通常、クリーンルームテストの範囲には以下が含まれます：クリーンルーム環境グレード評価、食品、健康製品、化粧品、ボトル入り飲料水などの工学受入テスト、牛乳生産ワークショップ、電子製品生産ワークショップ、GMPワークショップ、病院の手術室、動物実験室、バイオセーフティ研究室、バイオセーフティキャビネット、クリーンベンチ、無塵作業場、無菌作業場など。
クリーンルーム試験内容：風速と風量、換気回数、温度と湿度、圧力差、浮遊粉塵、浮遊菌、沈降菌、騒音、照度など。 詳細はクリーンルーム関連の規格を参照してください。部屋のテスト。
クリーンルームの検出では、その占有状況を明確に識別する必要があります。ステータスが異なると、テスト結果も異なります。「クリーン ルーム設計基準」(GB 50073-2001) によれば、クリーン ルームのテストは、空の状態、静的状態、動的状態の 3 つの状態に分けられます。
(1) 空の状態: 施設は建設され、すべての電力が接続されて稼働していますが、生産設備、資材、スタッフは存在しません。
(2) 静的な状態が構築され、生産設備が設置され、所有者と供給者の合意に従って稼働していますが、生産スタッフがいません。
(3) 動的状態は、指定された状態で動作し、指定されたスタッフが存在し、合意された状態で作業を実行します。
1. 風速、風量、空気交換回数
クリーン ルームおよびクリーン エリアの清浄度は、主に、室内で発生する粒子状汚染物質を追い出し、希釈するのに十分な量の清浄な空気を送り込むことによって達成されます。したがって、クリーンルームやクリーン設備の給気量、平均風速、給気均一性、気流方向、流れパターンなどを測定することが非常に重要です。
クリーンルームプロジェクトの完成検収に関して、我が国の「クリーンルーム建設及び検収仕様書」（JGJ 71-1990）には、空の状態又は静的な状態で試験及び調整を実施することが明確に規定されている。この規制により、プロジェクトの品質をよりタイムリーかつ客観的に評価できるようになり、計画どおりに動的な結果が得られないことによるプロジェクトの終了をめぐる紛争を回避することもできます。
実際の完成検査では、静的な状態が多く、空の状態は稀です。クリーンルーム内の一部のプロセス機器は事前に設置しておく必要があるためです。清浄度テストの前に、テストデータに影響を与えないようにプロセス機器を注意深く拭く必要があります。2011 年 2 月 1 日に施行された「クリーン ルームの建設および受入仕様書」(GB50591-2010) の規定はより具体的です。「16.1.2 検査中のクリーン ルームの占有状況は次のように分類されます。工学調整テストは、プロジェクトの受け入れのための検査と日常の検査は空または静的である必要がありますが、使用の受け入れのための検査と監視は動的である必要があります。必要に応じて、検査ステータスは建設者（ユーザー）と建設者の間の交渉によって決定することもできます。視察団。」
指向性の流れは、主にきれいな空気の流れに依存して、部屋やエリア内の汚染された空気を押し出し、追い出すことで、部屋やエリアの清潔さを維持します。したがって、空気供給セクションの風速と均一性は清浄度に影響を与える重要なパラメータです。断面風速が高く均一であれば、屋内プロセスで生成される汚染物質をより迅速かつ効果的に除去できるため、当社が主に重点を置くクリーンルーム試験項目となっています。
非一方向の流れは、主に流入するきれいな空気に依存して、部屋やエリア内の汚染物質を希釈および希釈して清浄度を維持します。この結果は、空気交換の回数が多くなり、適切な空気流パターンが得られるほど、希釈効果が向上することを示しています。そのため、非単相流のクリーンルームやクリーンエリアにおける空気の供給量とそれに伴う空気の変化は注目されている空気流量試験項目です。
2. 温度と湿度
クリーンルームやクリーン作業場での温湿度測定は、一般的に「一般試験」と「総合試験」の2段階に分けられます。空の状態での完了承認テストは、次のグレードに適しています。静的または動的状態での総合的な性能テストは、次のグレードに適しています。この種のテストは、温度と湿度に関する厳しい要件がある場合に適しています。
このテストは、気流均一性テストと空調システムの調整後に実行されます。今回のテスト期間中、空調システムは良好に作動し、諸条件は安定しました。少なくとも各湿度制御ゾーンに湿度センサーを設置し、センサーに十分な安定時間を与えることが必要です。測定は、センサーが安定するまで実際の使用に適した状態で測定を開始する必要があります。測定時間は 5 分以上である必要があります。
