FFU（ファンフィルターユニット）完全ガイド

FFU bASICパラメータおよび選択

一般的な仕様は次のとおりです。

サイズ: 天井のサイズに合わせてください。

材料: 環境要件、コストの考慮。

表面風速：0.35～0.45m/s、消費電力に大きな差あり。

静圧: 空気抵抗の要件を克服します。

フィルター: 清浄度レベルの要件に応じて;

モーター：出力特性、電力、ベアリング寿命。

騒音: クリーンルームの騒音要件を満たします。

1. 基本パラメータ

1) 表面気流速度

通常、0～0.6m/s です。3 速調節の場合、各ギアに対応する空気速度は約 0.36～0.45～0.54m/s ですが、無段階速度調節の場合は約 0～0.6m/s です。

2) 消費電力

ACシステムは通常100～300ワット、ECシステムは50～220ワットです。ECシステムの消費電力はACシステムよりも30～50%低くなります。

3) 空気流速の均一性

FFU表面の気流速度の均一性を指します。これは特に高レベルクリーンルームでは厳しく、均一性が確保されていないと乱流が発生しやすくなります。ファン、フィルター、ディフューザーの優れた設計とプロセスレベルが、このパラメータの品質を左右します。このパラメータを試験する際は、FFUの排気口面積に基づいて6～12点を均等に選定し、気流速度を試験します。最大値と最小値は平均値と比較して±20%を超えてはなりません。

4) 外部静圧

残圧とも呼ばれるこのパラメータは、FFUの耐用年数に関連し、ファンと密接な関係があります。一般的に、表面風速が0.45m/sのとき、ファンの外部静圧は90Pa以上である必要があります。

5) 全静圧

全圧とも呼ばれ、FFUが最大出力かつ風速ゼロの状態で供給できる静圧値を指します。一般的に、AC FFUの静圧値は約300Pa、EC FFUの静圧値は500～800Paです。特定の風速下では、全静圧（TSP）は次のように計算できます。全静圧（TSP）＝外部静圧（ESP、FFUが外部配管や還気ダクトの抵抗を克服するために供給する静圧）＋フィルター圧力損失（この風速におけるフィルター抵抗値）。

6)騒音

一般的な騒音レベルは42～56dBAです。使用にあたっては、表面風速0.45m/s、機外静圧100Paにおける騒音レベルにご注意ください。同じサイズ・仕様のFFUの場合、EC FFUはAC FFUよりも1～2dBA低くなります。

7)振動率：通常1.0mm/s未満。

8) FFUの基本寸法

基本モジュール（天井キール間の中心線距離）		FFU全体サイズ(mm)	フィルターサイズ(mm)
メートル法単位(mm)	英語単位(ft)
1200*1200	4*4	1175*1175	1170*1170
1200*900	4*3	1175*875	1170*870
1200*600	4*2	1175*575	1170*570
900*600	3*2	875*575	870*570
600*600	2*2	575*575	570*570

備考：

①上記幅・長さ寸法は国内外各メーカーで広く採用されており、厚みはメーカーにより異なります。

②上記基本寸法以外にも、非標準仕様のカスタマイズも可能ですが、納期や価格の面から標準仕様での製作は不向きです。