クリーンルームにおける空調システムの特性と要件

1. 空気清浄エアコンのろ過システムは非常に強力です。

クリーンルーム作業場の主な目的は、空気汚染を制御することです。クリーンルーム作業場では、空気中の粉塵量を最小限に抑えるか、あるいは粉塵のない状態を実現する必要があります。そのためには、空気清浄機に優れたろ過システムを搭載することが不可欠です。さらに、フィルターの性能は、生産現場における粉塵や微生物の制御効果にも影響します。したがって、空気清浄機のエアフィルターに対する品質要求は比較的高いと言えます。クリーンルームには、空気処理ユニット用の一次フィルターと中間フィルター、そして給気端のHEPAフィルターという3段階のろ過システムが必要です。

2. この空気清浄空調システムは、温度と湿度の精度が高い。

一般的なエアコンの快適性に関する要求は、精度に限界があるのが現状です。しかし、クリーンルーム作業場の空調設備は、プロセス要件を満たすために、様々な温度と湿度の差に対応する必要があります。浄化システムの空調設備に求められる温度と湿度の精度は非常に高く、クリーンルーム内の温度と湿度を一定に保つことが不可欠です。さらに、空調設備は冷却、加熱、加湿、除湿の機能を備え、かつ精密な制御が求められます。

3. クリーンルームの空調システムは、風量が大きい。

クリーンルームの最も重要な機能は、空気中の細菌や塵埃をろ過し、空気中の粒子を厳密に制御し、空気の質を浄化してクリーンルームの基準を満たすことです。クリーンルームの空調システムの主な特徴は、クリーンルーム作業場の清浄度を確保するために十分な風量を確保する必要があることです。空調機の風量は主に換気回数に基づいて設定されます。一般的に、一方向の流れを持つクリーンルームは換気回数が多くなります。

4．正圧と負圧を厳密に制御する。

クリーンルーム生産工場では、粉塵や細菌の拡散を厳重に防止しなければなりません。ウイルスや細菌の拡散を防ぐためには、クリーンルーム内の正圧と負圧を制御する必要があります。一般的に、クリーンルーム工場では正圧維持と負圧制御を採用しています。負圧は、有毒ガス、可燃性・爆発性物質、溶剤などを効果的に処理できます。圧力差制御値の精度は、一般的に空気漏れ率に関係します。空気漏れ率が低いほど、制御精度が高くなると考えられています。

5. 空気清浄空調システムのファンの空気圧ヘッドは高くなければならない。

一般的に、クリーンルームの空調システムでは、異なるレベルのフィルターが使用され、主に一次、中間、高レベルの3種類に分けられます。これらの3段階フィルターの抵抗は基本的に700～800Paです。そのため、クリーンルームでは一般的に、集中と還気の2つの方法が用いられます。クリーンルーム内の正圧と負圧の調整を厳密に制御するために、クリーンルーム内の空調ダクトの抵抗は一般的に比較的大きくなります。この抵抗要因を克服するために、空調ユニットの送風機の圧力ヘッドは十分に高くなければなりません。