3. 圧力差
この種の試験は、完成した施設と周囲の環境、および施設内の各空間間で一定の圧力差を維持できるかどうかを検証するものです。この検出は、3 つの占有状態すべてに適用されます。このテストは不可欠です。圧力差の検出は、すべてのドアを閉めた状態で、高圧から低圧へと、レイアウト的に外側から遠い内側の部屋から順に外側に向かって検査してください。相互に接続された穴を備えた異なるグレードのクリーン ルームでは、入口で妥当な気流方向しかありません。
圧力差試験の要件:
(1) クリーンエリア内のすべてのドアを閉める必要がある場合、静圧差を測定します。
(2) クリーンルーム内では、外部と直接アクセスできる部屋が検出されるまで、清浄度の高い順に進みます。
(3) 室内に空気の流れがない場合は、測定管口を任意の位置に設置し、測定管口面が空気の流れの流線と平行になるようにしてください。
(4) 測定および記録されたデータは 1.0Pa までの精度でなければなりません。
圧力差検出手順：
(1) すべてのドアを閉めます。
(2) 差圧計を使用して、各クリーンルーム間、クリーンルーム廊下間、廊下と外界間の圧力差を測定します。
(3) すべてのデータを記録する必要があります。
圧力差の標準要件:
(1) クリーンルームまたは各階層のクリーンエリアと非クリーンルーム（エリア）との静圧差は5Pa以上である必要があります。
(2) クリーンルーム（エリア）と屋外の静圧差は10Pa以上必要です。
(3) ISO 5（クラス100）以上の空気清浄度を有する一方向流クリーンルームの場合、扉を開いたとき、扉内側0.6mの室内作業面の粉塵濃度が該当レベルの粉塵濃度限度未満であること。 。
(4) 上記の基準要件が満たされていない場合は、適合するまで外気量と排気量を再調整する必要があります。
4. 浮遊粒子
(1) 屋内試験者は清潔な衣服を着用し、2 人以下でなければなりません。それらはテスト ポイントの風下側で、テスト ポイントから離れた場所に配置する必要があります。ポイントを変更するときは、室内の清潔さに対するスタッフの干渉を増やすことを避けるために、軽く移動する必要があります。
(2) 装置は校正期間内に使用しなければなりません。
(3) 試験の前後に機器を片付けなければなりません。
(4) 一方向流領域では、選択したサンプリング プローブは動的サンプリングに近く、サンプリング プローブに入る空気速度とサンプリングされる空気速度の偏差は 20% 未満である必要があります。これを行わない場合、サンプリングポートは空気の流れの主な方向を向く必要があります。非一方向流サンプリング ポイントの場合、サンプリング ポートは垂直上向きである必要があります。
(5) サンプリングポートから粉塵計数センサまでの接続配管は極力短くしてください。
5.浮遊菌
低位置採取点の数は浮遊粒子採取点の数に対応します。作業エリアの測定点は地上約0.8～1.2mです。給気口の測定点は給気面から約30cm離れています。主要な設備や主要な作業活動範囲に測定ポイントを追加できます。、通常、各サンプリング ポイントは 1 回サンプリングされます。
6. 定着菌
地面から0.8〜1.2mの距離で作業してください。準備したペトリ皿をサンプリングポイントに置きます。シャーレのカバーを開けます。指定された時間が経過したら、シャーレに再び蓋をします。シャーレを定温培養器に入れて培養します。48 時間以上かかるため、各バッチには培地の汚染をチェックするための対照試験が必要です。
7. 騒音
測定高さが地面から約1.2メートル、クリーンルームの面積が15平方メートル以内の場合、測定できるのは部屋の中心の1点のみです。面積が 15 平方メートルを超える場合は、対角線の 4 点も測定する必要があります。1 つは側壁から 1 点で、各角に面した点を測定します。
8. イルミネーション
測定点の表面は地面から約0.8メートルの距離にあり、測定点は2メートルの間隔で配置されています。30 平方メートル以内の部屋の場合、測定点は側壁から 0.5 メートル離れています。30 平方メートルを超える部屋の場合、測定点は壁から 1 メートル離れています。
投稿日時: 2023 年 9 月 14 日