HEPAボックスとファンフィルターユニットの比較

HEPAボックスとファンフィルターユニットは、いずれもクリーンルームで使用される浄化装置で、空気中の粉塵粒子をろ過し、製品製造における清浄度要件を満たします。両ボックスの外面は静電塗装処理が施されており、外枠には冷間圧延鋼板、ステンレス鋼板などを使用できます。お客様の具体的なご要望や作業環境に合わせてカスタマイズすることも可能です。

2つの製品の構造は異なります。HEPAボックスは主にボックス、拡散板、フランジポート、HEPAフィルターで構成され、動力装置はありません。ファンフィルターユニットは主にボックス、フランジ、エアガイドプレート、HEPAフィルター、ファンで構成され、動力装置を備えています。直接型高効率遠心ファンを採用しており、長寿命、低騒音、メンテナンス不要、低振動、風速調整が可能という特徴があります。

両製品は市場価格が異なります。FFUは一般的にHEPAボックスよりも高価ですが、超クリーン生産ラインへの組み込みに非常に適しています。プロセスによっては、単体で使用できるだけでなく、複数のユニットを直列に接続してクラス10000の生産ラインを形成することも可能です。設置や交換も非常に簡単です。

どちらの製品もクリーンルームで使用されますが、適用可能なクリーンルームの清浄度は異なります。クラス10～1000のクリーンルームには一般的にファンフィルターユニットが装備され、クラス10000～300000のクリーンルームには一般的にHEPAボックスが装備されます。クリーンブースは、最も迅速かつ便利な方法で構築されたシンプルなクリーンルームです。電源装置なしではFFUのみを装備でき、HEPAボックスを装備することはできません。