クリーンルームにおける空調システムの特徴と要件

1. 浄化エアコンの濾過システムは非常に強力です。

クリーンルームの主な目的は、大気汚染を抑制することです。クリーンルームでは、空気中の塵埃量を最小限に抑え、あるいは完全に無塵状態にする必要があります。そのためには、浄化空調機に優れた濾過システムを備えることが求められます。さらに、フィルターの性能は、生産現場における塵埃や微生物の抑制効果にも関係します。そのため、浄化空調機のエアフィルターに対する品質要件は比較的高くなっています。クリーンルームには、エアハンドリングユニット用の一次フィルターと中間フィルター、そして給気口側のHEPAフィルターという3段階の濾過システムを備える必要があります。

2. 浄化空調システムは温度と湿度の精度が高いです。

一般的なエアコンの快適性要件は、一般的に精度が限られています。しかし、クリーンルーム工場の空調ユニットは、プロセス要件を満たすために、さまざまな温度と湿度の変化に対応する必要があります。浄化システムの空調ユニットには、温度と湿度の精度要件が非常に高く、クリーンルーム内の温度と湿度を一定に保つ必要があります。さらに、空調ユニットは冷房、暖房、加湿、除湿の機能も備えており、精密に制御されなければなりません。

3. クリーンルームの空調システムは風量が大きい。

クリーンルームの最も重要な機能は、空気中の細菌や塵埃をろ過し、空気中の粒子を厳密に制御し、クリーンルーム基準を満たす空気質を浄化することです。クリーンルームの空調システムの主な特徴は、クリーンルーム作業場の清浄度を確保するために十分な風量を確保することです。空調ユニットの風量は、主に換気回数に基づいて設定されます。一般的に、一方向気流のクリーンルームでは換気回数が多くなります。

4. 正圧と負圧を厳密に制御します。

クリーンルーム内の生産工場は、粉塵や細菌の拡散を厳重に防止する必要があります。ウイルスや細菌の拡散を防ぐために、クリーンルーム内の正圧と負圧を制御する必要があります。一般的に、クリーンルーム工場では正圧維持と負圧制御が採用されています。負圧は、有毒ガス、可燃性・爆発性物質、溶剤などを効果的に処理できます。差圧制御値の精度は、一般的に空気漏れ率と関連しており、空気漏れ率が低いほど精度管理が容易になると一般的に考えられています。

5. 浄化空調システムのファンの空気圧ヘッドは高くなければなりません。

一般的に、クリーンルームの作業場空調システムでは、異なるレベルのフィルターが使用され、主に一次、中、高の3種類に分けられます。これらの3段フィルターの抵抗は、基本的に700～800Paです。そのため、クリーンルームでは一般的に、濃縮と還気の2つの方式が採用されています。クリーンルーム内の正負圧を厳密に制御するため、クリーンルーム内の空調ダクトの抵抗は一般的に比較的大きくなります。この抵抗要因を克服するために、空調ユニットの送風機の圧力ヘッドを十分に高くする必要があります。