HEPAボックスとファンフィルターユニットの比較

HEPAボックスとファンフィルターユニットはどちらもクリーンルーム内で使用される浄化装置で、空気中の塵埃粒子をろ過し、製品製造における清浄度要件を満たします。両ボックスの外面は静電塗装処理されており、冷間圧延鋼板、ステンレス鋼板などの外枠を使用できます。どちらもお客様の具体的なご要望や作業環境に合わせてカスタマイズ可能です。

両製品の構造は異なります。HEPAボックスは、主にボックス、拡散板、フランジポート、HEPAフィルターで構成され、動力装置は備えていません。一方、ファンフィルターユニットは、主にボックス、フランジ、導風板、HEPAフィルター、ファンで構成され、動力装置は備えています。直結型高効率遠心ファンを採用し、長寿命、低騒音、メンテナンスフリー、低振動、風速調整機能などの特長を備えています。

市場では、この2つの製品の価格が異なります。FFUは一般的にHEPAボックスよりも高価ですが、FFUは超クリーン生産ラインへの組み込みに非常に適しています。プロセスに応じて、単体ユニットとしてだけでなく、複数ユニットを直列に接続してクラス10000の組立ラインを構成することもできます。設置と交換は非常に簡単です。

どちらの製品もクリーンルームで使用されますが、適用可能なクリーンルームの清浄度は異なります。クラス10～1000のクリーンルームには一般的にファンフィルターユニットが、クラス10000～300000のクリーンルームには一般的にHEPAボックスが備え付けられています。クリーンブースは、最も迅速かつ簡便な方法で構築されたシンプルなクリーンルームです。FFUのみを装備でき、電源装置なしではHEPAボックスを装備できません。