全圧とも呼ばれ、FFU が最大出力およびゼロ空気速度で提供できる静圧値を指します。一般に、AC FFUの静圧値は300Pa程度、EC FFUの静圧値は500〜800Paです。特定の空気速度の下では、次のように計算できます: 全静圧 (TSP) = 外部静圧 (ESP、外部パイプラインと戻り空気ダクトの抵抗に打ち勝つために FFU によって提供される静圧) + フィルターの圧力損失 (この風速におけるフィルター抵抗値）。

6)騒音

一般的な騒音レベルは 42 ～ 56 dBA です。ご使用の際は、表面風速0.45m/s、機外静圧100Paにおける騒音値にご注意ください。サイズと仕様が同じ FFU の場合、EC FFU は AC FFU より 1 ～ 2 dBA 低くなります。

7) 振動速度: 一般的に 1.0mm/s 未満。

8) FFUの基本寸法

基本モジュール(天井キール間の中心線距離)		FFU全体のサイズ(mm)	フィルターサイズ(mm)
メートル単位(mm)	英語単位(ft)
1200*1200	4*4	1175*1175	1170*1170
1200*900	4*3	1175*875	1170*870
1200*600	4*2	1175*575	1170*570
900*600	3*2	875*575	870*570
600*600	2*2	575*575	570*570

備考：

①上記の幅と長さの寸法は国内外の様々なメーカーで広く採用されており、厚みはメーカーごとに異なります。

②上記基本寸法以外にも標準仕様以外の特注仕様も可能ですが、納期や価格の点で標準仕様では対応できません。