クリーンルームにおける空調システムの特性と要件

1. 浄化エアコンの濾過システムは非常に強力です。

クリーンルームワークショップの主な目的は、大気汚染を制御することです。クリーンルーム作業場では、空気中の粉塵の量を最小限に抑えるか、無粉塵効果を達成する必要があります。これには、浄化エアコンに優れた濾過システムが装備されている必要があります。また、フィルターの性能は生産現場における粉塵や微生物の抑制効果にも関係します。したがって、浄化空調におけるエアフィルターの品質要件は比較的高いです。クリーンルームには、エアハンドリングユニットの一次フィルターと中間フィルター、および空気供給端のヘパフィルターの3つのレベルの濾過を装備する必要があります。

2. 浄化空調システムは高い温湿度精度を備えています。

通常のエアコンの快適性要件は、一般に精度が限られています。ただし、プロセス要件を満たすために、クリーンルーム作業場の空気処理ユニットは、さまざまな温度と湿度の違いに対処する必要があります。浄化システムの空気処理ユニットの温度と湿度の精度要件は非常に高いです。クリーンルーム内では一定の温度と湿度を確保する必要があります。また、エアハンドリングユニットには冷却、加熱、加湿、除湿の機能も必要であり、精密に制御する必要があります。

3. クリーンルームの空調システムは大風量です。

クリーン ルームの最も重要な機能は、空気中の細菌や塵を濾過し、空気中の粒子を厳密に制御し、クリーン ルームの基準を満たすように空気の質を浄化することです。クリーンルームの空調システムの主な特徴は、クリーンルーム作業場の清浄度を確保するために十分な風量が必要であることです。エアハンドリングユニットの風量は主に空気交換回数に基づいて設定されます。一般的に、一方向の流れを持つクリーンルームでは、より多くの空気の入れ替えが行われます。

4. 正負圧を厳密に管理します。

すべてのクリーンルーム生産ワークショップでは、粉塵や細菌の拡散を厳密に防止する必要があります。ウイルスや細菌の蔓延を防ぐためには、クリーンルーム内の陽圧と陰圧を制御する必要があります。一般に、クリーンルーム作業場では、正圧維持と負圧制御が採用されています。負圧は、有毒ガス、可燃性および爆発性の物品、および溶剤に効果的に対処できます。差圧制御値の精度は一般に空気漏れ量に関係します。一般に、空気漏れ率が低いほど精度の制御が容易になると考えられています。

5.浄化空調システムのファンの空気圧ヘッドは高くなければなりません。

一般に、クリーンルーム作業場の空調システムではさまざまなレベルのフィルターが使用されており、主に一次、中間、高レベルの 3 つのタイプに分類されます。この3段フィルターの抵抗値は基本的に700～800Paです。そのため、クリーンルームでは一般的に濃縮と還気の2つの方法が使用されます。クリーンルーム内の正負圧の調整を厳密に管理するため、クリーンルーム内の空調ダクトの抵抗は一般に比較的大きくなります。抵抗要因を克服するには、エア ハンドリング ユニットのブロワーの圧力ヘッドが十分に高くなければなりません。