クリーンルーム設備の設置要件

IS0 14644-5 では、クリーン ルームへの固定機器の設置はクリーン ルームの設計と機能に基づく必要があると規定しています。以下に詳細をご紹介します。

1. 機器の設置方法：理想的な方法は、機器の設置期間中はクリーンルームを閉鎖し、機器の視野角を満たすドアを設置するか、新しい機器が通過してクリーンルームに入ることができるように基板上にチャンネルを確保することです。設置期間近くのクリーンルームが汚染されるのを防ぐために、クリーンルームが清浄度要件とその後に必要な作業を満たしていることを確認するための保護措置を講じる必要があります。

2. 各設置期間中にクリーンルームでの作業を停止できない場合、または解体する必要がある構造物がある場合は、稼働中のクリーンルームを作業エリアから効果的に隔離する必要があります。一時的な隔離壁またはパーティションを使用できます。設置作業の妨げにならないよう、装置の周囲に十分なスペースを確保してください。条件が許せば、サービスチャンネルまたは他の非重要エリアを介して隔離エリアにアクセスできます。これが不可能な場合は、設置作業によって引き起こされる汚染の影響を最小限に抑えるための措置を講じる必要があります。隔離エリアは等圧または負圧を維持する必要があります。周囲のクリーンルームへの正圧を避けるために、高層エリアでは清浄な空気の供給を遮断する必要があります。隔離エリアに隣接するクリーンルームからのみアクセスできる場合は、靴の汚れを取り除くために粘着パッドを使用する必要があります。

3. 高地エリアに入った後は、清潔な衣服の汚染を避けるために、使い捨てのブーツまたはオーバーシューズとワンピースの作業服を使用できます。これらの使い捨てアイテムは、隔離エリアを出る前に取り除く必要があります。機器の設置プロセス中に隔離エリア周囲のエリアを監視する方法を開発し、隣接するクリーンルームに漏れる可能性のある汚染を確実に検出できるように監視の頻度を決定する必要があります。隔離措置を確立した後は、電気、水道、ガス、真空、圧縮空気、廃水パイプラインなどのさまざまな必要な公共サービス施設を設置できます。周囲のクリーンルームへの不用意な拡散を避けるために、操作によって発生する煙や破片を可能な限り制御および隔離することに注意を払う必要があります。また、絶縁バリアを取り外す前の効果的な洗浄も容易になります。公共サービス施設が使用要件を満たした後、所定の清掃手順に従って隔離エリア全体を清掃し、除染する必要があります。すべての壁、機器 (固定および可動)、および床を含むすべての表面は、掃除機で掃除し、拭き、モップがけをする必要があり、機器のガードの後ろおよび機器の下の領域の清掃には特に注意を払う必要があります。

4. 機器の性能の予備試験は、クリーンルームおよび設置された機器の実際の条件に基づいて実施できますが、その後の受け入れ試験は、クリーン環境の条件が完全に満たされたときに実施する必要があります。設置場所の状況に応じて、隔離壁を慎重に解体し始めることができます。清浄な空気の供給が停止されている場合は、再起動します。作業のこの段階の時間は、クリーン ルームの通常の作業への干渉を最小限に抑えるために慎重に選択する必要があります。このとき、浮遊粒子濃度が規定の要件を満たしているかどうかの測定が必要になる場合があります。

5. 装置および主要なプロセスチャンバーの内部の洗浄と準備は、通常のクリーンルーム条件下で実行する必要があります。すべての内部チャンバーと、製品と接触する、または製品の輸送に関与するすべての表面は、必要な清浄度レベルまで拭き取る必要があります。機器の洗浄順序は上から下に行う必要があります。粒子が拡散すると、より大きな粒子は重力により装置の底部または地面に落下します。装置の外面を上から下に向かって掃除します。必要に応じて、製品または生産プロセスの要件が重要な領域で表面粒子の検出を実行する必要があります。

6. クリーンルームの特性、特にハイテククリーンルームの大面積、多額の投資、高生産量、非常に厳しい清浄度要件を考慮すると、このタイプのクリーン工場での生産プロセス機器の設置は、クリーンルームのクリーンルームの設置とより類似しています。通常のクリーンルームの様子。この目的を達成するために、2015 年に発行された国家基準「クリーン工場の建設と品質の承認に関する基準」では、クリーン工場への生産プロセス機器の設置について、主に以下のようないくつかの規定が設けられました。

①。生産プロセス装置の設置過程で「空」受け入れを行ったクリーンルームの汚染や損傷を防ぐため、装置の設置過程で過度の振動や傾きが発生したり、分断されて装置を汚染したりしてはなりません。表面。

②。クリーンルーム内での生産プロセス機器の設置を整然と、座ることなく、またはあまり座らずに行い、クリーンな作業場でクリーンな生産管理システムに従うために、生産機器の設置プロセスがさまざまな「」に従って保護されていることを確認してください。 「空の状態」で受け入れられる「完成品」および「半製品」、設置工程で使用しなければならない材料、機械などは、（クリーンルームの長時間の通常の運転を含む）放出しない、または発生する可能性があるものであってはなりません。時間）製品に有害な汚染物質生産された。粉塵、錆び、油分が付着せず、使用中に粉塵が発生しないクリーンな材質を使用してください。

③。クリーンルームの建物の装飾面は、清潔で埃のないプレート、フィルム、その他の材料で保護する必要があります。機器のバッキングプレートは、設計または機器の技術文書の要件に従って作成する必要があります。ご指定のない場合はステンレス板またはプラスチック板をご使用ください。独立した基礎や床の補強に使用される炭素鋼の形材は、防食処理が施され、表面は平らで滑らかでなければなりません。カシメに使用する弾性シール材。

④。材料には、成分、品種、製造日、保管有効期間、施工方法説明書、製品認定証明書を表示する必要があります。クリーンルーム内で使用した機械や工具をクリーンルーム以外に移動して使用しないでください。機械や工具をクリーンルームに移動して使用しないでください。クリーンエリアで使用される機械や工具は、機械の露出部分から粉塵が発生しないことを確認するか、粉塵による環境汚染を防ぐための措置を講じる必要があります。一般的に使用される機械や工具は、クリーンエリアに移動する前にエアロック内で洗浄する必要があります。 、無油、無塵、無塵、無錆の要件を満たしている必要があり、検査に合格し、「クリーン」または「クリーンエリア専用」の標識を貼り付けた後に移動する必要があります。

⑤。クリーンルーム内の生産プロセス設備は、高床などの「特定の床」に設置する必要があります。機器の基礎は通常、下部の技術用メザニン床またはセメント多孔質プレート上に設置する必要があります。基礎を設置するために解体する必要がある作業 手持ち電動ノコギリで切断した後の床の構造を強化し、その耐荷重能力が元の耐荷重能力を下回ってはなりません。鉄骨造の独立基礎を使用する場合は、亜鉛メッキ材またはステンレス鋼製とし、露出面が平滑であること。

⑥．クリーンルーム内での生産プロセス機器の設置プロセスで、壁パネル、吊り天井、上げ床に穴を開ける必要がある場合、穴あけ作業により、保持する必要がある壁パネルや吊り天井パネルの表面が割れたり、汚染されたりしてはなりません。高床式床の開放後、基礎の設置が間に合わない場合は、安全ガードレールと危険標識を設置する必要があります。生産設備を設置した後、穴の周囲の隙間はシールされ、設備とシールコンポーネントは柔軟に接触し、シールコンポーネントと壁プレートの間の接続はしっかりとしっかりしている必要があります。作業室の片側のシール面は平らで滑らかでなければなりません。