ISO 14644-5では、クリーンルームへの固定機器の設置は、クリーンルームの設計と機能に基づいて行う必要があると規定されています。以下にその詳細を説明します。
1. 機器の設置方法：理想的な方法は、機器の設置期間中はクリーンルームを閉鎖し、機器の視認角度を満たすドアを設けるか、またはボード上に新しい機器が通過してクリーンルームに入ることができる通路を確保し、設置期間に近いクリーンルームが汚染されるのを防ぎ、クリーンルームが引き続き清浄度要件を満たし、その後の作業に必要な保護措置を講じることです。
2. クリーンルームでの作業を各設置期間中に停止できない場合、または解体する必要のある構造物がある場合は、稼働中のクリーンルームを作業エリアから効果的に隔離する必要があります。一時的な隔離壁または仕切りを使用できます。設置作業を妨げないように、機器の周囲には十分なスペースが必要です。条件が許せば、隔離エリアへのアクセスはサービス通路またはその他の非重要エリアから行うことができます。これが不可能な場合は、設置作業による汚染の影響を最小限に抑えるための対策を講じる必要があります。隔離エリアは等圧または負圧を維持する必要があります。周囲のクリーンルームに正圧がかからないように、高層エリアではクリーンエアの供給を遮断する必要があります。隔離エリアへのアクセスが隣接するクリーンルーム経由のみの場合は、靴の汚れを除去するために粘着パッドを使用する必要があります。
3. 高地エリアに入った後は、清潔な衣服を汚染しないように、使い捨てのブーツまたはオーバーシューズと一体型の作業服を使用できます。これらの使い捨てアイテムは、隔離エリアを出る前に取り外す必要があります。機器設置プロセス中に隔離エリア周辺を監視する方法を開発し、隣接するクリーンルームに漏れる可能性のある汚染を検出できるように監視頻度を決定する必要があります。隔離措置が確立された後、電気、水、ガス、真空、圧縮空気、排水管などの必要な各種公共サービス設備を設置できます。作業によって発生する煙や破片が周囲のクリーンルームに意図せず拡散しないように、可能な限り制御および隔離することに注意を払う必要があります。また、隔離バリアを取り外す前に効果的な清掃を容易にする必要があります。公共サービス設備が使用要件を満たした後、規定の清掃手順に従って隔離エリア全体を清掃および除染する必要があります。壁、設備（固定式および可動式）、床を含むすべての表面は、掃除機で清掃し、拭き掃除とモップ掛けを行う必要があります。特に、設備のガードの後ろや設備の下の清掃には注意を払ってください。
4. クリーンルームおよび設置機器の実際の状況に基づいて機器性能の予備試験を実施できますが、その後の受入試験はクリーン環境条件が完全に満たされた時点で実施する必要があります。設置場所の状況に応じて、隔離壁を慎重に解体し始め、クリーンエア供給が停止している場合は再開します。この段階の作業時間は、クリーンルームの通常の作業への支障を最小限に抑えるように慎重に選択する必要があります。この際、浮遊粒子の濃度が規定の要件を満たしているかどうかを測定する必要がある場合があります。
5. 装置内部および主要プロセスチャンバーの洗浄と準備は、通常のクリーンルーム環境下で実施する必要があります。製品と接触する、または製品の搬送に関わるすべての内部チャンバーおよび表面は、必要な清浄度レベルまで拭き取る必要があります。装置の洗浄は上から下へ行う必要があります。粒子が拡散した場合、大きな粒子は重力によって装置の底部または地面に落下します。装置の外面は上から下へ洗浄してください。必要に応じて、製品または製造プロセスの要件が重要な領域では、表面粒子検出を実施する必要があります。
6. クリーンルームの特性、特にハイテククリーンルームの広い面積、高額な投資、高生産性、非常に厳格な清浄度要件を考慮すると、この種のクリーンファクトリーにおける生産プロセス設備の設置は、通常のクリーンルームの設置とより類似しています。このため、2015年に発行された国家規格「クリーンファクトリー建設及び品質受入に関する規程」では、クリーンファクトリーにおける生産プロセス設備の設置に関して、主に以下の規定を設けています。
①. 生産工程設備の設置工程中に「空室」受入を終えたクリーンルームが汚染されたり、損傷したりするのを防ぐため、設備の設置工程では過度の振動や傾斜があってはならず、設備の表面を分割して汚染してはならない。
② クリーンルーム内での生産工程設備の設置を秩序正しく、座る時間を最小限に抑え、クリーンワークショップにおけるクリーン生産管理システムに従うため、生産設備の設置工程が、受け入れる「完成品」および「半製品」の種類に応じて保護されるようにし、設置工程で使用する材料、機械等は、生産される製品に有害な汚染物質を放出したり、生成したりしない（クリーンルームの通常運転中に長時間使用する場合を含む）ものでなければならない。粉塵、錆、油分がなく、使用中に粉塵が発生しないクリーンな材料を使用する必要がある。
③ クリーンルームの建物装飾面は、清潔で埃のない板、フィルムなどの材料で保護する必要があります。機器の裏板は、設計図または機器技術文書の要件に従って作成する必要があります。要件がない場合は、ステンレス鋼板またはプラスチック板を使用する必要があります。独立基礎および床補強に使用される炭素鋼形材は防錆処理を施し、表面は平坦で滑らかである必要があります。コーキングには弾性シーリング材を使用します。
④ 材料には、成分、品種、製造日、保管有効期間、施工方法の指示、製品認定証を記載する必要があります。クリーンルームで使用する機械や工具は、使用のためにクリーンルーム以外の場所に移動してはなりません。クリーンルームで使用する機械や工具は、機械の露出部分から粉塵が発生しないようにするか、粉塵が環境を汚染しないように対策を講じる必要があります。一般的に使用される機械や工具は、クリーンエリアに移動する前にエアロックで洗浄する必要があります。また、油分、汚れ、粉塵、錆がないという要件を満たし、検査に合格して「クリーン」または「クリーンエリア専用」の標識を貼付してから移動する必要があります。
⑤. クリーンルーム内の製造工程設備は、二重床などの「専用床」に設置する必要があります。設備基礎は、一般的に下層技術中二階またはセメント多孔質板の上に設置する必要があります。基礎設置のために解体が必要な作業、手持ち式電動のこぎりで切断した後の床構造は補強する必要があり、その耐荷重は元の耐荷重を下回ってはなりません。鉄骨フレーム構造の独立基礎を使用する場合は、亜鉛メッキ材またはステンレス鋼で製造し、露出面は平坦で滑らかである必要があります。
⑥. クリーンルーム内で生産工程設備を設置する際に、壁パネル、吊り天井、二重床に穴を開ける必要がある場合、穴あけ作業によって、保持する必要のある壁パネルや吊り天井の表面を分割したり汚染したりしてはならない。基礎を適時に設置できない場合は、二重床の開口部を開放した後、安全ガードレールと危険標識を設置する。生産設備を設置した後は、穴の周囲の隙間を密閉し、設備とシーリング部品が柔軟に接触するようにし、シーリング部品と壁板の接続部がしっかりと密着するようにする。作業室の片側のシーリング面は平坦で滑らかでなければならない。
投稿日時：2023年9月6日