クリーンルームの機器の設置要件

IS0 14644-5では、クリーンルームに固定された機器を設置することは、クリーンルームの設計と機能に基づいている必要があります。以下の詳細を以下に紹介します。

1.機器の設置方法：理想的な方法は、機器の設置期間中にクリーンルームを閉鎖し、機器の視聴角度を満たすか、ボード上のチャネルを予約して、新しい機器を通過してきれいに入力できるドアがあることです。施設近くのクリーンルームが汚染されるのを防ぐために、クリーンルームが清潔さの要件とその後の作業を依然として満たしていることを確認するために、保護対策を講じなければなりません。

2.各設置期間中にクリーンルームでの作業を停止できない場合、または解体する必要がある構造がある場合、ランニングクリーンルームを作業エリアから効果的に分離する必要があります。一時的な分離壁またはパーティションを使用できます。設置作業を妨げないために、機器の周りに十分なスペースがあるはずです。条件が許可されている場合、分離エリアへのアクセスは、サービスチャネルまたは他の非批判的な領域を介して行うことができます。これが不可能な場合は、設置作業によって引き起こされる汚染の影響を最小限に抑えるための措置を講じる必要があります。隔離領域は、等しい圧力または負圧を維持する必要があります。周囲のクリーンルームへの陽性を避けるために、きれいな空気供給を高層エリアで遮断する必要があります。隔離エリアへのアクセスが隣接するクリーンルームを介してのみである場合、靴から汚れを取り除くために粘着性パッドを使用する必要があります。

3.高高度エリアに入った後、使い捨てのブーツやオーバーシューズ、ワンピースの作業服を使用して、きれいな服の汚染を避けることができます。これらの使い捨てアイテムは、隔離エリアを出る前に削除する必要があります。機器の設置プロセス中に分離エリア周辺の領域を監視する方法を開発し、監視の頻度を決定して、隣接するクリーンルームに漏れている可能性のある汚染が検出されるようにする必要があります。分離措置が設定された後、電気、水、ガス、真空、圧縮空気、廃水パイプラインなどのさまざまな必要な公共サービス施設を設置できます。周囲のクリーンルームへの不注意な広がりを避けるために、できる限り手術によって生成された煙と破片を制御および隔離することに注意を払う必要があります。また、分離障壁を除去する前に効果的な洗浄を容易にするはずです。公共サービス施設が使用要件を満たした後、規定の清掃手順に従って隔離エリア全体を清掃し、除染する必要があります。すべての壁、機器（固定および移動可能）、床を含むすべての表面は、掃除、拭き取り、拭く必要があります。

4.クリーンルームと設置機器の実際の条件に基づいて、機器性能の予備テストを実施できますが、クリーンな環境条件が完全に満たされている場合は、その後の受け入れテストを実施する必要があります。設置サイトの条件によっては、分離壁を慎重に解体し始めることができます。きれいな空気供給がオフになった場合は、再起動します。この段階の時間は、クリーンルームの通常の作業との干渉を最小限に抑えるために慎重に選択する必要があります。現時点では、空中粒子の濃度が指定された要件を満たしているかどうかを測定する必要がある場合があります。

5.機器の内部と主要なプロセスチャンバーの清掃と準備は、通常の浄化室の条件下で実行する必要があります。製品と接触する、または製品輸送に関与しているすべての内部チャンバーとすべての表面は、必要なレベルの清潔さまで一掃する必要があります。機器の洗浄シーケンスは、上から下まででなければなりません。粒子が広がると、重力のために大きな粒子が機器の底または地面に落ちます。機器の外面を上から下にきれいにします。必要に応じて、製品または生産プロセスの要件が重要な領域で表面粒子の検出を実行する必要があります。

6.クリーンルームの特徴、特に大規模なエリア、高投資、高生産物、ハイテククリーンルームの非常に厳しい清潔な要件を考慮して、このタイプのクリーンファクトリーに生産プロセス機器の設置は、それよりも類似しています普通のクリーンルームの。この目的のために、2015年にリリースされた国家標準「クリーンファクトリーの建設と品質受容のコード」は、主に以下を含む、クリーン工場に生産プロセス機器を設置するためのいくつかの規定を作成しました。

①。生産プロセス機器の設置プロセス中に「空の」受け入れを受けたクリーンルームへの汚染または損傷さえ防止するために、機器の設置プロセスには過度の振動や傾きがなく、分割して機器を汚染してはなりません。表面。

②。クリーンルームに生産プロセス機器を整然と整頓したり、少ない状態で整理したり、クリーンなワークショップでクリーン生産管理システムに従うために、生産機器の設置プロセスがさまざまなものに応じて保護されていることを確認してください。完成品」と「空の状態」、材料、機械などで受け入れられている「セミフィニッシュ製品」。インストールプロセスで使用してはなりません。時間）汚染物質生産された製品に有害です。ほこりのない、錆がない、グリースフリーで、使用中にほこりを生成しないきれいな素材を使用する必要があります。

③。クリーンルームの建物の装飾表面は、清潔でほこりのないプレート、フィルム、その他の素材で保護する必要があります。設計または機器の技術文書の要件に従って、機器のバッキングプレートを作成する必要があります。要件がない場合は、ステンレス鋼プレートまたはプラスチックプレートを使用する必要があります。独立した基礎と床補強に使用される炭素鋼プロファイルは、腐食防止で処理する必要があり、表面は平らで滑らかでなければなりません。コーキングに使用される弾性シーリング材料。

④。材料には、成分、品種、製造日、貯蔵妥当性期間、建設方法の指示、製品資格証明書が付いている必要があります。クリーンルームで使用される機械とツールは、使用するためにクリーン以外の部屋に移動しないでください。機械とツールを使用するためにクリーンルームに移動してはなりません。清潔なエリアで使用される機械とツールは、機械の露出した部分がほこりを生成しないことを保証したり、ほこりが環境を汚染するのを防ぐための措置を講じたりする必要があります。一般的に使用されるマシンとツールは、クリーンエリアに移動する前にエアロックで掃除する必要があります。 、オイルフリーで、汚れのない、ほこりのない、さびた錆のないという要件を満たす必要があり、検査を通過し、「きれいな」または「きれいな領域のみ」の標識を貼り付けた後に移動する必要があります。

⑤。クリーンルームの生産プロセス機器は、床の豊かな床などの「特定の床」に設置する必要があります。機器の基礎は、通常、下部の技術的なメザニン床またはセメントの多孔質プレートに設置する必要があります。基礎を設置するために解体する必要があるアクティビティは、手持ちの電動鋸で切断された後に床の構造を強化する必要があり、その負荷を負担する容量は元の負荷容量よりも低くはありません。鋼フレーム構造の独立した基礎を使用する場合、それは亜鉛メッキ材料またはステンレス鋼で作られ、露出した表面は平らで滑らかでなければなりません。

⑥。クリーンルームの生産プロセス機器の設置プロセスでは、壁パネルに穴を開け、吊り下げられた天井、床を上げた場合、掘削作業は、保持する必要がある壁パネルと吊り下げられた天井パネルの表面を分割または汚染してはなりません。基礎を時間内に設置できないときに、上げられた床が開いた後、安全ガードレールとハザードサインを設置する必要があります。生産機器が設置された後、穴の周りのギャップを密封し、装備とシーリングコンポーネントを柔軟な接触にする必要があり、シーリングコンポーネントと壁プレートの間の接続は狭くてしっかりしている必要があります。ワークルームの片側のシーリング表面は、平らで滑らかでなければなりません。